下载一种高效为核球镀层的方法与装置的技术资料

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一种高效为核球镀层的方法与装置,属于真空蒸镀的技术领域。其特征在于:核球通过可闭合落孔式阀门均匀下落,进入蒸镀空间,蒸汽颗粒附在核球上,形成镀层。装置设有蒸镀速度控制器,通过温度传感器监测坩埚温度,膜厚传感器监测蒸汽量,反馈数据传给蒸镀速度...
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