光栅尺光电传感器制造技术

本发明专利技术提供一种光栅尺光电传感器，其包括：光敏感单元阵列、读取电路，光敏感单元阵列包括多个光敏感单元，每个光敏感单元上覆盖有栅状金属层。本发明专利技术的优点在于将光栅尺的指示光栅以栅状金属层的方式直接集成在光电传感器上，能够节约光栅尺制造成本，提高生产效率，提高指示光栅制造精度。

【技术实现步骤摘要】
光栅尺光电传感器
本专利技术涉及一种光栅尺光电传感器，属于光电测量

技术介绍
光栅尺作为直线位置测量装置，被广泛应用于机械加工行业。光栅尺通常包括光源、标尺光栅、指示光栅、光电传感器，其工作原理是，指示光栅和标尺光栅相互运动形成光学莫尔条纹，光电传感器将光学莫尔条纹转换为电学莫尔信号，通过对电学莫尔信号进行计数、细分来进行位置测量。目前常用的方法是，指示光栅以玻璃为基体，粘接在光电传感器上。指示光栅上刻划有多组光学窗口，每个光学窗口上刻划有一组等间距的栅线，用来与标尺光栅配合产生莫尔条纹。为了保证较好的莫尔条纹质量，指示光栅与光电传感器粘接时，需要使用专用的设备将指示光栅上的光学窗口与光电传感器上的光敏感单元对齐。此外，受限于计量光栅的制作方式，指示光栅上的栅线刻划精度在0.3μm左右。
技术实现思路
一种光栅尺光电传感器，包括光敏感单元阵列(1)、读取电路(2)，其特征在于：光敏感单元阵列(1)包括由N个大小相同的光敏感单元组成，其中N为4的整数倍，光敏感单元上覆盖有栅状金属层，栅状金属层由金属线等间距排列组成，金属线具有不透射光的特性。所述的光栅尺光电传感器，其特征在于，栅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光栅尺光电传感器，包括光敏感单元阵列(1)、读取电路(2)，其特征在于：光敏感单元阵列(1)包括由N个大小相同的光敏感单元组成，其中N为4的整数倍，光敏感单元上覆盖有栅状金属层，栅状金属层由金属线等间距排列组成，金属线具有不透射光的特性。

【技术特征摘要】
1.一种光栅尺光电传感器，包括光敏感单元阵列(1)、读取电路(2)，其特征在于：光敏感单元阵列(1)包括由N个大小相同的光敏感单元组成，其中N为4的整数倍，光敏感单元上覆盖有栅状金属层，栅状金属层由金属线等间距排列组成，金属线具有不透射光的特性。2.根据权利要求1所述的光栅尺光电传感器，其特征在于，栅状金属层的金属线宽度(W1)与光栅尺光电传感器所对应的标尺光栅增量码道刻线宽度(W2)相同，栅状金属层的栅距(D1)与光栅尺光电传感器所对应的标尺光栅增量码道栅距(D2)相同，从光敏感单元的排列方向上第一个栅状金属层开始，每4个栅状...

【专利技术属性】
技术研发人员：温琚玲，
申请(专利权)人：长光沧州光栅传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13