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本发明提供一种光栅尺光电传感器,其包括:光敏感单元阵列、读取电路,光敏感单元阵列包括多个光敏感单元,每个光敏感单元上覆盖有栅状金属层。本发明的优点在于将光栅尺的指示光栅以栅状金属层的方式直接集成在光电传感器上,能够节约光栅尺制造成本,提高生...该专利属于长光(沧州)光栅传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长光(沧州)光栅传感技术有限公司授权不得商用。
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