扭矩传感器制造技术

本发明专利技术提供一种小型且具有高刚性、并能够实现高生产效率的扭矩传感器。在左侧支撑体(10)与右侧支撑体(20)之间配置环状变形体(50)。在环状变形体(50)的左侧面的上下两处接合左侧支撑体(10)的凸状部(11、12)，在环状变形体(50)的右侧面的左右两处接合右侧支撑体(20)的凸状部(21、22)。在环状变形体(50)上，设置四处产生弹性变形的检测部(D1～D4)，当在向右侧支撑体(20)施加负荷的状态下朝左侧支撑体(10)作用绕Z轴的扭矩时，各检测部(D1～D4)的右侧面靠近或者远离右侧支撑体(20)的相对面。在各检测部(D1～D4)的右侧面形成位移电极，在右侧支撑体(20)的相对面形成位移电极，构成4组电容元件，作为其静电电容值的变动而检测作用的扭矩。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】扭矩传感器
本专利技术涉及一种扭矩传感器，尤其是涉及一种具有将绕预定的旋转轴作用的扭矩输出为电信号的功能的传感器。
技术介绍
检测绕预定的旋转轴作用的扭矩的扭矩传感器广泛应用于各种输送机械、工业机械。例如，在下述的专利文献1中，公开了利用应变计来检测由扭矩的作用产生的机械变形的类型的扭矩传感器。另外，在专利文献2中公开了在主轴表面通过镀金处理形成磁致伸缩膜并通过测定该磁致伸缩膜的磁特性的变化来检测作用于主轴的扭矩的传感器。另外，在专利文献3中公开了在扭杆的端部设置磁产生部并使用集磁环来检测由该磁产生部产生的磁的磁通密度的变化的类型的扭矩传感器，在专利文献4中公开了以使N极与S极沿周向交替排列的方式呈圆筒状配置多个磁铁并检测由这些磁铁产生的磁场的类型的扭矩传感器。另一方面，也提出了通过扭矩的作用使环状构件的形状变形、电检测其变形样态的扭矩传感器。例如，在专利文献5中，公开了准备通过扭矩的作用使环状构件的形状沿径向变形的连杆机构并利用负载传感器检测由于环状构件的变形朝其径向施加的力的扭矩传感器，在专利文献6中，公开了利用应变片(straingauge)来检测环状构件的各部分的伸缩状态的扭矩传感器。另外，例如在专利文献7、8中，公开了作为对构造体各部分所产生的位移进行电检测的机构而使用电容元件的方法。电容元件能够由相对的一对电极构成，能够将两电极间的距离检测为静电电容值，因此适合作为传感器用的位移检测机构。对此，在专利文献9中提出了通过扭矩的作用使环状构件的形状变形、并利用电容元件来检测以该变形为起因而产生的各部分的位移的扭矩传感器。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-058388号公报专利文献2：日本特开2007-024641号公报专利文献3：日本特开2009-244134号公报专利文献4：日本特开2006-292423号公报专利文献5：日本特开2000-019035号公报专利文献6：日本特开昭63-075633号公报专利文献7：日本特开2009-210441号公报专利文献8：日本特开平05-312659号公报专利文献9：国际公开第WO2012/018031号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在工业界，要求小型且具有高刚性、构造简单的扭矩传感器。尤其是，在使用机械臂进行自动组装的工业设备中，监视并控制在臂的前端部产生的力是不可或缺的。为了稳定进行这样的扭矩反馈型的控制，以电学观点而言，需要确保信号处理的高速响应性，并且以机械观点而言，需要使传感器构造体确保高刚性。在这样的观点下，上述的专利文献9所公开的扭矩传感器(以下，在本申请中称作“在先申请扭矩传感器”)作为小型且具有高刚性的传感器的资质优良。在该在先申请扭矩传感器中，产生弹性变形的环状变形体的预定点被配置于左右两侧的支撑体支撑。然后，采用将环状变形体所产生的径向的变形检测为电容元件的静电电容值的变化的方法。具体来说，采用构成电容元件的一方的电极(位移电极)形成于环状变形体的内侧面或外侧面、与之相对的另一方的电极(固定电极)固定于支撑体的构造。因此，能够实现小型且具有高刚性、构造简单的扭矩传感器。然而，在该在先申请扭矩传感器中，位移电极形成于环状变形体的内侧面或外侧面就足够，但固定电极需要支撑固定在与该位移电极相对的位置，因此固定电极的构造不得不变得复杂。