一种高效为核球镀层的方法与装置制造方法及图纸

一种高效为核球镀层的方法与装置，属于真空蒸镀的技术领域。其特征在于：核球通过可闭合落孔式阀门均匀下落，进入蒸镀空间，蒸汽颗粒附在核球上，形成镀层。装置设有蒸镀速度控制器，通过温度传感器监测坩埚温度，膜厚传感器监测蒸汽量，反馈数据传给蒸镀速度控制器，控制电阻加热器的加热温度；装置设有陶瓷挡板，防止蒸汽冷凝在真空腔室上；通过冷却水将装置分成三个温度区间，对应落料空间、蒸镀空间、收集空间；该方法及装置形成的镀层纯度高，质量好，厚度可较准确控制，成膜速率快，效率高。适合工业化生产。

A method and device for high efficiency nuclear coating

A method and device for high efficiency as a nuclear ball coating, which belongs to the technical field of vacuum evaporation. Its characteristic is that the nuclear ball will fall evenly through the closed hole valve and enter the evaporation space, and the steam particles are attached to the nuclear ball to form the coating. Evaporation device is provided with a speed controller, the temperature sensor to monitor the temperature of the crucible, the film thickness sensor to monitor the amount of steam, the feedback data to the evaporation speed controller, heating temperature control device is provided with a resistance heater; ceramic plate, to prevent condensation in the vacuum chamber; cooling water through the device is divided into three temperature regions, corresponding blanking space, space, space to collect evaporation; coating the purity of the method and the device of high quality is good, the thickness can be accurately controlled, fast deposition rate, high efficiency. It is suitable for industrial production.

【技术实现步骤摘要】
一种高效为核球镀层的方法与装置
本专利技术属于真空蒸镀的
，特别涉及一种高效为核球镀层的方法与装置。
技术介绍
随着电子技术的飞速发展，封装的小型化和组装的高密度化以及各种新型封装技术的不断涌现，对电子组装质量的要求也越来越高。其实电子封装产品简单的来说就是电子产品的保护罩，让电子产品免受外界环境的影响。比如化学腐蚀，比如大气环境，氧化等。为了让电子产品更好的经久耐用，提高寿命。所以电子封装工艺技术就非常的重要了。电子封装就是安装集成电路内置芯片外用的管壳，起着安放固定密封，保护集成电路内置芯片，增强环境适应的能力，并且集成电路芯片上的铆点也就是接点，是焊接到封装管壳的引脚上的。传统的BGA锡球经反复受热后，焊接点会熔化，导致封装变形。目前使用较多的是采用电镀的方式为核球镀上镍锡金等金属，核球选择熔点高的金属，经多次加热，核球仍存在于焊盘内并维持空间。但是电镀具有镀层表面粗糙，槽液可能污染镀层，镀层致密性差，与核球的结合力不良等问题。本专利技术利用真空蒸镀的方式，解决镀层致密性差，与核球结合力弱，镀层污染等问题。
技术实现思路
针对电镀方式为核球镀层，存在粗糙，污染，致密性差、结合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高效为核球镀层的方法，其特征在于：首先对真空腔室（2）抽真空，然后将处理后的核球（12）置于落料室（10）中，并对落料室（10）再次抽真空，接着启动上、下部水冷系统（3）、（8），将落料空间（13）、收集空间（21）处于低温状态，此时加热镀层材料（19），待蒸汽量达到一定程度，打开可闭合落孔式阀门（14），使核球（12）进入蒸镀空间（16），最后成品（23）落入收集部（9），其具体操作步骤如下：（a）装料，该装置初始为真空状态，首先打开进气阀（15），然后打开落料室仓门（11）和蒸发部仓门（7），将核球（12）、镀层材料（19）置于落料室（10）和坩埚（17）中；（b）抽真空，关闭进气阀（...

【技术特征摘要】
1.一种高效为核球镀层的方法，其特征在于：首先对真空腔室（2）抽真空，然后将处理后的核球（12）置于落料室（10）中，并对落料室（10）再次抽真空，接着启动上、下部水冷系统（3）、（8），将落料空间（13）、收集空间（21）处于低温状态，此时加热镀层材料（19），待蒸汽量达到一定程度，打开可闭合落孔式阀门（14），使核球（12）进入蒸镀空间（16），最后成品（23）落入收集部（9），其具体操作步骤如下：（a）装料，该装置初始为真空状态，首先打开进气阀（15），然后打开落料室仓门（11）和蒸发部仓门（7），将核球（12）、镀层材料（19）置于落料室（10）和坩埚（17）中；（b）抽真空，关闭进气阀（15），利用真空泵（6）、（6’）对整个装置抽真空，使之达到高真空状态，10-1~10-5Pa；（c）降温，启动上下部水冷系统（3）、（8），使落料空间（13）、收集空间（21）维持稳定低温状态；（d）加热，启动电阻加热器（18）加热镀层材料（19），根据膜厚传感器（4），温度传感器（20）反馈的数据，传递给蒸镀速度控制器（1），调节电阻加热器（18）以控制蒸汽量；（e）落料，打开可闭合落孔式阀门（14），通过多次开合的方式控制核球（12）经小孔（24）均匀下落，进入蒸镀空间（16）；（f）收集，核球（12）穿过蒸镀空间（16）后镀上一层蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱俊，潘鑫，
申请(专利权)人：张家港创博金属科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32