用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，该装置需要通过片外储能电容存储能量，通过片上的脉冲发生器处理电路处理脉冲波形，使脉冲的波形合乎国际标准，然后对器件的各个引脚进行放电测试。工作原理：电源通过正负极探针经片上的脉冲发生器处理电路向片外的储能电容进行冲电，当片外储能电容充满电时，再经过片上的脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试。

Ultra high speed pulse generator for ESD detection

The invention discloses a method for detecting ESD on the ultra high speed pulse generating device, the device through the external storage capacitor to store the energy through the generator, pulse waveform pulse processing circuit on a chip, the pulse waveform with the international standard, and the pins of the device discharge test. The principle of operation is that the power goes through the positive and negative pole probes through the on-chip pulse generator processing circuit to store energy capacitors outside the chip. When the off chip energy storage capacitor is full of electricity, it passes through the pulse generator circuit on the chip, and carries out the ESD test for each pin of the device.

【技术实现步骤摘要】
用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置
本装置涉及片上脉冲发生器
，尤其涉及通过片上的脉冲发生器处理电路对器件的各个引脚进行ESD测试的

技术介绍
目前的超高速脉冲发生器，都是在片外产生的，由于超高速脉冲对寄生参数特别敏感，所以通过电路走线之后，信号脉冲噪声和抖动比较大，其波形很难达到国际标准波形的要求。片外的超高速脉冲发生器的脉冲过冲和振铃比较严重，很难消除。减少寄生参数和引线长度成为关键。
技术实现思路
为了解决上述问题，本方法提出了一种利用片上的超高速脉冲发生器处理电路产生标准脉冲波对器件的各个引脚进行ESD测试的装置。本装置所采用的技术方案包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路。外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I-V曲线。本装置的有益效果是：将脉冲发生器处理模块置于片上，其产生的脉冲具有低噪声，脉冲的纹波很小，过冲和抖动都很小，上升时间可控，由于电路走线很短，寄生参数小，波形比片外的脉冲发生器来得好，脉冲波形符合国际标准。附图说明下面结合图对本方法的具体实施方式作进一步说明。图1是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的原理框图；图2是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的一种实现；图3是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的有源滤波器的原理框图；图4是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的脉冲放大器的原理框图。具体实施方式实施例一参考图1是片上超高速脉冲发生器模块装置的原理框图，该方法需要通过片外储能电容存储能量，通过片上的脉冲发生器处理电路处理脉冲波形，使脉冲的波形合乎国际标准，然后对器件的各个引脚进行放电测试。工作原理：电源通过正负极探针经片上的脉冲发生器处理电路向片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过片上的脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试。实施例二参考图2是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的一种实现的原理框图，包括片外储能电容3，CMOS开关S1（24），CMOS开关S2(27)，有源滤波器23，脉冲放大器25，对芯片引脚输出26。所述的片外储能电容与CMOS开关S1相连，外接电源通过CMOS开关S1对片外储能电容进行充电，片外储能电容与CMOS开关S2相连，当对外放电时，开关S1断开，开关S2闭合，脉冲通过开关S2，CMOS开关S2与有源滤波器相连，有源滤波器与脉冲放大器相连。参考图3是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的有源滤波器的原理框图，有3个引脚，引脚31为输入引脚，引脚33为输出引脚，引脚32为带宽控制引脚。带宽控制引脚可以根据电压控制滤波器带宽，信号从引脚31输入，引脚33输出，达到滤波作用。参考图4是用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置的脉冲放大器的原理框图，有3个引脚，引脚44为输入引脚，引脚46为输出引脚，引脚45为增益控制引脚。增益控制引脚可以控制脉冲放大器的增益，信号从引脚44输入，引脚46输出，达到放大的作用。实施例三本专利技术装置可以固定滤波器的带宽，固定脉冲放大器的增益，以达到固化在芯片内部，对芯片进行ESD测试，绘制I-V曲线。以上是对本装置进行比较好效果实施进行了具体说明，但本装置不限于所述的实施例。熟悉本领域的技术人员在不违背专利技术精神的前提下还可做出种种的等同变形或变换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路；外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I‑V曲线。

【技术特征摘要】
1.一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路；外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I-V曲线。2.根据权利要求1所述的一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：片上的脉冲发生器处理电路放电输出端与芯片的各...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇，郑辉，程玉华，
申请(专利权)人：上海北京大学微电子研究院，
类型：发明
国别省市：上海,31