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一种坩埚喷涂设备制造技术
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文档序号:16984594
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本实用新型涉及一种坩埚喷涂设备,包括旋转工作台以及设置在旋转工作台侧方的喷涂机器人,所述旋转工作台上设置有三个喷涂工位,每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱,所述喷涂箱包括固定外框,固定外框面向外侧一端敞口。通过将在旋转平台上设置三个喷...
该专利属于浙江溢闳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江溢闳光电科技有限公司授权不得商用。
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