一种用于多晶硅片的烘干设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于多晶硅片的烘干设备属于机械技术领域。它解决了现有太阳能硅片烘干炉对多晶硅片背面烘干效果较差等技术问题。本用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。本实用新型专利技术具有烘干效果好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅片的烘干设备
本技术属于机械
，涉及一种烘干设备，特别是一种用于多晶硅片的烘干设备。
技术介绍
多晶硅片，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。经检索，如中国专利文献公开了一种太阳能硅片烘干炉【申请号：201920374577.7；公开号：CN210070404U】。这种太阳能硅片烘干炉，其特征在于：其包括底架、下箱壳、上箱壳、发热体、温控器和滤板，所述下箱壳设置在底架上，所述上箱壳通过铰链设置在下箱壳上，且能翻转盖合在下箱壳上形成一炉体，所述下箱壳上设有让烘干隧道，多根发热体沿烘干隧道的走向间隔并排在上箱壳内，所述上箱壳的顶面设有与其内腔相连通的抽风口，所述滤板对应抽风口的下方位置设置在上箱壳内，多个温控器沿烘干隧道的走向间隔设置在上箱壳上。该专利中公开的太阳能硅片烘干炉虽然可烘干多晶硅片，但是，该太阳能硅片烘干炉对多晶硅片背面烘干效果较差，因此，设计出一种用于多晶硅片的烘干设备是很有必要的。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于多晶硅片的烘干设备，解决多晶硅片背面烘干效果差的问题。本技术的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。采用以上结构，多晶硅片放置在输送结构上，在输送结构的运输下依次经过烘干箱一、翻转机构和烘干箱二，烘干箱一对多晶硅片的上表面进行烘干，翻转机构通过吸盘吸住多晶硅片，动力结构带动转动臂、吸盘和多晶硅片转动一百八十度后，吸盘停止工作将翻转后的多晶硅片放置在运输结构上，烘干箱二对多晶硅片的反面进行烘干，解决了硅片背面烘干效果差的问题，具有烘干效果好的优点。所述烘干箱体一上还连接有吹扫箱体，所述吹扫箱体上固定有风机，风机与一吹风盘相连通，吹风盘上开设有若干出风口，出风口倾斜设置，且出风口均朝向外侧。采用以上结构，出风口倾斜设置，且出风口均朝向外侧，将多晶硅片上残余的水分向外侧吹，吹扫效果更好。所述转动臂上还通过连接杆固定有两个用于定位硅片的辅助块。采用以上结构，通过设置辅助块，可对多晶硅片进行定位作用，同时在吸盘吸住多晶硅片进行转动时候，起到辅助固定作用，具有更好的可靠性。所述动力结构包括步进电机、主动齿轮、从动齿轮和转动杆，步进电机固定在安装座上，步进电机的输出轴水平设置，主动齿轮固定在步进电机的输出轴上，转动杆转动设置在安装座上，且转动杆与安装块相连接，从动齿轮固定在转动杆上，从动齿轮与主动齿轮相啮合。采用以上结构，通过步进电机带动主动齿轮、从动齿轮和转动杆转动，在吸盘的配合下，实现多晶硅片的翻转。所述输送结构包括支架、主动滚轴、从动滚轴、动力电机和两条传送带，支架固定在底座上，主动滚轴和从动滚轴分别转动设置在支架上，动力电机固定在支架上，动力电机的输出轴水平设置，且动力电机的输出轴与主动滚轴相连接，两条传送带套设在主动滚轴和从动滚轴之间。采用以上结构，通过动力电机带动主动滚轴转动，从而带动套设在主动滚轴和从动滚轴之间的两条传送带运动，从而实现输送功能。与现有技术相比，本技术具有以下优点：1、多晶硅片放置在输送结构上，在输送结构的运输下依次经过烘干箱一、翻转机构和烘干箱二，烘干箱一对多晶硅片的上表面进行烘干，翻转机构通过吸盘吸住多晶硅片，动力结构带动转动臂、吸盘和多晶硅片转动一百八十度后，吸盘停止工作将翻转后的多晶硅片放置在运输结构上，烘干箱二对多晶硅片的反面进行烘干，解决了硅片背面烘干效果差的问题，具有烘干效果好的优点。