【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅片的烘干设备
本技术属于机械
，涉及一种烘干设备，特别是一种用于多晶硅片的烘干设备。
技术介绍
多晶硅片，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。经检索，如中国专利文献公开了一种太阳能硅片烘干炉【申请号：201920374577.7；公开号：CN210070404U】。这种太阳能硅片烘干炉，其特征在于：其包括底架、下箱壳、上箱壳、发热体、温控器和滤板，所述下箱壳设置在底架上，所述上箱壳通过铰链设置在下箱壳上，且能翻转盖合在下箱壳上形成一炉体，所述下箱壳上设有让烘干隧道，多根发热体沿烘干隧道的走向间隔并排在上箱壳内，所述上箱壳的顶面设有与其内腔相连通的抽风口，所述滤板对应抽风口的下方位置设置在上箱壳内，多个温控器沿烘干隧道的走向间隔设置在上箱壳上。该专利中公开的太阳能硅片烘干炉虽然可烘干多晶硅片，但是，该太阳能硅片烘干炉对多晶硅片背面烘干效果较差，因此，设计出一种用于多晶硅...
【技术保护点】
1.一种用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅片的烘干设备，其特征在于，所述的烘干箱体一上还连接有吹扫箱体，所述吹扫箱体上固定有风机，风机与一吹风盘相连通，吹风盘上开设有若干出风口，出风口倾斜设置，且出风口均朝向外侧。
3.根据权利要求1所述的用于多晶硅片的烘干设备，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄贤强，
申请(专利权)人：浙江溢闳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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