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本发明公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法,属于直线计量元件精度检测设备技术领域,本发明设置有基座,其上部布设有气浮导轨;气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接;所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽,所述气浮滑块装设...该专利属于长光(沧州)光栅传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长光(沧州)光栅传感技术有限公司授权不得商用。
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