2、出风口倾斜设置，且出风口均朝向外侧，将多晶硅片上残余的水分向外侧吹，吹扫效果更好。3、通过设置辅助块，可对多晶硅片进行定位作用，同时在吸盘吸住多晶硅片进行转动时候，起到辅助固定作用，具有更好的可靠性。附图说明图1是本技术的平面结构示意图。图2是本技术的翻转机构的平面结构示意图。图3是本技术拆去部分结构后的平面结构示意图。图4是本技术的吹风盘的剖面结构示意图。图中，1、底座；2、烘干箱一；3、烘干箱二；4、安装座；5、安装块；6、转动臂；7、吸盘；8、吹扫箱体；9、风机；10、吹风盘；11、出风口；12、连接杆；13、辅助块；14、步进电机；15、主动齿轮；16、从动齿轮；17、转动杆；18、支架；19、主动滚轴；20、从动滚轴；21、动力电机；22、传送带。具体实施方式以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步的描述，但本技术并不限于这些实施例。如图1-4所示，本用于多晶硅片的烘干设备，包括底座1，在本实施例中，底座1上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座1上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一2和烘干箱二3，在本实施例中，烘干箱一2和烘干箱二3均采用市场上可以买到的现有产品，底座1上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，翻转机构包括安装座4、安装块5、两个转动臂6和两个吸盘7，安装座4固定在底座1上，安装块5位于烘干箱一2和烘干箱二3之间，安装块5转动设置在安装座4上，且安装块5与一动力结构相连接，安装块5的两端分别与转动臂6相连接，吸盘7固定在转动臂6上，在本实施例中，吸盘7与一吸气设备相连接，吸气设备为现有市场上可以买到的现有产品。采用以上结构，多晶硅片放置在输送结构上，在输送结构的运输下依次经过烘干箱一2、翻转机构和烘干箱二3，烘干箱一2对多晶硅片的上表面进行烘干，翻转机构通过吸盘7吸住多晶硅片，动力结构带动转动臂6、吸盘7和多晶硅片转动一百八十度后，吸盘7停止工作将翻转后的多晶硅片放置在运输结构上，烘干箱二3对多晶硅片的反面进行烘干，解决了硅片背面烘干效果差的问题，具有烘干效果好的优点。烘干箱体一上还连接有吹扫箱体8，吹扫箱体8上固定有风机9，风机9与一吹风盘10相连通，吹风盘10上开设有若干出风口11，在本实施例中，出风口11的数量为八个，出风口11倾斜设置，且出风口11均朝向外侧。采用以上结构，出风口11倾斜设置，且出风口11均朝向外侧，将多晶硅片上残余的水分向外侧吹，吹扫效果更好。转动臂6上还通过连接杆12固定有两个用于定位硅片的辅助块13。采用以上结构，通过设置辅助块13，可对多晶硅片进行定位作用，同时在吸盘7吸住多晶硅片进行转动时候，起到辅助固定作用，具有更好的可靠性。动力结构包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅片的烘干设备，包括底座，其特征在于，所述底座上设置有用于输送多晶硅片的输送结构，底座上依次固定有用于烘干多晶硅片的烘干箱一和烘干箱二，底座上还设置有用于翻转多晶硅片的翻转机构，所述翻转机构包括安装座、安装块、两个转动臂和两个吸盘，安装座固定在底座上，安装块位于烘干箱一和烘干箱二之间，安装块转动设置在安装座上，且安装块与一动力结构相连接，安装块的两端分别与转动臂相连接，吸盘固定在转动臂上。


2.根据权利要求1所述的用于多晶硅片的烘干设备，其特征在于，所述的烘干箱体一上还连接有吹扫箱体，所述吹扫箱体上固定有风机，风机与一吹风盘相连通，吹风盘上开设有若干出风口，出风口倾斜设置，且出风口均朝向外侧。


3.根据权利要求1所述的用于多晶硅片的烘干设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄贤强，
申请(专利权)人：浙江溢闳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33