磁栅精度校准检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法，属于直线计量元件精度检测设备技术领域，本发明专利技术设置有基座，其上部布设有气浮导轨；气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接；所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽，所述气浮滑块装设有磁栅读数头；以及两个光栅带，其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧，所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上，从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带，本发明专利技术实现了在对磁栅尺进行精度检测时，使用双基准来消除阿贝误差，具有提高检测精度的有益效果。精度的有益效果。精度的有益效果。

【技术实现步骤摘要】
磁栅精度校准检测装置及其检测方法


[0001]本专利技术涉及直线计量元件精度检测设备
，尤其涉及一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法。

技术介绍

[0002]磁栅尺是一种测量直线位移的元件，通常用于自动化加工设备中，主要由读数头、磁栅组成，磁栅尺作为计量元件，在出厂前需要进行精度检测；
[0003]检测方法通常使用更高精度的测量装置对磁栅尺进行精度检测，但是，目前针对磁栅尺精度检测时是在未消除阿贝误差的前提下进行检测，导致磁栅尺精度检测效果差，在精度检测过程中，由测量基准的轴线和被检测轴线不重合所引入的误差叫做阿贝误差，在不解决阿贝误差的前提下，对磁栅尺的精度检测结果有较大影响；
[0004]中国公开专利CN 110617758 A提到一种磁栅尺精度检测机，其使用高精度线性模组对磁栅尺精度进行检测，将高精度线性模组作为测量基准，高精度线性模组的轴线和磁栅尺轴线并不重合，因此该装置没有考虑阿贝误差；又如，[1]臧金杰.基于磁栅的高精度位移传感器设计[D].苏州大学.该论文中采用激光干涉仪对磁栅尺进行精度检测，以及，中国公开专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磁栅精度校准检测装置，其特征在于，包括：基座(100)，其上部布设有气浮导轨(1)；气浮滑块(2)，其与所述气浮导轨(1)滑动连接；所述基座(100)上形成有与所述气浮导轨(1)平行的用于容纳待检磁栅带(6)的导向槽(101)；所述气浮滑块(2)装设有磁栅读数头(5)；以及两个光栅带(3、11)，其装设在所述基座(100)上并对称地分布在所述导向槽(101)两侧，所述光栅带(3、11)的光栅读数头(4、12)设置于所述气浮滑块(2)上，从而驱动所述气浮滑块(2)使两个所述光栅带(3、11)形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带(6)。2.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；两个所述光栅读数头(4、12)中心连线形成第一定位基准线A，所述磁栅读数头(5)的中心重合于所述第一定位基准线A。3.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置及其检测方法，其特征在于；所述导向槽(101)宽度方向与所述待检磁栅带(6)间隙配合，所述导向槽(101)底壁布设有用于吸附所述待检磁栅带(6)的负压吸附结构。4.根据权利要求3所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述负压吸附结构包括沿所述导向槽(101)底壁长度方向开设的吸气孔(103)和布设在所述基座(100)内部并与所述吸气孔(103)连通的负压管路(102)；所述负压管路(102)通过接头(10)与负压吸附系统气路连接。5.根据权利要求1所述的磁栅精度校准检测装置，其特征在于；所述基座(100)对应所述导向槽(101)两端均布设有能够旋转的收揽盘(9、13)...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹彬，温琚玲，
申请(专利权)人：长光沧州光栅传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：