并且，固定电极相对于位移电极的相对位置成为对检测精度造成影响的重大因素，因此在固定电极的位置调整中需要较大的作业负担。尤其是，在将多个电容元件配置为具有对称性并使用它们进行差值检测的情况下，需要以各个电容元件为单位进行如下调整，即，使相对电极变得平行，并且针对多个电容元件的电极间隔彼此相等。因此，在商业利用的情况下，存在生产效率降低、成本高涨这样的问题。对此，本专利技术的目的在于，提供一种小型且具有高刚性、能够实现高生产效率的扭矩传感器。用于解决技术问题的技术方案(1)本专利技术的第一方案涉及一种检测绕预定的旋转轴的扭矩的扭矩传感器，扭矩传感器具备：环状变形体，在与旋转轴正交的基本平面上以包围旋转轴的周围的方式定义基本环状路时，该环状变形体沿着该基本环状路伸展；左侧支撑体，在从旋转轴成为沿左右伸展的水平线那样的基准观察方向观察时，该左侧支撑体配置在与环状变形体的左侧邻接的位置；右侧支撑体，在从基准观察方向观察时，该右侧支撑体配置在与环状变形体的右侧邻接的位置；左侧连接构件，将环状变形体的左侧的侧面上的左侧连接点连接于左侧支撑体；右侧连接构件，将环状变形体的右侧的侧面上的右侧连接点连接于右侧支撑体；电容元件，由固定于环状变形体的右侧的侧面的预定位置的位移电极以及固定于右侧支撑体的与位移电极相对的位置的固定电极构成；以及检测电路，基于电容元件的静电电容值的变动，输出表示在向左侧支撑体以及右侧支撑体的一方施加负荷的状态下向另一方作用的绕旋转轴的扭矩的电信号，环状变形体具有位于在基本环状路上定义的检测点的检测部、以及与该检测部的两端连接的连结部，检测部具有通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第一变形部、通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第二变形部、以及通过第一变形部以及第二变形部的弹性变形产生位移的位移部，第一变形部的外侧端与同其邻接的连结部连接，第一变形部的内侧端与位移部连接，第二变形部的外侧端与同其邻接的连结部连接，第二变形部的内侧端与位移部连接，位移电极固定在位移部的与右侧支撑体相对的位置，左侧连接点以及右侧连接点配置于连结部，左侧连接点朝向基本平面的正射影投影像与右侧连接点朝向基本平面的正射影投影像形成于彼此不同的位置。(2)本专利技术的第二方案在上述的第一方案的扭矩传感器的基础上，在基本环状路上定义多个n个(n≥2)检测点，检测部分别位于各检测点，环状变形体通过将n个检测部与n个连结部沿着基本环状路交替配置来构成。(3)本专利技术的第三方案在上述的第二方案的扭矩传感器的基础上，在基本环状路上定义偶数n个(n≥2)检测点，检测部分别位于各检测点，环状变形体通过将n个检测部与n个连结部沿着基本环状路交替配置来构成。(4)本专利技术的第四方案在上述的第三方案的扭矩传感器的基础上，在相对于偶数n个连结部沿着基本环状路依次赋予编号时，右侧连接点配置于第奇数个连结部，左侧连接点配置于第偶数个连结部。(5)本专利技术的第五方案在上述的第四方案的扭矩传感器的基础上，通过设定为n＝2，沿着基本环状路将第一连结部、第一检测部、第二连结部、第二检测部按照该顺序配置，由此构成环状变形体，右侧连接点配置于第一连结部，左侧连接点配置于第二连结部。(6)本专利技术的第六方案在上述的第四方案的扭矩传感器的基础上，通过设定为n＝4，沿着基本环状路将第一连结部、第一检测部、第二连结部、第二检测部、第三连结部、第三检测部、第四连结部、第四检测部按照该顺序配置，由此构成环状变形体，第一右侧连接点配置于第一连结部，第一左侧连接点配置于第二连结部，第二右侧连接点配置于第三连结部，第二左侧连接点配置于第四连结部，左侧连接构件具有连接第一左侧连接点与左侧支撑体的第一左侧连接构件、以及连接第二左侧连接点与左侧支撑体的第二左侧连接构件，右侧连接构件具有连接第一右侧连接点与右侧支撑体的第一右侧连接构件、以及连接第二右侧连接点与右侧支撑体的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扭矩传感器，检测绕预定的旋转轴(Z)的扭矩，其特征在于，所述扭矩传感器具备：环状变形体(50；60)，在与所述旋转轴(Z)正交的基本平面(XY)上以包围所述旋转轴的周围的方式定义基本环状路(R)时，所述环状变形体(50；60)沿着该基本环状路(R)伸展；左侧支撑体(10)，在从所述旋转轴