一种斜面沟道的SiCMOSFET器件制造技术

本申请公开了一种斜面沟道的SiC MOSFET器件，该SiC MOSFET器件有源区的原胞结构从下至上依次为漏极、n++衬底、n‑漂移层、左右对称设置的两个p‑well层、p++区和n++区、源电极；p‑well层相对的一侧均呈向上倾斜的弧形，p‑well层的弧形部分的上方设置有向原胞结构的竖向中轴线倾斜的二次外延p型层，两个二次外延p型层的中间设置有注入n层，二次外延p型层和注入n层的上方依次设置有呈“拱形”的栅氧化层、多晶硅层和隔离钝化层。本申请提出了一种斜面沟道的SiC MOSFET器件，并提供了制作方法。本申请利用高电子迁移率的晶面作为沟道平面，并且在高质量的二次外延的SiC表面形成沟道，可以有效提高MOS栅的质量和沟道迁移率，减低器件的导通电阻。

An inclined channel SiCMOSFET device

The invention discloses a MOSFET device SiC inclined channel, the SiC MOSFET device active area of the original cell structure from bottom to top to drain, n++ substrate, n drift layer, symmetrical set of two P well layer, p++ and n++ region, a source electrode; P relative to the well layer side showed a curved sloping, vertical to the tilt axis cell structure in two p p epitaxial layer is arranged well layer above the curved portion two, two middle layer is arranged on the extension of P into the N layer, the two layer P type extension and into the N layer are sequentially arranged above a \arch\ gate oxide layer, a polysilicon layer and a passivation layer isolation. The application provides a SiC MOSFET device inclined channel, and provides a method of making. The application of the high electron mobility of the crystal plane as the channel plane and the formation of a channel on the high quality two epitaxial SiC surface can effectively improve the quality and channel mobility of the MOS gate and reduce the on resistance of the device.

【技术实现步骤摘要】
一种斜面沟道的SiCMOSFET器件
本技术属于半导体领域，具体涉及一种斜面沟道的SiCMOSFET器件。
技术介绍
平面型SiCMOSFET经过行业内多年的研究，已经有一些厂商率先推出了商业化产品。但是，依旧存在MOS沟道迁移率低和产品阈值电压一致性难控制等问题。这是由于常规的SiC平面型MOSFET的结构和工艺所致，常规MOSFET中p阱(p-well)是通过离子注入实现p型掺杂的，这是业界的一般方法，结构如图1所示，其包括漏电极1、n++衬底2、n-漂移层3、源电极4、多晶硅栅5以及栅氧化层6等。这种注入后再高温激活退火形成掺杂的方法，不可避免的存在一些问题。首先是无法完全消除或修复注入带来的缺陷，其次是高温激活退火的过程会使表面退化，形貌变差，从而增加沟道电子的表面散射。另外，激活退火的温度越高，激活率和缺陷的修复率也越高，但是表面退化更严重。同时，SiCMOS栅介质生长本身就有很大的难度。因此，当前SiCMOSFET器件的沟道迁移率都非常低，只有20-30cm2/Vs，需要更好的设计或工艺进一步改善。为了改善这种情况，目前主要是采用两种方法，一种是采用U型沟槽MOSFET结构(UMOSFET)，如图2所示，其包括漏电极1、n++衬底2、n-漂移层3、源电极4、多晶硅栅5、栅氧化层6以及隔离钝化层7等；UMOSFET结构具有更高的原胞密度和单位面积栅宽，同时沟道的p阱是外延方法形成的，因此具有更高的沟道迁移率和电流密度，但是沟道是在刻蚀层表面形成的，刻蚀产生的缺陷和表面粗糙不可避免地对MOS栅质量有影响。另一种方法是VMOSFET结构，如图3所示，其包括漏电极1、n++衬底2、n-漂移层3、源电极4、多晶硅栅5、栅氧化层6以及隔离钝化层7等；VMOSFET结构的V形槽用SiC在高温腐蚀下的各项异性导致的各晶面腐蚀速率不一致所形成，存在着工艺难以控制的问题。同时槽底部的尖角也容易引起电场集中，可靠性差。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种斜面沟道的SiCMOSFET器件，其利用高电子迁移率的晶面作为沟道平面，并且在高质量的二次外延的SiC表面形成沟道，可以有效提高MOS栅的质量和沟道迁移率，减低器件的导通电阻。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种斜面沟道的SiCMOSFET器件，所述SiCMOSFET器件有源区的原胞结构从下至上依次为漏极、n++衬底(浓度大于1E18cm-3)、n-漂移层、左右对称设置的两个p-well层、设置在所述p-well层上的p++区和n++区、设置在所述p++区和n++区上的源电极；两个p-well层相对的一侧均呈向上倾斜的弧形，p-well层的弧形部分的上方设置有向原胞结构的竖向中轴线倾斜的二次外延p型层，两个所述二次外延p型层的中间设置有截面呈长方形的注入n层，二次外延p型层和所述注入n层的上方依次设置有呈“拱形”的栅氧化层、多晶硅层和隔离钝化层。进一步，在所述的n-漂移层和导电衬底之间优选地有一薄层n型缓冲层，缓冲层浓度在1E18cm-3左右，厚度约1μm左右。进一步，所述斜面上二次外延p型层的长度为0.2-1μm；二次外延p型层与衬底基板之间的夹角为20-80°。进一步，所述二次外延p型层的浓度为1E15-1E18cm-3，厚度为200nm-500nm。进一步，所述原胞结构的台面顶部宽度为1.5-6μm。进一步，所述器件结构中n型与p型相对而言，即同样适用于p+型衬底上，其他层的导电类型也相反即可。进一步，所述器件结构中原胞的平面结构可以是条形、矩形、六角形等各种结构。进一步，所述器件结构也可适用于Si、GaN、GaO等其他半导体材料，并不仅限于SiC材料。制备方法会有所区别。一种制备斜面沟道的SiCMOSFET器件的方法，所述方法包括如下步骤：1)在SiC外延材料上，做上第一掩膜层；2)用ICP的方法刻蚀SiC，通过控制SiC/SiO2选择比，控制SiC台面的斜面角度；刻蚀完成后，剩余的SiO2作为离子注入的掩膜，注入Al离子，同时斜面下也注入了离子，形成p-well区掺杂和结终端区的掺杂；3)去除第一掩膜层，RCA清洗；进行牺牲氧化，并用稀释的HF或BOE去除氧化层；然后进行二次外延生长，生长一层p型层；4)做上第二掩膜层，用第二掩膜层保护表面的其他部分，露出台面的顶部；进行离子注入，注入的离子可以为N离子或者P离子，注入形成掺杂的深度和浓度都大于二次外延的p层，中和p型掺杂后形成n型掺杂，与JFET区连通；去除第二掩膜层，清洗后做上第三掩膜层，之后进行N离子或P离子注入，形成n++源区掺杂；去除第三掩膜层，清洗后做上第四掩膜层，Al离子注入，形成源区p++掺杂，与p-well形成电连通；去除第四掩膜层，RCA清洗；表面淀积一层石墨层，进行高温激活退火；5)做上第五掩膜层，利用第五掩膜层刻蚀出第一JTE区；去除第五掩膜层，清洗后做上第六掩膜层，利用第六掩膜层刻蚀出第二JTE区；去除第六掩膜层，清洗后做上第七掩膜层，利用第七掩膜层刻蚀出器件隔离区域；进行牺牲氧化，并用稀释的HF或BOE去除氧化层；用热氧化的方法生长50-60nm的SiO2层，氧化后再进行退火；6)制作高掺杂的多晶硅层；然后进行多晶硅的刻蚀和图形化，形成栅接触；7)淀积第一钝化层，背面淀积金属，进行快速热退火形成欧姆接触；源区进行光刻、刻蚀，刻蚀出介质窗口，在窗口内淀积金属并通过光刻刻蚀的方法图形化；再进行快速热退火，在源区形成欧姆接触；漏极、源极的欧姆接触也可以在依次淀积完金属后一次退火完成；淀积第二钝化层，在源区、栅电极压块金属与栅区互联的区域刻蚀出窗口；第一、第二钝化层形成源电极压块金属与原胞之间的隔离钝化层；8)淀积厚电极金属，刻蚀掉非电极压块处的金属；进行聚酰亚胺的涂布和图形化，再进行烘烤固化，形成有效的表面钝化保护层；最后淀积背面的电极金属。进一步，步骤2)中的p-well区掺杂和结终端区的掺杂的浓度在1E18-5E19cm-3之间，深度在0.3μm-1μm之间。进一步，步骤3)中牺牲氧化的氧化层的厚度在10nm-100nm之间，二次外延p型层的浓度在1E15-1E18cm-3之间，厚度在200nm-1000nm之间。进一步，步骤4)中N离子或P离子注入的浓度大于1E19cm-3，深度在200-1000nm之间；高温激活退火的温度在1700℃-1950℃之间，时间在1-30分钟之间。进一步，步骤5)中牺牲氧化的氧化层的厚度在10nm-50nm之间，所述SiO2层的厚度为50-60nm，热氧化温度为1200℃-1500℃，退火温度为1200℃-1350℃，气氛在N2O或NO气氛下。进一步，步骤7)中第一钝化层为200nm厚的SiO2；第二钝化层为SiO2/SiN，厚度分别为200nm/300nm，或者为SiOxNy；步骤8)中厚电极金属为Ti/Al或Ti/AlSi或Ti/AlSiCu或Ti/AlCu，Ti的厚度为20-200nm，Al或AlSi或AlSiCu或AlCu的厚度大概是4-8μm。本技术具有以下有益技术效果：本申请利用高电子迁移率的晶面作为沟道平面，并且在高质量的二次外延的SiC表面形成沟道，可以有效提高M本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种斜面沟道的SiC MOSFET器件，所述SiC MOSFET器件有源区的原胞结构从下至上依次为漏极、n++衬底、n‑漂移层、左右对称设置的两个p‑well层、设置在所述p‑well层上的p++区和n++区、设置在所述p++区和n++区上的源电极；其特征在于，两个p‑well层相对的一侧均呈向上倾斜的弧形，p‑well层的弧形部分的上方设置有向原胞结构的竖向中轴线倾斜的二次外延p型层，两个所述二次外延p型层的中间设置有截面呈长方形的注入n层，二次外延p型层和所述注入n层的上方依次设置有呈“拱形”的栅氧化层、多晶硅层和隔离钝化层。

【技术特征摘要】
1.一种斜面沟道的SiCMOSFET器件，所述SiCMOSFET器件有源区的原胞结构从下至上依次为漏极、n++衬底、n-漂移层、左右对称设置的两个p-well层、设置在所述p-well层上的p++区和n++区、设置在所述p++区和n++区上的源电极；其特征在于，两个p-well层相对的一侧均呈向上倾斜的弧形，p-well层的弧形部分的上方设置有向原胞结构的竖向中轴线倾斜的二次外延p型层，两个所述二次外延p型层的中间设置有截面呈长方形的注入n层，二次外延p型层和所述注入n层的上方依次设置有呈“拱形”的栅氧化层、多晶硅层和隔离钝化层。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪炜江，
申请(专利权)人：北京世纪金光半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11