The invention provides a crucible, through a plurality of first baffle plate is arranged in the crucible body along the width direction, set the interval between each first baffle, which will be the crucible body interior space is divided into multiple regions, the first side wall and the second side walls of the first baffle plate is fixed in the crucible body oppositely arranged, a plurality of first hollow or a plurality of grooves, set the first baffle so that when the crucible moves from one chamber along the length direction to another chamber, the crucible body evaporation materials can be the first baffle on the first hollow part or all the grooves in each region of the body between the crucible flow, thereby inhibiting evaporation materials shaking, improve the steam stability of plating materials, ensure the evaporation rate maintained a steady state, can improve the uniformity of steam coating layer and OLED substrate color yield.
【技术实现步骤摘要】
一种坩埚
本专利技术涉及OLED(OrganicLightEmittingDiode,有机发光二极管)制备
,具体涉及一种坩埚。
技术介绍
在制造OLED时,利用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上,有机蒸镀是将有机材料加热直至汽化的过程。当有机材料的熔点低于升华温度,有机材料先转变为液态后再汽化。真空蒸镀过程中,一般选用线源坩埚盛放有机材料,坩埚外部包裹有加热丝,该加热丝在通电时可对坩埚进行加热,盛放在坩埚内的有机材料在高温下蒸发为气体,气体上升并遇到位于坩埚上方的OLED基板,在OLED基板上发生凝华,从而将有机材料蒸镀到OLED基板上。结合图1a、图1b和图1c所示,现有的坩埚长度较大,在坩埚内部,沿坩埚长度的方向上设置多个挡板101从而将坩埚的内部空间划分为多个区域,挡板具有一个凹槽102,蒸镀材料能够沿该凹槽102在坩埚内部相邻区域之间流动。如图2所示,在有机蒸镀过程中,如果将坩埚在A、B两个腔室之间进行快速切换,坩埚无需等待可以直接蒸镀,可以提高生产效率。在A、B两个腔室之间移动过程中,坩埚沿其长度方向移动,会造成熔融状态的蒸镀材料在坩埚内发生剧烈晃动,使蒸镀速率下降,导致蒸镀膜厚偏薄,产品色度异常。因此亟需一种坩埚以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术中存在的上述不足,提供一种坩埚,用以至少部分解决坩埚在两个腔室之间移动造成的内部蒸镀材料产生晃动,影响蒸镀速率和产品品质的问题。本专利技术为解决上述技术问题,采用如下技术方案:本专利技术提供一种坩埚,包括坩埚本体和多个第一挡板,所述第一挡板沿所述坩埚本体的宽度方 ...
【技术保护点】
一种坩埚,包括坩埚本体和多个第一挡板,所述第一挡板沿所述坩埚本体的宽度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,各所述第一挡板之间具有第一间隔距离,其特征在于,所述第一挡板上设置有多个第一镂空部或多个第一凹槽。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚,包括坩埚本体和多个第一挡板,所述第一挡板沿所述坩埚本体的宽度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对设置的第一侧壁和第二侧壁上,各所述第一挡板之间具有第一间隔距离,其特征在于,所述第一挡板上设置有多个第一镂空部或多个第一凹槽。2.如权利要求1所述的坩埚,其特征在于,还包括第二挡板,所述第二挡板沿所述坩埚本体的长度方向设置,并固定在所述坩埚本体相对的设置的第三侧壁和第四侧壁上,所述第二挡板上设置有多个第二镂空部或多个第二凹槽。3.如权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述第二挡板为多个,各所述第二挡板之间具有第二间隔距离。4.如权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述第一间隔距离和/或所述第二间隔距离为8-10cm。5.如权利要求2所述的坩埚,其特征在于,各所述第一镂空部或各第一凹槽设置在所述第一挡板的下部,和/或,各所述第二镂空部或各第二凹槽设置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:何传友,马群,崔志明,杨婷雁,雷瑶,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。