(Z)成为沿左右伸展的水平线那样的基准观察方向观察时，所述左侧支撑体(10)配置在与所述环状变形体(50；60)的左侧邻接的位置；右侧支撑体(20)，在从所述基准观察方向观察时，所述右侧支撑体(20)配置在与所述环状变形体(50；60)的右侧邻接的位置；左侧连接构件(11、12；16～19)，将所述环状变形体(50；60)的左侧的侧面上的左侧连接点(P11、P12；P16～P19)连接于所述左侧支撑体(10)；右侧连接构件(21、22；26～29)，将所述环状变形体(50；60)的右侧的侧面上的右侧连接点(P21、P22；P26～P29)连接于所述右侧支撑体(20)；电容元件(C；C1～C4；C11～C18)，由固定于所述环状变形体(50；60)的右侧的侧面的预定位置的位移电极(E50)以及固定于所述右侧支撑体(20)的与所述位移电极(E50)相对的位置的固定电极(E20)构成；以及检测电路(101～105)，基于所述电容元件(C；C1～C4；C11～C18)的静电电容值的变动，输出电信号，所述电信号表示在向所述左侧支撑体(10)和所述右侧支撑体(20)中的一方施加负荷的状态下向另一方作用的绕所述旋转轴(Z)的扭矩，所述环状变形体(50；60)具有位于在所述基本环状路(R)上定义的检测点(Q；Q1～Q4；Q11～Q18)的检测部(D；D1～D4；D11～D18)、以及与该检测部的两端连接的连结部(L；L1～L4；L11～L18)，所述检测部(D；D1～D4；D11～D18)具有通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第一变形部(51；61)、通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第二变形部(52；62)、以及通过所述第一变形部以及所述第二变形部的弹性变形产生位移的位移部(53；63)，所述第一变形部(51；61)的外侧端与同其邻接的连结部(L)连接，所述第一变形部(51；61)的内侧端与所述位移部(53；63)连接，所述第二变形部(52；62)的外侧端与同其邻接的连结部(L)连接，所述第二变形部(52；62)的内侧端与所述位移部(53；63)连接，所述位移电极(E50)固定在所述位移部(53；63)的与所述右侧支撑体(20)相对的位置，所述左侧连接点(P11、P12；P16～P19)以及所述右侧连接点(P21、P22；P26～P29)配置于所述连结部(L)，所述左侧连接点(P11、P12；P16～P19)朝向所述基本平面(XY)的正射影投影像与所述右侧连接点(P21、P22；P26～P29)朝向所述基本平面(XY)的正射影投影像形成于彼此不同的位置。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种扭矩传感器，检测绕预定的旋转轴(Z)的扭矩，其特征在于，所述扭矩传感器具备：环状变形体(50；60)，在与所述旋转轴(Z)正交的基本平面(XY)上以包围所述旋转轴的周围的方式定义基本环状路(R)时，所述环状变形体(50；60)沿着该基本环状路(R)伸展；左侧支撑体(10)，在从所述旋转轴(Z)成为沿左右伸展的水平线那样的基准观察方向观察时，所述左侧支撑体(10)配置在与所述环状变形体(50；60)的左侧邻接的位置；右侧支撑体(20)，在从所述基准观察方向观察时，所述右侧支撑体(20)配置在与所述环状变形体(50；60)的右侧邻接的位置；左侧连接构件(11、12；16～19)，将所述环状变形体(50；60)的左侧的侧面上的左侧连接点(P11、P12；P16～P19)连接于所述左侧支撑体(10)；右侧连接构件(21、22；26～29)，将所述环状变形体(50；60)的右侧的侧面上的右侧连接点(P21、P22；P26～P29)连接于所述右侧支撑体(20)；电容元件(C；C1～C4；C11～C18)，由固定于所述环状变形体(50；60)的右侧的侧面的预定位置的位移电极(E50)以及固定于所述右侧支撑体(20)的与所述位移电极(E50)相对的位置的固定电极(E20)构成；以及检测电路(101～105)，基于所述电容元件(C；C1～C4；C11～C18)的静电电容值的变动，输出电信号，所述电信号表示在向所述左侧支撑体(10)和所述右侧支撑体(20)中的一方施加负荷的状态下向另一方作用的绕所述旋转轴(Z