可拉伸的柔性压力传感器及其制造方法技术

本发明专利技术提供了一种可拉伸的柔性压力传感器，其包括层叠的四层柔性透明层以及位于每相邻的两层柔性透明层之间的电极层；其中，位于第一层柔性透明层与第二层柔性透明层之间的电极层以及位于第三层柔性透明层与第四层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性与位于第二层柔性透明层与第三层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性相反。本发明专利技术还提供了一种可拉伸的柔性压力传感器的制造方法。本发明专利技术的可拉伸的柔性压力传感器及其制造方法，制造工艺简单且能够大面积制备，且很容易实现高灵敏性和宽测量范围的统一。

【技术实现步骤摘要】
可拉伸的柔性压力传感器及其制造方法
本专利技术属于传感器制造
，具体地讲，涉及一种可拉伸的柔性压力传感器及其制造方法。
技术介绍
压力传感器是一种能感测到外界压力改变的传感器，广泛应用于可穿戴、可贴附式电子器件中。近年来，随着柔性电子学的发展，可拉伸的柔性透明贴附式电子器件在消费电子市场、医疗健康、军事等产业领域表现出了极大的应用潜力。因此，对压力传感器的柔性、精确性、可靠性、灵敏性等性能指标的要求越来越高，而传统的弱功能传感器往往很难满足上述要求。利用不同材料来制备具有结构简单、响应范围宽、灵敏度高、稳定性好的新型可拉伸的柔性透明贴附式压力传感器的研究备受国内外研究者广泛关注，并逐渐成为当前重要的前沿研究领域之一。目前，一种现有的柔性透明贴附式压力传感器是通过对聚合物柔性基底施加预应力后再旋涂功能层，预应力除去后，功能层同样在柔性基底表面起皱形成褶皱形貌。该结构聚合物在多次较大弯曲或拉伸形变量后，聚合物性能基本不变，说明具有褶皱形貌功能层的具有较好的稳定性。另外一种现有的柔性透明贴附式压力传感器是先用紫外固化的方式制备了聚氨酯丙烯酸酯纳米纤维，再将铂(Pt)沉积在纳米纤维上，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可拉伸的柔性压力传感器，其特征在于，包括层叠的四层柔性透明层以及位于每相邻的两层柔性透明层之间的电极层；位于第一层柔性透明层与第二层柔性透明层之间的电极层以及位于第三层柔性透明层与第四层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性与位于第二层柔性透明层与第三层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性相反。

【技术特征摘要】
1.一种可拉伸的柔性压力传感器，其特征在于，包括层叠的四层柔性透明层以及位于每相邻的两层柔性透明层之间的电极层；位于第一层柔性透明层与第二层柔性透明层之间的电极层以及位于第三层柔性透明层与第四层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性与位于第二层柔性透明层与第三层柔性透明层之间的电极层具有的电荷极性相反。2.根据权利要求1所述的可拉伸的柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性透明层和/或所述电极层具有褶皱状形状。3.一种权利要求1或2所述的可拉伸的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，包括：在经预拉伸的第一柔性透明层上涂覆导电混合溶液，使导电混合溶液中的溶剂挥发，以形成第一电极层；利用经预拉伸的第二柔性透明层覆盖在第一电极层上；在经预拉伸的第二柔性透明层上涂覆导电混合溶液，使导电混合溶液中的溶剂挥发，以形成第二电极层；利用经预拉伸的第三柔性透明层覆盖在第二电极层上；在经预拉伸的第三柔性透明层上涂覆导电混合溶液，使导电混合溶液中的溶剂挥发，以形成第三电极层；利用经预拉伸的第四柔性透明层覆盖在第三电极层上；其中，第一电极层和第三电极层具有的电荷极性与第二电极层具有的电荷极性相反。4.根据权利要求3所述的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，以形变方向为单轴向、双轴向、三轴向及多轴向中的任一种对所述第一柔性透明层和/或所述第二柔性透明层和/或所述第三柔性透明层和/或所述第四柔性透明层进行预拉伸。5.根据权利要求3或4所述的柔性压力传感器的制造方法，其特征在于，以5％至500％的拉伸形变量对所述第一柔性透明层和/或所述第二柔性透明层和/或所述第三柔性透明层和/或所述第四柔性透明...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立伟，扎卡乌拉，李奇，高丽娜，王汝冰，曾奇，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32