一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及蒸镀技术领域，公开了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属锂蒸发装置中包括：开孔组件，开孔组件包括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一一对应的开孔针；当针体支撑板处于第一工位时，每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内，当针体支撑板处于第二工位时，每一个开孔针自蒸发坩埚内脱离；用于驱动针体支撑板动作的第一驱动组件。开孔针插入锂块形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，节约升温时间，提高了金属锂蒸发的均匀性。

A metal lithium evaporation device, evaporation equipment and metal lithium evaporation method

The present invention relates to evaporation technology field, discloses a lithium metal evaporation device and vacuum evaporation equipment and lithium metal evaporation method, including the lithium metal evaporation device: hole assembly hole assembly includes a needle body mounted on the support plate and the needle body supporting plate and corresponding evaporation hole needle; when the needle body supporting plate is in the first place, each opening of the needle through hole corresponding to the evaporation evaporation into the crucible to insert lithium metal to the evaporation crucible, when the needle body supporting plate is in the second position, each needle hole from the self evaporating crucible; a first driving component in drive the needle body supporting plate movement. Open hole needle is inserted into the lithium blocks form a plurality of holes, the surface of the new opening exposed as the evaporation surface, improve the lithium oxide and nitride metal block is caused by lithium evaporation difficult situation, new surface and block hole exposing the lithium evaporation rate stable metal lithium in the process under normal temperature save time, temperature, and improve the uniformity of lithium metal evaporation.

【技术实现步骤摘要】
一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法
本专利技术涉及蒸镀
，特别涉及一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法。
技术介绍
当代在显示领域中OLED显示屏应用广泛，且应用前景良好，OLED发光原理为:施加一正向偏压，空穴和电子克服界面能障后，由阴极和阳极注入，穿过功能层，电子和空穴在有发光特性的有机物质内结合形成激子，此激子态不稳定，当激子返回到基态时，形成退激发光。OLED是有多种功能层堆叠组成的发光器件，目前OLED的主要制作工艺是蒸镀技术，为改善载流子的注入、传输能力，发光效率、器件寿命等特性，OLED器件多采用串联结构(CGL层)，其中CGL层不可缺少金属锂。但是，传统的金属锂的填料方法存在很大不足，从材料的制备、填料、腔室关闭、抽真空至腔室内真空度达到工艺要求这段过程中，金属锂一直裸露在空气中，使得金属锂被氧化、氮化等，金属锂表面的氧化层或氮化层会阻止金属锂的蒸发，当前采用高温爆冲的方法，但该方法耗时很长(约10个小时)，并且蒸发极不均匀，使制备出来的OLED器件的寿命、效率、亮度等存在很大缺陷。
技术实现思路
本专利技术提供了一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该金属蒸镀装置中，通过开孔针插入锂块，在锂块上形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块因在空气中放置太久表面被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，使金属锂容易蒸发，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，既节约升温时间，又提高了金属锂蒸发的均匀性，进而有效的缓解了当前金属锂的蒸发工艺造成的器件效率、电压、寿命等指标不均匀的情况。为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种金属锂蒸发装置，包括：真空腔壳体；安装于所述真空腔壳体内的蒸发坩埚，所述蒸发坩埚包括埚体和用于盖合所述埚体的盖体，所述盖体上设有多个蒸发孔；开孔组件，所述开孔组件包括针体支撑板、安装于所述针体支撑板且与所述蒸发孔一一对应的开孔针；当所述针体支撑板处于第一工位时，每一个所述开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以插入至所述蒸发坩埚内的金属锂内，当所述针体支撑板处于第二工位时，每一个所述开孔针自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述针体支撑板动作的第一驱动组件。上述金属锂蒸发装置中，将块状金属锂放置在蒸发坩埚内，盖体盖合埚体，且盖体上有多个蒸发孔，给锂块开孔时，开孔组件的针体支撑板与盖体相对，每一个开孔针与蒸发孔一一对齐，第一驱动组件驱动针体支撑板朝向盖体的方向移动至第一工位，即每一个开孔针贯穿对应的蒸发孔伸入蒸发坩埚内并插入锂块内一定深度，然后第一驱动组件驱动针体支撑板朝远离蒸发坩埚的方向移动至第二工位，使针体在锂块内抽离并从蒸发坩埚内脱离，则，锂块上形成了与蒸发孔一一对应的开孔。因此，上述金属锂蒸发装置中，通过开孔针插入锂块，在锂块上形成多个开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块因在空气中放置太久表面被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，使金属锂容易蒸发，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，既节约升温时间，又提高了金属锂蒸发的均匀性，进而有效的缓解了当前金属锂的蒸发工艺造成的器件效率、电压、寿命等指标不均匀的情况。优选地，所述开孔组件还包括：套管支撑板，所述套管支撑板上设置有与所述蒸发孔一一对应的套管；每一组相互对应的蒸发孔、开孔针以及套管中，所述套管设于所述开孔针外侧，当所述套管支撑板处于第一工位、且所述针体支撑板处于第一工位时，所述套管穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以与所述蒸发坩埚内放置的金属锂的顶面相抵，所述开孔针穿过所述套管插入所述金属锂内；当所述套管支撑板处于第二工位时，所述套管自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述套管支撑板动作的第二驱动组件。优选地，所述第二驱动组件包括：安装于所述蒸发坩埚周侧的第二升降马达；与所述第二升降马达的输出轴传动连接、且轴心线与所述蒸发孔轴心线平行的第二丝杠，所述第二丝杠与所述套管支撑板螺纹配合。优选地，所述套管焊接于所述套管支撑板。优选地，所述套管支撑板包括底板以及相对设置的两个侧板，所述套管设于所述底板上，所述侧板设于所述底板朝向所述套管的一侧，且每个所述侧板沿所述套管支撑板移动方向与所述真空腔壳体的内壁之间动密封。优选地，所述金属锂蒸发装置还包括用于驱动所述针体支撑板和所述套管支撑板均偏离所述盖体的第三驱动组件。优选地，所述开孔针焊接于所述针体支撑板。优选地，所述第一驱动组件包括：安装于所述蒸发坩埚周侧的第一升降马达；与所述第一升降马达的输出轴传动连接、且轴心线与所述蒸发孔轴心线平行的第一丝杠，所述第一丝杠与所述针体支撑板螺纹配合。本专利技术还提供了一种蒸镀设备，包括如上述技术方案中所述的任意一种金属锂蒸发装置。本专利技术还提供了一种金属锂蒸发方法，采用如上述技术方案中所述的任意一种金属锂蒸发装置，包括：蒸发前蒸发材料及设备的前序准备；将锂块平放于蒸发坩埚内，并用盖体将埚体盖合；将真空腔壳体抽真空至达到蒸发工艺要求；开孔针沿所述盖体上的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内并插入所述锂块内，在所述锂块顶面形成开孔后抽离所述锂块并脱离所述蒸发坩埚；利用所述开孔露出的表面进行锂块蒸发。上述金属锂蒸发方法中，通过在锂块上开孔，将开孔露出的新的表面作为蒸发表面，改善了锂块因在空气中放置太久表面被氧化或氮化造成金属锂蒸发困难的状况，使金属锂容易蒸发，且锂块开孔露出的新的表面在正常的工艺温度下蒸发出稳定速率的金属锂，既节约升温时间，又提高了金属锂蒸发的均匀性，进而有效的缓解了当前金属锂的蒸发工艺造成的器件效率、电压、寿命等指标不均匀的情况。附图说明图1为本专利技术实施例提供的金属锂结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的金属锂蒸发装置的开孔针处于第一工位时的正视剖面结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的金属锂蒸发装置的开孔针处于第二工位时的正视结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的开孔后的锂块的剖面示意图。图标：1-蒸发坩埚；2-开孔组件；3-锂块；11-埚体；12-盖体；21-针体支撑板；22-开孔针；23-套管支撑板；24-套管。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参考图1和图2，本专利技术实施例提供的一种金属锂蒸发装置，包括：真空腔壳体；安装于真空腔壳体内的蒸发坩埚1，蒸发坩埚1包括埚体11和用于盖合埚体11的盖体12，盖体12上设有多个蒸发孔；开孔组件2，开孔组件2包括针体支撑板21、安装于针体支撑板21且与蒸发孔一一对应的开孔针22；当针体支撑板21处于第一工位时，每一个开孔针22穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发坩埚1内以插入至金属锂放置空间内的金属锂内，当针体支撑板21处于第二工位时，每一个开孔针22自蒸发坩埚1内脱离；用于驱动针体支撑板21动作的第一驱动组件。如图2和图3所示，上述金属锂蒸发装置中，将块状金属锂放置在蒸发坩埚1内，盖体12盖合埚体11，且盖体12上有多个蒸发孔，给锂块3开孔时，开孔组件2的针体支撑板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属锂蒸发装置，其特征在于，包括：真空腔壳体；安装于所述真空腔壳体内的蒸发坩埚，所述蒸发坩埚包括埚体和用于盖合所述埚体的盖体，所述盖体上设有多个蒸发孔；开孔组件，所述开孔组件包括针体支撑板、安装于所述针体支撑板且与所述蒸发孔一一对应的开孔针；当所述针体支撑板处于第一工位时，每一个所述开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以插入至所述蒸发坩埚内的金属锂内，当所述针体支撑板处于第二工位时，每一个所述开孔针自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述针体支撑板动作的第一驱动组件。