)的扭矩，所述环状变形体(50；60)具有位于在所述基本环状路(R)上定义的检测点(Q；Q1～Q4；Q11～Q18)的检测部(D；D1～D4；D11～D18)、以及与该检测部的两端连接的连结部(L；L1～L4；L11～L18)，所述检测部(D；D1～D4；D11～D18)具有通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第一变形部(51；61)、通过成为检测对象的扭矩的作用产生弹性变形的第二变形部(52；62)、以及通过所述第一变形部以及所述第二变形部的弹性变形产生位移的位移部(53；63)，所述第一变形部(51；61)的外侧端与同其邻接的连结部(L)连接，所述第一变形部(51；61)的内侧端与所述位移部(53；63)连接，所述第二变形部(52；62)的外侧端与同其邻接的连结部(L)连接，所述第二变形部(52；62)的内侧端与所述位移部(53；63)连接，所述位移电极(E50)固定在所述位移部(53；63)的与所述右侧支撑体(20)相对的位置，所述左侧连接点(P11、P12；P16～P19)以及所述右侧连接点(P21、P22；P26～P29)配置于所述连结部(L)，所述左侧连接点(P11、P12；P16～P19)朝向所述基本平面(XY)的正射影投影像与所述右侧连接点(P21、P22；P26～P29)朝向所述基本平面(XY)的正射影投影像形成于彼此不同的位置。2.根据权利要求1所述的扭矩传感器，其特征在于，在基本环状路(R)上定义多个n个(n≥2)检测点(Q；Q1～Q4；Q11～Q18)，检测部(D；D1～D4；D11～D18)分别位于各检测点，环状变形体(50；60)通过将n个检测部(D；D1～D4；D11～D18)与n个连结部(L；L1～L4；L11～L18)沿着基本环状路(R)交替配置来构成。3.根据权利要求2所述的扭矩传感器，其特征在于，在基本环状路(R)上定义偶数n个(n≥2)检测点(Q；Q1～Q4；Q11～Q18)，检测部(D；D1～D4；D11～D18)分别位于各检测点，环状变形体(50；60)通过将n个检测部(D；D1～D4；D11～D18)与n个连结部(L；L1～L4；L11～L18)沿着基本环状路(R)交替配置来构成。4.根据权利要求3所述的扭矩传感器，其特征在于，在相对于偶数n个连结部(L；L1～L4；L11～L18)沿着基本环状路(R)依次赋予编号时，右侧连接点(P21、P22；P26～P29)配置于第奇数个连结部，左侧连接点(P11、P12；P16～P19)配置于第偶数个连结部。5.根据权利要求4所述的扭矩传感器，其特征在于，通过设定为n＝2，沿着基本环状路(R)将第一连结部(L1)、第一检测部(D1)、第二连结部(L2)、第二检测部(D2)按照该顺序配置，由此构成环状变形体，右侧连接点(P21)配置于第一连结部(L1)，左侧连接点(P11)配置于第二连结部(L2)。6.根据权利要求4所述的扭矩传感器，其特征在于，通过设定为n＝4，沿着基本环状路(R)将第一连结部(L1)、第一检测部(D1)、第二连结部(L2)、第二检测部(D2)、第三连结部(L3)、第三检测部(D3)、第四连结部(L4)、第四检测部(D4)按照该顺序配置，由此构成环状变形体(50)，第一右侧连接点(P21)配置于第一连结部(L1)，第一左侧连接点(P11)配置于第二连结部(L2)，第二右侧连接点(P22)配置于第三连结部(L3)，第二左侧连接点(P12)配置于第四连结部(L4)，左侧连接构件(11、12)具有连接所述第一左侧连接点(P11)与左侧支撑体(10)的第一左侧连接构件(11)、以及连接所述第二左侧连接点(P12)与左侧支撑体(10)的第二左侧连接构件(12)，右侧连接构件(21、22)具有连接所述第一右侧连接点(P21)与右侧支撑体(20)的第一右侧连接构件(21)、以及连接所述第二右侧连接点(P22)与右侧支撑体(20)的第二右侧连接构件(22)。7.根据权利要求6所述的扭矩传感器，其特征在于，在基本平面上(XY)，通过与旋转轴(Z)的交点(O)而引出彼此正交的两条直线(X、Y)的情况下，第一左侧连接点(P11)以及第二左侧连接点(P12)的正射影投影像配置在第一直线上(Y)，第一右侧连接点(P21)以及第二右侧连接点(P22)的正射影投影像配置在第二直线上(X)。8.