太阳能生产用三氯氧磷供应装置制造方法及图纸

一种太阳能生产用三氯氧磷供应装置，包括一个氮气源和扩散炉，还包括溶液箱，该溶液箱的底端有一送液管，该送液管上设有流量调节阀；还包括一个雾化装置，该雾化装置底端固定一个超声波雾化器，该超声波雾化器的上端固定一个倒锥台形雾化盘，雾化装置上设有一个进液口，该进液口位于雾化盘的上方，该进液口与送液管连通，雾化盘的顶端外圆周与雾化装置的内表面密封连接；雾化装置内上端固定一个锥台形导流筒，该导流筒的底端外圆周与雾化装置的内表面气密连接，该导流筒的底端纵向位置高于进液口的上端；导流筒的上端与一个圆柱形第二导流筒连通，该第二导流筒的顶端与氮气源的氮气管连通。该装置能够用尽三氯氧磷，且能保持混合气体成分稳定。

【技术实现步骤摘要】
太阳能生产用三氯氧磷供应装置
本技术涉及一种太阳能电池生产用设备，具体涉及一种三氯氧磷溶液的供应装置。
技术介绍
晶体硅太阳能电池的扩散工艺一般是利用掺硼的P型硅作为基底材料，在800℃左右，通过扩散五价的磷原子形成n型的半导体，组成P-N结的过程。扩散使用的设备是扩散炉，三氯氧磷是扩散的主要原材料，将装有三氯氧磷的扩散源瓶安装到设备的恒温装置中，如扩散源瓶通入小流量氮气，小流量氮气将三氯氧磷带进石英管内参加反应。由于扩散过程中对三氯氧磷需要的量是一定的，当扩散源瓶中的三氯氧磷低于一定量时，其氮气所携带的三氯氧磷的量就不能满足生产工艺的需要，必须更换新的扩散源瓶，这样更换下来的旧扩散源瓶内还剩余少量的三氯氧磷，这不但造成了三氯氧磷的浪费，且由于三氯氧磷是剧毒化学品，暴露于潮湿空气中即水解生成磷酸和氯化氢，进而产生白烟，遇水和酒精则产生大量的热和盐酸气体，甚至爆炸，人体吸入有致命的危险，一旦泄露会给周围环境会造成很大的危险，所以旧扩散源瓶的储存也存在很大的危险。因此，生产过程中，最好将三氯氧磷全部用尽。现有技术中也有相关研究，如中国专利，申请号：CN201420207177.4，公告号：CN203904505U，名称为“一种晶体硅太阳能电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置”，披露了一种装置，用于将三氯氧磷用尽。该装置的原理是在还存留少量的三氯氧磷的扩散源瓶与一个装满三氯氧磷的扩散源瓶通过管道串联。氮气先通过旧扩散源瓶，然后经过新扩散源瓶，氮气逐渐将旧扩散源瓶内的三氯氧磷全部带走，且通过新扩散源瓶来保证气体中三氯氧磷的含量能够复合要求。这种装置以及方法能够将旧瓶中的三氯氧磷用尽，也可保证三氯氧磷供应浓度。但是，为了将旧瓶中的三氯氧磷用尽，在即将用尽时需要将设备停用，再安装新的扩散源瓶。降低了工作效率。此外，另一件中国专利CN201520584751.2，公告号：CN204959086U，名称：“太阳电池用三氯氧磷扩散源瓶”披露了一种扩散源瓶，用于将留存在瓶底的三氯氧磷用尽。其使用的装置是进气管底端与一个环装多孔的管连通，这种环装多孔的管位于扩散源瓶的底端。这种设计非常好。但是在实际操作中却非常困难。第一，扩散源瓶多为玻璃或钢瓶，开口很小或没有开口这种环形多孔管很难放入扩散源瓶内；第二，即使环形多孔管放到扩散源瓶内，由于瓶底是平的，环形多孔管能够覆盖的面积也为环形，实际使用还是很难保证用尽三氯氧磷，同时当三氯氧磷量少到一定程度后，氮气进入能够带走的三氯氧磷的量也随之减少，进而对扩散率内的工序造成负面影响。以上两种设备是现阶段经常使用的装置，此类设备的问题还在于，由氮气进入三氯氧磷溶液中再带出三氯氧磷挥发气体，这种方式随着溶液剩余量的不同，所带出的三氯氧磷的量有比较大的区别。原因在于，溶液量多时，气体经过液体量也多，而随着溶液量减少，气体经过的液体量也随之减少，从而导致气体中三氯氧磷含量变动较大。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种能够用尽三氯氧磷且能够保证混合气体中三氯氧磷含量始终稳定的太阳能电池生产用三氯氧磷供应装置。为了实现上述目的，本技术包括，一个氮气源和扩散炉，还包括一个装有三氯氧磷溶液的溶液箱，该溶液箱的底端有一送液管，该送液管上设有流量调节阀；还包括一个雾化装置，该雾化装置底端固定一个超声波雾化器，该超声波雾化器的上端固定一个倒锥台形雾化盘，所述雾化装置上设有一个进液口，该进液口位于雾化盘的上方，该进液口与送液管连通，所述雾化盘的顶端外圆周与雾化装置的内表面密封连接；所述雾化装置内上端固定一个锥台形导流筒，该导流筒的底端外圆周与雾化装置的内表面气密连接，该导流筒的底端纵向位置高于进液口的上端；所述导流筒的上端与一个圆柱形第二导流筒连通，该第二导流筒的顶端与氮气源的氮气管连通。三氯氧磷溶液箱中的溶液流入雾化盘，超声波雾化器将溶液雾化，形成微细洗液向上漂浮，通过导流筒进入第二导流筒。由于氮气管的气体流速高于第二导流筒中的流速，从而在第二导流筒与氮气管连接处形成负压，氮气自然抽吸第二导流筒中的雾化溶液。雾化液体在氮气冲击下快速气化随着氮气进入扩散炉。