一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，包括高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体，防水保护装置，防摔保护装置，安装装置和高精准定位装置，所述的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体通过防水保护装置安装在防摔保护装置的内部中间位置；所述的安装装置和高精准定位装置分别螺纹连接在高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体的左右两侧。本实用新型专利技术防水保护盖和防水保护壳的设置，有利于保证微压传感器可以在潮湿的环境中工作，并可以起到防水的作用；安装板，安装精度定位孔以及多方位安装孔的设置，有利于提高安装效率，使得便于安装，提高安装精度，使用更方便，便于推广使用。

A high stability and high sensitivity monolithic silicon based micro pressure sensor

The utility model provides a high stability and high sensitive monolithic silicon micro pressure sensor, including high stability and high sensitive monolithic silicon micro pressure sensor body, waterproof protection device, fall protection device, mounting device and high precision positioning device, high stability of the high sensitive monolithic silicon micro pressure sensor is installed in the middle of the body the position of internal anti fall protection device by waterproof protection device; the installation device and high precision positioning device are in threaded connection with high stability and high sensitive monolithic silicon micro pressure sensors on both sides of the body. The utility model discloses a waterproof cover and the waterproof shell protection settings, to ensure the micro pressure sensors can work in a humid environment, and can play a role in waterproofing; mounting plate, installation of precision positioning hole and set multiple mounting holes, can improve the installation efficiency, which is easy to install, improve the installation accuracy the use of more convenient, easy to use.

【技术实现步骤摘要】
一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器
本技术属于传感器
，尤其涉及一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器。
技术介绍
微压传感器通常是指小于10Kpa量程的压力传感器。这类传感器要求灵敏度很高。即在很小压强作用下就要有很大的电信号输出。例如用作呼吸传感器时，就要把人体微弱的呼吸信号检测出来。为了达到这个目的，微压传感器中的核心部份-弹性硅膜制作得很薄。把厚度为400微米的圆片经过集成电路平面工艺，在背面光刻出腐蚀窗口，正面保护，放在硅单晶腐蚀液中腐蚀，使窗口内硅单晶厚度从400微米减小到仅2-30微米左右。因此在工艺制作上难度较高，传统的工艺制作，产出率也低，成本高，卖价也就较其它大量程传感器高。中国专利公开号为CN202075084U，专利技术创造名称为一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，包括硅基片，所述硅基片正面光刻出背岛窗口，背岛窗口内单晶硅腐蚀形成一凹坑，凹坑的表面生长有二氧化硅层，凹坑内填有多晶硅层，所述硅基片的正面键合连接表面热生长二氧化硅层的单晶硅弹性薄膜层，单晶硅弹性薄膜层表面制作有惠斯顿电桥，所述硅基片背面光刻出方形窗口，所述方形窗口内单晶硅直至腐蚀到二氧化硅层，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，其特征在于，该高稳定高灵敏单片硅基微压传感器包括高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)，防水保护装置(2)，防摔保护装置(3)，安装装置(4)和高精准定位装置(5)，所述的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)通过防水保护装置(2)安装在防摔保护装置(3)的内部中间位置；所述的安装装置(4)和高精准定位装置(5)分别螺纹连接在高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)的左右两侧；所述的防水保护装置(2)包括防水保护盖(21)，合页(22)和防水保护壳(23)，所述的防水保护盖(21)通过合页(22)安装在防水保护壳(23)的右侧；所述的防水保护盖(21)包...

【技术特征摘要】
1.一种高稳定高灵敏单片硅基微压传感器，其特征在于，该高稳定高灵敏单片硅基微压传感器包括高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)，防水保护装置(2)，防摔保护装置(3)，安装装置(4)和高精准定位装置(5)，所述的高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)通过防水保护装置(2)安装在防摔保护装置(3)的内部中间位置；所述的安装装置(4)和高精准定位装置(5)分别螺纹连接在高稳定高灵敏单片硅基微压传感器本体(1)的左右两侧；所述的防水保护装置(2)包括防水保护盖(21)，合页(22)和防水保护壳(23)，所述的防水保护盖(21)通过合页(22)安装在防水保护壳(23)的右侧；所述的防水保护盖(21)包括螺纹孔(211)和密封垫(212)，所述的螺纹孔(211)分别设置在防水保护盖(21)的右上角和右下角位置；所述的密封垫(21)粘贴在防水保护盖(21)的前表面中间位置；所述的防水保护壳(23)包括微压传感器安装孔(231)，防水垫(232)，锁紧螺纹孔(233)，一级凹槽(234)和防水圈(235)，所述的微压传感器安装孔(231)分别横向设置在防水保护壳(23)的右侧内壁上中间位置；所述的防水垫(232)粘贴微压传感器安装孔(231)内壁上；所述的锁紧螺纹孔(233)设置在防水保护壳(23)的左上角和左下角位置，并分别与螺纹孔(211)正对设置；所述的一级凹槽(234)开设在防水保护壳(23)的左表面中间位置；所述的防水圈(235)粘贴在一级凹槽(234)的内壁上；所述的防摔保护装置(3)包括防摔保护盖(31)，安装合页(32)和防摔保护壳(33)，所述的防摔保护盖(31)通过安装合页(32)安装在防摔保护壳(33)的右侧；所述的防摔保护盖(31)包括保护盖安装孔(311)，减震垫(312)和减震簧(313)，所述的保护盖安装孔(311)分别开设在防摔保护盖(31)的右上角和右下角位置；所述的减震垫(312)粘贴在防摔保护盖(31)前表面中间位置；所述的减震簧(313)螺栓连接在防摔保护盖(31)前表面中间位置；所述的防摔保护壳(33)包括端部镂空孔(331)，镂空板(332)，安装螺纹孔(333)，二级凹槽(334)，多级减震簧(335)和微压传感器安装定位孔(336)，所述的端部镂空孔(331)分别设置在防摔保护壳(33)的左右两表面的上下两端位置；所述的镂空板(332)分别螺栓连接在防摔保护壳(33)的上表面和下表面；所述的安装螺纹孔(333)分别开设在防摔保护壳(33)的左上角和右上角位置，并分别与保护盖安装孔(311)正对设置；所述的二级凹槽(334)开设在防摔保护壳(33)的左表面中间位置；所述的多级减震簧(335)分别螺栓连接在防摔保护壳(33)的内部上表面、下表面、左表面和右表面位置；所述的微压传感器安装定位孔(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：李燕，
申请(专利权)人：天津通软信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12