用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，该装置需要通过片外储能电容存储能量，通过片上的脉冲发生器处理电路处理脉冲波形，使脉冲的波形合乎国际标准，然后对器件的各个引脚进行放电测试。工作原理：电源通过正负极探针经片上的脉冲发生器处理电路向片外的储能电容进行冲电，当片外储能电容充满电时，再经过片上的脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试。

Ultra high speed pulse generator for ESD detection

The invention discloses a method for detecting ESD on the ultra high speed pulse generating device, the device through the external storage capacitor to store the energy through the generator, pulse waveform pulse processing circuit on a chip, the pulse waveform with the international standard, and the pins of the device discharge test. The principle of operation is that the power goes through the positive and negative pole probes through the on-chip pulse generator processing circuit to store energy capacitors outside the chip. When the off chip energy storage capacitor is full of electricity, it passes through the pulse generator circuit on the chip, and carries out the ESD test for each pin of the device.

【技术实现步骤摘要】
用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置
本装置涉及片上脉冲发生器
，尤其涉及通过片上的脉冲发生器处理电路对器件的各个引脚进行ESD测试的

技术介绍
目前的超高速脉冲发生器，都是在片外产生的，由于超高速脉冲对寄生参数特别敏感，所以通过电路走线之后，信号脉冲噪声和抖动比较大，其波形很难达到国际标准波形的要求。片外的超高速脉冲发生器的脉冲过冲和振铃比较严重，很难消除。减少寄生参数和引线长度成为关键。
技术实现思路
为了解决上述问题，本方法提出了一种利用片上的超高速脉冲发生器处理电路产生标准脉冲波对器件的各个引脚进行ESD测试的装置。本装置所采用的技术方案包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路。外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I-V曲线。本装置的有益效果是：将脉冲发生器处理模块置于片上，其产生的脉冲具有低噪声，脉冲的纹波很小，过冲和抖动都很小，上升时间可控，由于电路走线很短，寄生参数小，波形比片外的脉冲发生器来得好，脉冲波形符合国际标准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路；外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I‑V曲线。

【技术特征摘要】
1.一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：包括片外储能电容，片上的脉冲发生器处理电路；外接电源通过两探针经片上的脉冲发生器处理电路对片外储能电容进行充电，当片外储能电容充满电时，再经过脉冲发生器电路，对器件的各个引脚进行ESD测试，对各引脚进行放电，测试绘制I-V曲线。2.根据权利要求1所述的一种用于ESD检测的片上超高速脉冲产生装置，其特征在于：片上的脉冲发生器处理电路放电输出端与芯片的各...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆宇，郑辉，程玉华，
申请(专利权)人：上海北京大学微电子研究院，
类型：发明
国别省市：上海,31