【技术特征摘要】
1.一种金属锂蒸发装置，其特征在于，包括：真空腔壳体；安装于所述真空腔壳体内的蒸发坩埚，所述蒸发坩埚包括埚体和用于盖合所述埚体的盖体，所述盖体上设有多个蒸发孔；开孔组件，所述开孔组件包括针体支撑板、安装于所述针体支撑板且与所述蒸发孔一一对应的开孔针；当所述针体支撑板处于第一工位时，每一个所述开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以插入至所述蒸发坩埚内的金属锂内，当所述针体支撑板处于第二工位时，每一个所述开孔针自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述针体支撑板动作的第一驱动组件。2.根据权利要求1所述的金属锂蒸发装置，其特征在于，所述开孔组件还包括：套管支撑板，所述套管支撑板上设置有与所述蒸发孔一一对应的套管；每一组相互对应的蒸发孔、开孔针以及套管中，所述套管设于所述开孔针外侧，当所述套管支撑板处于第一工位、且所述针体支撑板处于第一工位时，所述套管穿过对应的蒸发孔伸入至所述蒸发坩埚内以与所述蒸发坩埚内放置的金属锂的顶面相抵，所述开孔针穿过所述套管插入所述金属锂内；当所述套管支撑板处于第二工位时，所述套管自所述蒸发坩埚内脱离；用于驱动所述套管支撑板动作的第二驱动组件。3.根据权利要求2所述的金属锂蒸发装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括：安装于所述蒸发坩埚周侧的第二升降马达；与所述第二升降马达的输出轴传动连接、且轴心线与所述蒸发孔轴心线平行的第二丝杠，所述第二丝杠与所述套管支撑板螺纹配...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡长奇，郭书鹏，王梦帝，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11