一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备制造技术

本发明专利技术涉及一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备，包括框架、石英管、微波腔和四个旋转机构，旋转机构包括固定板、调节组件和旋转组件，旋转组件包括第二电机、缓冲块、第二驱动轴和驱动齿轮，微波腔的内侧设有四个距离检测机构，距离检测机构包括固定管、插杆、抵触块、弹簧和压力传感器，该基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备通过距离检测机构检测石英管与微波腔的相对位置，并利用调节组件调节微波腔的位置，使微波腔与石英管同轴设置，不仅如此，在微波腔移动过程中，通过旋转组件带动微波腔旋转，从而使石英管内的微波能量均匀分布，有利于石英管内的透明玻璃层均匀分布，进而提高了光纤预制棒的生产质量。

A uniform deposition of optical fiber preform production equipment based on PCVD process

The invention relates to a uniform deposition of PCVD process based on the optical fiber preform production equipment, which comprises a frame, a quartz tube, the microwave cavity and four rotating mechanism, the rotary mechanism comprises a fixed plate, adjustable and rotatable components, rotating assembly includes a second motor, a buffer block, a second drive shaft and a drive gear, inside the microwave cavity there are four distance detection mechanism, a distance detection mechanism comprises a fixed tube, rod, block, spring and resistance pressure sensor, the uniform deposition of PCVD based on the technology of optical fiber preform production equipment by the relative position of distance detection mechanism detects the quartz tube and the microwave cavity, and by adjusting the component position to adjust the microwave cavity, microwave the cavity and the quartz tube are coaxially arranged, not only that, in the process of microwave cavity movement, driven by rotating the rotating components of the microwave cavity, so that the quartz tube The uniform distribution of the microwave energy is beneficial to the uniform distribution of the transparent glass layer in the quartz tube, and thus the production quality of the fiber preform is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备
本专利技术涉及光纤设备领域，特别涉及一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备。
技术介绍
光纤预制棒又称制棒，其制造过程为将四氯化硅等原材料制成与光纤具有相同折射率分布，直径为1至3厘米的预制棒的过程。制造方法有多种，普遍采用的有：MCVD法、VCD法、OVD法和PCVD法。其中PCVD法是利用微波等离子体使石英管的气体氧化并沉积的预制棒制造方法。在石英管的一端送入各种化学试剂与载气氧气，另一端用旋转真空泵保持一定的真空度，一个震荡频率为2.45GHz、功率为1kW左右的环形微波谐振腔包围着石英管并以8m/min的速度沿石英管快速移动整个过程在高温炉子内进行。微波能量使石英管内局部地产生非等温低压离子体，不同离子体相互碰撞直接进行化学反应，沉积出透明玻璃层，沉积后的空心板进行烧缩，制成光纤预制棒。采用PCVD法在进行光纤制造时，人们往往忽视环形微波谐振腔与石英管的位置关系，导致微波腔的中心轴线与石英管的中心轴线不在同一位置，使得石英管内的微波能量分布不均匀，致使透明玻璃层的分布不均匀，影响光纤预制棒的生成质量，不仅如此，仅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备，其特征在于，包括基座(1)、框架(2)、石英管(3)、微波腔(4)、两个移动机构和四个旋转机构，所述框架(2)的竖向截面的形状为回形，所述框架(2)设置在基座(1)的上方，两个移动机构分别设置在框架(2)下方的两侧，四个旋转机构分别设置在框架(2)的四个内壁上，所述微波腔(4)设置在四个旋转机构之间，所述旋转机构与微波腔(4)传动连接，所述微波腔(4)的形状为环形，所述微波腔(4)套设在石英管(3)上；所述旋转机构包括固定板(5)、调节组件和旋转组件，所述固定板(5)固定在框架(2)的内壁上，所述调节组件包括第一电机(6)、第一驱动轴(7)和...

【技术特征摘要】
1.一种基于PCVD工艺的沉积均匀的光纤预制棒生产设备，其特征在于，包括基座(1)、框架(2)、石英管(3)、微波腔(4)、两个移动机构和四个旋转机构，所述框架(2)的竖向截面的形状为回形，所述框架(2)设置在基座(1)的上方，两个移动机构分别设置在框架(2)下方的两侧，四个旋转机构分别设置在框架(2)的四个内壁上，所述微波腔(4)设置在四个旋转机构之间，所述旋转机构与微波腔(4)传动连接，所述微波腔(4)的形状为环形，所述微波腔(4)套设在石英管(3)上；所述旋转机构包括固定板(5)、调节组件和旋转组件，所述固定板(5)固定在框架(2)的内壁上，所述调节组件包括第一电机(6)、第一驱动轴(7)和套管(8)，所述第一电机(6)固定在固定板(5)上，所述第一电机(6)与第一驱动轴(7)传动连接，所述第一驱动轴(7)的外周设有外螺纹，所述套管(8)套设在第一驱动轴(7)上，所述套管(8)内设有内螺纹，所述套管(8)内的内螺纹与第一驱动轴(7)上的外螺纹相匹配；所述旋转组件包括第二电机(9)、缓冲块(10)、第二驱动轴(11)、驱动齿轮(12)和两个侧杆(13)，所述第二电机(9)通过其中一个侧杆(13)与套管(8)固定连接，所述缓冲块(10)通过另一个侧杆(13)与套管(8)固定连接，所述第二驱动轴(11)设置在第二电机(9)和缓冲块(10)之间，所述第二电机(9)与第二驱动轴(11)传动连接，所述驱动齿轮(12)套设在第二驱动轴(11)上；所述微波腔(4)的外周至少设有四个从动齿(14)，所述从动齿(14)周向均匀分布在微波腔(4)的外周，所述从动齿(14)与驱动齿轮(12)啮合；所述微波腔(4)的内侧设有四个距离检测机构，所述距离检测机构包括固定管(15)、插杆(16)、抵触块(17)、弹簧(18)和压力传感器(19)，所述固定管(15)固定在微波腔(4)的内壁上，所述压力传感器(19)固定在固定管(15)内的底部，所述弹簧(18)设置在固定管(15)内，所述插杆(16)的一端与抵触块(17)固定连接，所述插杆(16)的另一端通过弹簧(18)与压力传感器(19)连接，所述弹簧(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞桂英，
申请(专利权)人：南京卓茨机电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32