一种光纤预制棒母棒的烧结装置及对应的烧结方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种光纤预制棒母棒的烧结装置，利用该装置烧结，可以解决真空烧结松散体时，石墨加热件被氧化的问题，且可以解决松散体烧结过程中气泡多和OH含量高的问题，从而获得气泡少和OH含量低的烧结芯棒。其包括真空烧结炉，所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层，所述石英中心管的顶部设置有保温层，引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内，所述引杆的下端通过连接套连接靶棒，所述靶棒用于松散体的沉积附着，所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件，所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层。

A sintering device for a fiber preform rod and its corresponding sintering method

【技术实现步骤摘要】
一种光纤预制棒母棒的烧结装置及对应的烧结方法
本专利技术涉及光纤预制棒制作的
，具体为一种光纤预制棒母棒的烧结装置，本专利技术还提供了该装置所对应的烧结方法。
技术介绍
目前，在制备光纤预制棒母棒的过程中，目前经常使用的方法是采用水解法制备光纤预制棒母棒的松散体，之后采用烧结的方法使其烧结成型。该过程的沉积过程是使用SiCl4为原料，配合氢氧焰，制备松散体。因此，该松散体不可避免的会形成以Si-O和O-H(游离态的水和羟基)为主要键体的松散体。真空烧结属于一种烧结效率较高的烧结，烧结废气也好处理。同时，在烧结过程中，由于设备密封性较好，温场均匀，所烧结的松散体气泡较少，相对传统烧结有很大的改进。烧结过程中需要向烧结炉内通入氧化性气体(Cl2和O2)。CN1213650A所公开的文献中提到的真空烧结装置加热和保温件均采用石墨材料，因此无法使用O2对松散体进行除碳处理。这样，烧结过程中，松散体被污染后，会引起烧结成型的芯棒拉丝衰减不合格，造成产品质量损失。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供了一种光纤预制棒母棒的烧结装置，利用该装置烧结，可以解决真空烧结松散体时，石墨加热件被氧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：其包括真空烧结炉，所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层，所述石英中心管的顶部设置有保温层，引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内，所述引杆的下端通过连接套连接靶棒，所述靶棒用于松散体的沉积附着，所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件，所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层，所述石墨保温层的内壁和所述硅钼棒加热件间预留有间隔空腔，所述真空烧结炉的上部侧壁上预设有两根进气管，具体为第一进气管、第二进气管，所述第一进气管贯穿所述石英中心管的外壁后通入其内腔，所述第二进气管贯...

【技术特征摘要】
1.一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：其包括真空烧结炉，所述真空烧结炉的腔体内布置有石英中心管、硅钼棒加热件、石墨保温层，所述石英中心管的顶部设置有保温层，引杆贯穿所述保温层后内伸至所述石英中心管的内腔内，所述引杆的下端通过连接套连接靶棒，所述靶棒用于松散体的沉积附着，所述石英中心管的对应于松散体沉积附着的长度方向的外环壁环布有所述硅钼棒加热件，所述硅钼棒加热件的外环部分设置有环布的石墨保温层，所述石墨保温层的内壁和所述硅钼棒加热件间预留有间隔空腔，所述真空烧结炉的上部侧壁上预设有两根进气管，具体为第一进气管、第二进气管，所述第一进气管贯穿所述石英中心管的外壁后通入其内腔，所述第二进气管贯穿所述真空烧结炉的侧壁后连通其腔体，所述石英中心管的底部设置有外通的第一排气管，所述真空烧结炉设置有外通的第二排气管。2.如权利要求1所述的一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：所述第一进气管、第二进气管相对于所述真空烧结炉的外侧均分别设置有压力传感器、阀门结构，所述第一进气管、第二进气管分别外接至对应的气源。3.如权利要求1所述的一种光纤预制棒母棒的烧结装置，其特征在于：所述真空烧结炉的底部非石英中心管的区域设置有外通的第二排气管，所述第一排气管、第二排气管上分别连接有压力传感器。4.如权利要求3所述的一种光纤预制棒母...

【专利技术属性】
技术研发人员：项南，柏文俊，冯程，马康库，沈震强，肖华，
申请(专利权)人：江苏亨通光导新材料有限公司，江苏亨通光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32