这种装置不需要传统的扩散源瓶，直接将三氯氧磷溶液装在溶液箱中，接通管道后就可以直接使用，也就不存在用不干净的问题了。此外，通过调整流量调节阀的开度能够调整溶液雾化量，从而能够精确的控制随着氮气进入扩散炉的三氯氧磷溶液的量，保证稳定生产。进一步的，所述第二导流筒为金属筒，其外表面包覆有加热盘管。增加加热盘管能够将雾化液滴在第二导流筒内就进行气化，防止液体进入扩散炉，导致扩散不均匀。进一步的，所述加热盘管与扩散炉的排气管连通。利用扩散炉的高温废气来对雾化液滴进行气化，能够有效节约能源使用。优选的，所述加热盘管沿第二导流筒纵向排部，其热气入口在上端，废气出口在下端。进一步的，所述加热盘管的废气出口与一个冷凝器连通。进一步的，所述第二导流筒的顶端有一内径小于第二导流筒的缩口管，第二导流筒通过该缩口管与氮气管连通。这种设计能够提高气流的稳定性。附图说明图1是本技术示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做详细描述。如图1所示，一种太阳能生产用三氯氧磷供应装置，包括一个氮气源1和扩散炉6，还包括一个装有三氯氧磷溶液的溶液箱2，该溶液箱2的底端有一送液管21，该送液管21上设有流量调节阀22；还包括一个雾化装置3，该雾化装置3底端固定一个超声波雾化器31，该超声波雾化器31的上端固定一个倒锥台形雾化盘32，所述雾化装置3上设有一个进液口，该进液口位于雾化盘32的上方，该进液口与送液管21连通，所述雾化盘32的顶端外圆周与雾化装置3的内表面密封连接；所述雾化装置3内上端固定一个锥台形导流筒33，该导流筒33的底端外圆周与雾化装置3的内表面气密连接，该导流筒33的底端纵向位置高于进液口的上端；所述导流筒33的上端与一个圆柱形第二导流筒34连通，该第二导流筒34的顶端与氮气源1的氮气管11连通。所述第二导流筒34为金属筒，其外表面包覆有加热盘管4。所述加热盘管4与扩散炉6的排气管61连通。所述加热盘管4沿第二导流筒34纵向排部，其热气入口在上端，废气出口在下端。所述加热盘管4的废气出口与一个冷凝器5连通。所述第二导流筒34的顶端有一内径小于第二导流筒34的缩口管341，第二导流筒34通过该缩口管341与氮气管11连通。使用时，打开流量调节阀，三氯氧磷溶液箱中的溶液流入雾化盘，超声波雾化器将溶液雾化，形成微细洗液向上漂浮，通过导流筒进入第二导流筒。由于氮气管的气体流速高于第二导流筒中的流速，从而在第二导流筒与氮气管连接处形成负压，氮气自然抽吸第二导流筒中的雾化溶液。雾化液体在氮气冲击下快速气化随着氮气进入扩散炉。通过调整流量调节阀的开度能够调整溶液雾化量，从而能够精确的控制随着氮气进入扩散炉的三氯氧磷溶液的量，保证稳定生产。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能生产用三氯氧磷供应装置，包括一个氮气源(1)和扩散炉(6)，其特征在于，还包括一个装有三氯氧磷溶液的溶液箱(2)，该溶液箱(2)的底端有一送液管(21)，该送液管(21)上设有流量调节阀(22)；还包括一个雾化装置(3)，该雾化装置(3)底端固定一个超声波雾化器(31)，该超声波雾化器(31)的上端固定一个倒锥台形雾化盘(32)，所述雾化装置(3)上设有一个进液口，该进液口位于雾化盘(32)的上方，该进液口与送液管(21)连通，所述雾化盘(32)的顶端外圆周与雾化装置(3)的内表面密封连接；所述雾化装置(3)内上端固定一个锥台形导流筒(33)，该导流筒(33)的底端外圆周与雾化装置(3)的内表面气密连接，该导流筒(33)的底端纵向位置高于进液口的上端；所述导流筒(33)的上端与一个圆柱形第二导流筒(34)连通，该第二导流筒(34)的顶端与氮气源(1)的氮气管(11)连通。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能生产用三氯氧磷供应装置，包括一个氮气源(1)和扩散炉(6)，其特征在于，还包括一个装有三氯氧磷溶液的溶液箱(2)，该溶液箱(2)的底端有一送液管(21)，该送液管(21)上设有流量调节阀(22)；还包括一个雾化装置(3)，该雾化装置(3)底端固定一个超声波雾化器(31)，该超声波雾化器(31)的上端固定一个倒锥台形雾化盘(32)，所述雾化装置(3)上设有一个进液口，该进液口位于雾化盘(32)的上方，该进液口与送液管(21)连通，所述雾化盘(32)的顶端外圆周与雾化装置(3)的内表面密封连接；所述雾化装置(3)内上端固定一个锥台形导流筒(33)，该导流筒(33)的底端外圆周与雾化装置(3)的内表面气密连接，该导流筒(33)的底端纵向位置高于进液口的上端；所述导流筒(33)的上端与一个圆柱形第二导流筒(34)连通，该第二导流筒(34)的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗绿秀，方超，徐秀荣，吴春梅，
申请(专利权)人：江苏荣马新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32