根据权利要求6所述的扭矩传感器，其特征在于，为了检测XYZ三维坐标系中的绕Z轴的扭矩，环状变形体(50)配置在以原点O为中心成为基本平面的XY平面上，左侧支撑体(10)配置于Z轴负区域，右侧支撑体(20)配置于Z轴正区域，在环状变形体(50)的Z轴负侧的侧面上设置第一左侧连接点(P11)以及第二左侧连接点(P12)，在环状变形体(50)的Z轴正侧的侧面上设置第一右侧连接点(P21)以及第二右侧连接点(P22)，在环状变形体(50)的两侧面朝XY平面上投影而获得正射影投影像的情况下，第一右侧连接点(P21)的投影像配置在正的X轴上，第二右侧连接点(P22)的投影像配置在负的X轴上，第一左侧连接点(P11)的投影像配置在正的Y轴上，第二左侧连接点(P12)的投影像配置在负的Y轴上，在XY平面上，作为以原点O为中心使X轴绕逆时针旋转45°而成的坐标轴而定义V轴，作为以原点O为中心使Y轴绕逆时针旋转45°而成的坐标轴而定义W轴的情况下，第一检测点(Q1)配置在正的V轴上，第二检测点(Q2)配置在正的W轴上，第三检测点(Q3)配置在负的V轴上，第四检测点(Q4)配置在负的W轴上。9.根据权利要求4所述的扭矩传感器，其特征在于，通过设定为n＝8，沿着基本环状路(R)将第一连结部(L11)、第一检测部(D11)、第二连结部(L12)、第二检测部(D12)、第三连结部(L13)、第三检测部(D13)、第四连结部(L14)、第四检测部(D14)、第五连结部(L15)、第五检测部(D15)、第六连结部(L16)、第六检测部(D16)、第七连结部(L17)、第七检测部(D17)、第八连结部(L18)、第八检测部(D18)按照该顺序配置，由此构成环状变形体(60)，第一左侧连接点(P16)配置于第一连结部(L11)，第一右侧连接点(P26)配置于第二连结部(L12)，第二左侧连接点(P17)配置于第三连结部(L13)，第二右侧连接点(P27)配置于第四连结部(L14)，第三左侧连接点(P18)配置于第五连结部(L15)，第三右侧连接点(P28)配置于第六连结部(L16)，第四左侧连接点(P19)配置于第七连结部(L17)，第四右侧连接点(P29)配置于第八连结部(L18)，左侧连接构件(16～19)具有连接所述第一左侧连接点(P16)与左侧支撑体(10)的第一左侧连接构件(16)、连接所述第二左侧连接点(P17)与左侧支撑体(10)的第二左侧连接构件(17)、连接所述第三左侧连接点(P18)与左侧支撑体(10)的第三左侧连接构件(18)、连接所述第四左侧连接点(P19)与左侧支撑体(10)的第四左侧连接构件(19)，右侧连接构件(26～29)具有连接所述第一右侧连接点(P26)与右侧支撑体(20)的第一右侧连接构件(26)、连接所述第二右侧连接点(P27)与右侧支撑体(20)的第二右侧连接构件(27)、连接所述第三右侧连接点(P28)与右侧支撑体(20)的第三右侧连接构件(28)、以及连接所述第四右侧连接点(P29)与右侧支撑体(20)的第四右侧连接构件(29)。10.根据权利要求9所述的扭矩传感器，其特征在于，在基本平面(XY)上，通过与旋转轴(Z)的交点(O)引出各具有45°的角度偏差并交叉的四条直线(X、V、Y、W)的情况下，第一左侧连接点(P16)以及第三左侧连接点(P18)的正射影投影像配置在第一直线(X)上，第一右侧连接点(P26)以及第三右侧连接点(P28)的正射影投影像配置在第二直线(V)上，第二左侧连接点(P17)以及第四左侧连接点(P19)的正射影投影像配置在第三直线(Y)上，第二右侧连接点(P27)以及第四右侧连接点(P29)的正射影投影像配置在第四直线(W)上。11.根据权利要求9所述的扭矩传感器，其特征在于，为了检测XYZ三维坐标系中的绕Z轴的扭矩，环状变形体(60)配置在以原点O为中心成为基本平面的XY平面上，左侧支撑体(10)配置于Z轴负区域，右侧支撑体(20)配置于Z轴正区域，在环状变形体(60)的Z轴负侧的侧面上设置第一左侧连接点～第四左侧连接点(P16～P19)，在环状变形体(60)的Z轴正侧的侧面上设置第一右侧连接点～第四右侧连接点(P26～P29)，在XY平面上，作为以原点O为中心使X轴绕逆时针旋转45°而成的坐标轴而定义V轴，作为以原点O为中心使Y轴绕逆时针旋转45°而成的坐标轴而定义W轴，并将环状变形体(60)的两侧面朝XY平面上投影而获得正射影投影像的情况下，第一左侧连接点(P16)的投影像配置