掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统技术方案

本发明专利技术公开了一种掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统，属于显示技术领域。包括：n个手臂组，每个手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取掩膜板的间隔，n大于或等于1；转轮轴，转轮轴能够围绕转轮轴的轴心自转，n个手臂组沿转轮轴的周向依次排列，且每个手臂本体的一端与转轮轴固定连接；支撑件，转轮轴的两端均设置在支撑件上。本发明专利技术解决了采用相关技术中的掩膜板的存储机构时，机械手臂取放掩膜板时操作步骤较复杂，效率比较低的问题。本发明专利技术用于掩膜板的存储及搬运。

Storage mechanism, handling method and handling system of masks

The invention discloses a storage mechanism, a handling method and a handling system for a mask plate, which belongs to the field of display technology. Including: n arms group, each group including arm capable of carrying at least two arm body mask, at least two arm ontology for mechanical arm grasping of the mask plate spacing, n greater than or equal to 1; the rotating wheel shaft, wheel shaft can turn around the axis of rotation of the axle, N group along the turn arm the axle circumferential sequence, and one end of each arm body and wheel shaft is fixedly connected; support pieces, both ends of rotor shaft are disposed on the support member. The invention solves the problem of complicated operation steps and low efficiency when the mechanical arm takes the mask plate when using the storage mechanism of the mask plate in the related technology. The invention is used for storage and handling of the mask plate.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种掩膜板的存储机构、搬运方法及搬运系统。
技术介绍
在显示
，掩膜板是不可或缺的。例如在对有机发光二极管(英文：OrganicLight-EmittingDiode；简称：OLED)显示基板进行镀膜时，需要采用掩膜板进行掩膜以保证镀膜层良好的图案精度；又例如薄膜封装化学气相沉积(英文：ThinFilmEncapsulationChemicalVaporDeposition；简称：TFECVD)工艺中也需要采用掩膜板进行掩膜以保证封装的良率。由于对OLED显示基板进行镀膜时以及薄膜封装化学气相沉积工艺中所采用的掩膜板体积比较大，质量比较大，相关技术中，该掩膜板一般存放在如图1所示的掩膜板的存储机构中，参见图1，该存储机构11可以层叠存储多个掩膜板12，相邻两个掩膜板12之间存在一定距离，一般通过机械手臂从存储机构11中取放掩膜板12。机械手臂取放掩膜板的过程可以包括：在需要抓取掩膜板时，机械手臂伸至对应的掩膜板的下方，上抬该掩膜板然后缩回；在需要放置掩膜板时，机械手臂承载着该掩膜板伸至该掩膜板的存储位置，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板的存储机构，其特征在于，包括：n个手臂组，每个所述手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，所述至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取所述掩膜板的间隔，所述n大于或等于1；转轮轴，所述转轮轴能够围绕所述转轮轴的轴心自转，所述n个手臂组沿所述转轮轴的周向依次排列，且每个所述手臂本体的一端与所述转轮轴固定连接；支撑件，所述转轮轴的两端均设置在所述支撑件上。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板的存储机构，其特征在于，包括：n个手臂组，每个所述手臂组包括能够承载掩膜板的至少两个手臂本体，所述至少两个手臂本体存在供机械手臂抓取所述掩膜板的间隔，所述n大于或等于1；转轮轴，所述转轮轴能够围绕所述转轮轴的轴心自转，所述n个手臂组沿所述转轮轴的周向依次排列，且每个所述手臂本体的一端与所述转轮轴固定连接；支撑件，所述转轮轴的两端均设置在所述支撑件上。2.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，每个所述手臂本体的承载面上设置有两个定位块，所述两个定位块之间存在能够卡接掩膜板的间隔。3.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，所述转轮轴设置有空腔，所述空腔内设置有转轮控制箱，所述转轮控制箱与所述转轮轴电连接，所述转轮控制箱能够控制所述转轮轴顺时针转动或逆时针转动。4.根据权利要求3所述的存储机构，其特征在于，每个所述手臂本体内设置有电磁铁，所述电磁铁能够在通电时吸附掩膜板。5.根据权利要求1所述的存储机构，其特征在于，所述支撑件包括：两个调节组件，所述转轮轴的两端分别与一个所述调节组件连接。6.根据权利要求5所述的存储机构，其特征在于，每个所述调节组件包括丝杠和连接件，所述连接件活动套接在所述丝杠上，所述转轮轴的一端与所述连接件连接。7.一种掩膜板的搬运系统，其特征在于，包括：机械手臂和权利要求1至6任一所述的掩膜板的存储机构。8.一种掩膜板的搬运方法，其特征在于，应用于权利要求7所述的掩膜板的搬运系统，所述方法包括：当机械手臂需...

【专利技术属性】
技术研发人员：付文悦，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11