压阻传感器和用于压阻传感器的压敏元件制造技术

技术编号:17003487 阅读:127 留言:0更新日期:2018-01-11 01:17
本发明专利技术公开了一种用于压阻传感器的压敏元件和具有其的压阻传感器,压敏元件包括:导线层;压力敏感层,所述压力敏感层覆盖在所述导线层的上表面的至少一部分上,所述压力敏感层被构造为所述压力敏感层的比电阻由上到下梯度减小或增大。根据本发明专利技术实施例的压敏元件可以对较大范围的压力进行响应,使传感器对压力检测的范围更广,检测的准确性更高。

【技术实现步骤摘要】
压阻传感器和用于压阻传感器的压敏元件
本专利技术涉及传感器
,更具体地,涉及一种用于压阻传感器的压敏元件和具有该压敏元件的压阻传感器。
技术介绍
压力传感器按照材料可以分为基于压电材料的压电传感器以及基于压阻材料的压阻传感器。由压电陶瓷、压电晶体、压电驻极体以及有机压电薄膜等为敏感元件制作而成的压电传感器在承受压力时在材料表面产生可转移的电荷,电荷经过检测设备时的电压可以直接反应压力的大小。以合金敏感栅、半导体等材料为敏感元件的压阻传感器在受压时产生形变,形变造成敏感元件的电阻发生变化,通过惠斯通电桥检测敏感原件电阻的变化就可以检测出施加在压敏传感器上的压力大小。近年来,基于宏观量子隧道效应的压阻敏感材料(压敏材料)越发成熟,基于此类压敏材料的压力传感器也得到了广泛的开发与应用。此类压敏材料一般是在绝缘的树脂、橡胶中参入一定量的导电或者半导体纳米至微米级粒子而成。当受压时,材料中的导电粒子之间距离缩减,距离缩减到一定程度时,导电粒子之间由于量子隧道效应就可以发生电荷的转移,即宏观上的导电。施加在传感器上压力的大小可以通过检测传感器电阻的大小而获得。以上各种压力传感器均存在各自的本文档来自技高网...
压阻传感器和用于压阻传感器的压敏元件

【技术保护点】
一种用于压阻传感器的压敏元件,其特征在于,包括:导线层;压力敏感层,所述压力敏感层覆盖在所述导线层的上表面的至少一部分上,所述压力敏感层被构造为所述压力敏感层的比电阻由上到下梯度减小或增大。

【技术特征摘要】
1.一种用于压阻传感器的压敏元件,其特征在于,包括:导线层;压力敏感层,所述压力敏感层覆盖在所述导线层的上表面的至少一部分上,所述压力敏感层被构造为所述压力敏感层的比电阻由上到下梯度减小或增大。2.根据权利要求1所述的压敏元件,其特征在于,所述压力敏感层包括聚合物梯度层,所述聚合物梯度层内分布有导电粒子,其中,所述聚合物梯度层的弹性模量与所述导电粒子在所述聚合物层中的分布浓度中的至少一个由上到下形成有梯度。3.根据权利要求2所述的压敏元件,其特征在于,所述聚合物梯度层包括从上到下层叠设置的多个聚合物层,每个所述聚合物层的弹性模量和导电粒子的分布浓度由上到下相同且任意一个所述聚合物层的弹性模量和导电粒子的分布浓度中的至少一个与其它所述聚合物层的不同。4.根据权利要求1所述的压敏元件,其特征在于,所述压力敏感层包括两个层叠设置的聚合物层,两个所述聚合物层的材质相同且两个所述聚合物层中的导电粒子的种类和分布浓度相同,两个所述聚合物层中的其中一个所述聚合物层中还分布有导电物质或绝缘物质。5.根据权利要求3或4所述的压敏元件,其特征在于,所述聚合物层为硅基聚合物层或者碳基聚合物层。6.根据权利要求2所述的压敏元件,其特征在于,多个所述导电粒子包括金属导电粒子、非金属导电粒子和金属氧化物导电粒子中的至少一种,所述导电粒子的粒径为10nm-1mm。7.一种压阻传感器,其特征在于,包括:下绝缘层;上绝缘层,所述上绝缘层设在所述下绝缘层上方且与所述下绝缘层间隔开;间隔层,所述间隔层连接在所述下绝缘层与所述上...

【专利技术属性】
技术研发人员:倪宇阳唐彬孟锴钭忠尚许鹏徐觅
申请(专利权)人:南昌欧菲光科技有限公司深圳欧菲光科技股份有限公司苏州欧菲光科技有限公司
类型:发明
国别省市:江西,36

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