在正的X轴上，第二左侧连接点(P17)的投影像配置在正的Y轴上，第三左侧连接点(P18)的投影像配置在负的X轴上，第四左侧连接点(P19)的投影像配置在负的Y轴上，第一右侧连接点(P26)的投影像配置在正的V轴上，第二右侧连接点(P27)的投影像配置在正的W轴上，第三右侧连接点(P28)的投影像配置在负的V轴上，第四右侧连接点(P29)的投影像配置在负的W轴上，在XY平面上，定义以原点O为起点相对于X轴正方向绕逆时针形成角度θ的方向矢量Vec(θ)时，第i个检测点(1≤i≤8)配置在方向矢量Vec(π/8+(i-1)·π/4)与基本环状路(R)的交点位置。12.根据权利要求2～11中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，多个n个检测部(D)中的一部分是第一属性的检测部，其它的一部分是第二属性的检测部，构成所述第一属性的检测部的第一属性位移部(53；63)在作用有第一旋转方向的扭矩时朝远离右侧支撑体(20)的方向位移，在作用有与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向的扭矩时朝靠近右侧支撑体(20)的方向位移，构成所述第二属性的检测部的第二属性位移部(53；63)在作用有所述第一旋转方向的扭矩时朝靠近右侧支撑体(20)的方向位移，在作用有所述第二旋转方向的扭矩时朝远离右侧支撑体(20)的方向位移，利用固定于所述第一属性位移部(53；63)的第一属性位移电极(E50)与固定于右侧支撑体(20)的同所述第一属性位移电极(E50)相对的位置的第一属性固定电极(E20)构成第一属性电容元件(C)，利用固定于所述第二属性位移部(53；63)的第二属性位移电极(E50)与固定于右侧支撑体(20)的同所述第二属性位移电极(E50)相对的位置的第二属性固定电极(E20)构成第二属性电容元件(C)，检测电路(101～105)将与所述第一属性电容元件的静电电容值和所述第二属性电容元件的静电电容值之差相当的电信号输出为表示作用的扭矩的电信号。13.根据权利要求1～12中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，具有第一变形部(51；61)、第二变形部(52；62)、位移部(53；63)的检测部(D；D1～D4；D11～D18)配置在一方的连结部端部(L)与另一方的连结部端部(L)之间，所述第一变形部(51；61)由具有挠性的第一板状片构成，所述第二变形部(52；62)由具有挠性的第二板状片构成，所述位移部(53；63)由第三板状片构成，所述第一板状片(51；61)的外侧端与所述一方的连结部端部(L)连接，所述第一板状片(51；61)的内侧端与所述第三板状片(53；63)的一端连接，所述第二板状片(52；62)的外侧端与所述另一方的连结部端部(L)连接，所述第二板状片(52；62)的内侧端与所述第三板状片(53；63)的另一端连接。14.根据权利要求13所述的扭矩传感器，其特征在于，在没有作用扭矩的状态下，第三板状片(53；63)与右侧支撑体(20)的相对面维持平行。15.根据权利要求14所述的扭矩传感器，其特征在于，在检测点(Q)的位置竖立与基本平面(XY)正交的法线(N)时，构成位于该检测点(Q)的检测部(D)的第一板状片(51)以及第二板状片(52)相对于所述法线(N)倾斜，并且第一板状片(51)的倾斜方向与第二板状片(52)的倾斜方向成为相反朝向。16.根据权利要求1～15中任一项所述的扭矩传感器，其特征在于，在定义了通过左侧连接点(P11、P12)与旋转轴(Z)平行的连接参照线(A)时，在环状变形体(50)的连结部(L2、L4)的右侧的侧面与右侧支撑体(20)的相对面之间，还设有在所述连接参照线(A)上或其附近配置的辅助连接构件(23、24)。17.根据权利要求16所述的扭矩传感器，其特征在于，作为辅助连接构件(23、24)，使用在与连接参照线(A)正交的方向上作用力时比在沿着连接参照线(A)的方向上作用力时容易产生弹性变...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈田和广，冈田美穗，
申请(专利权)人：三角力量管理株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP