一种坩埚喷涂设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种坩埚喷涂设备，包括旋转工作台以及设置在旋转工作台侧方的喷涂机器人，所述旋转工作台上设置有三个喷涂工位，每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱，所述喷涂箱包括固定外框，固定外框面向外侧一端敞口。通过将在旋转平台上设置三个喷涂工位，并在每个工位上安装喷涂箱，当喷涂箱转至喷涂机器人一侧时，即可进行喷涂作业，喷涂完之后，旋转平台转动，下一个喷涂箱就位后即可对喷涂箱内的坩埚进行喷涂作业，没有进行喷涂作业的喷涂箱可进行安装或取下坩埚的操作，可使得喷涂机器人不间断工作，喷涂效率极高。

A kind of crucible spraying equipment

The utility model relates to a crucible spraying equipment, comprising a rotating table and arranged in the spraying robot lateral rotation of the worktable, the rotary table is provided with three spraying station, each spraying station is provided with a spraying box placed in crucible, the spraying box comprises a fixed frame, a fixed frame for lateral end open. By setting three spraying station on the rotary platform, and the installation of the spray box in each station, when the spray box to the robot side, can be carried out after spraying, spraying, rotating platform rotation, a spraying box in place after the crucible spraying spraying box, no spraying box the spraying operation can be installed or removed from the crucible operation, can make the robot work uninterrupted, high spraying efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚喷涂设备
本技术属于多晶硅
，尤其涉及一种坩埚喷涂设备。
技术介绍
坩埚是光伏产业中生产多晶硅锭的必要器件，硅液在坩埚内经高温热处理得到硅锭。目前国内对多晶硅锭坩埚的年需求量为上百万只，随着国内光伏产业急剧发展，该产品市场需求还将逐年提高。其中铸锭工序是将散碎的硅料装入坩埚内熔化再重新结晶，得到优质的硅锭。铸锭工序中需要将硅料全部熔化，熔化的硅料若是直接与坩埚接触会发生反应，出现粘锅现象，严重影响硅锭的质量。为了避免熔化的硅料与坩埚发生反应，需要在坩埚内壁喷涂氮化硅，因为氮化硅属于一种性质稳定的化学物质，既不会和坩埚反应，也不会和液态硅反应，能够在熔化的硅溶液和坩埚之间起到很好的隔离作用。当氮化硅涂层喷涂达到规定要求后，需将喷涂好的坩埚放入烘箱内进行烘烤，然后再冷却，达到涂层要求后，即可以装料使用。现有的坩埚喷涂工艺是采用用力或叉车将需要喷涂的坩埚安装在喷涂工位上后进行喷涂作业，喷涂完后再通过人力或叉车将坩埚移走，这种方式在移走坩埚到重新安装坩埚这段时间内是无法进行喷涂作业的，喷涂效率很低。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术的目的是提供一种方便固定坩埚且喷涂效率本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种坩埚喷涂设备，其特征在于：包括旋转工作台(1)以及设置在旋转工作台(1)侧方的喷涂机器人(2)，所述旋转工作台(1)上设置有三个喷涂工位，每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱(3)，所述喷涂箱(3)包括固定外框(31)，固定外框(31)面向外侧一端敞口。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚喷涂设备，其特征在于：包括旋转工作台(1)以及设置在旋转工作台(1)侧方的喷涂机器人(2)，所述旋转工作台(1)上设置有三个喷涂工位，每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱(3)，所述喷涂箱(3)包括固定外框(31)，固定外框(31)面向外侧一端敞口。2.根据权利要求1所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述固定外框(31)包括底板(311)、左侧板(312)、右侧板(313)、后侧板(314)和顶板(315)，在固定外框(31)内设置有活动的内底板(321)、内左侧板(322)、内右侧板(323)、内后侧板(324)和内顶板(325)，所述内底板(321)和底板(311)、内左侧板(322)和左侧板(312)、内右侧板(323)和右侧板(313)、内后侧板(324)和后侧板(314)、内顶板(325)和顶板(315)之间均采用弹簧(5)连接。3.根据权利要求2所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述内底板...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄贤强，沈达军，赵芷绮，张苏州，栗学华，郭见英，何建军，
申请(专利权)人：浙江溢闳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33