一种高纯石英生产用塔体制造技术

本实用新型专利技术提供一种高纯石英生产用塔体，包括垂直设置在地面上的塔体支架，设置在塔体支架一侧的导轨，设置在导轨上的基座，基座能够在电机的作用下，沿所述导轨上下移动；基座上设有产品座，产品座能够在电机的作用下，在基座上移动和旋转；塔体还包括设置在塔体支架的导轨一侧的上塔门、下塔门、塔门连接件；塔体支架上设有上塔腔进气口，塔门连接件设有下塔腔进气口，上塔门设有上塔门排气口、下塔门设有下塔门排气口，上塔门排气口连接到废气处理装置，下塔门排气口直接与空气相连，上塔腔进气口以及下塔腔进气口由风机供风，给所述上塔腔以及下塔腔提供正压；该塔体装置能够有效地减少生产过程产生的尾气以及反应炉中产生的热量。

Tower body for high-purity quartz production

The utility model provides a high-purity quartz production tower comprises a tower body bracket is vertically arranged on the ground, set on one side of the tower body rail bracket, a base is provided on the guide rail base, in under the action of the motor, moving along the guide rail; the base is provided with the product base, product a can in under the action of the motor, move and rotate on the base; the tower body is also arranged in the guide rail bracket at one side of the tower on the pylon, pylon, pylon connections; support tower body is provided with a column cavity, the door connecting piece is arranged under the tower chamber inlet, on a pylon on the exhaust tower port, a lower pylon pylon exhaust port, exhaust port on the pylon is connected to the exhaust gas treatment device, under the tower outlet and air is connected on the tower and tower under the cavity cavity by the fan for the wind, to the The positive pressure is supplied to the upper tower cavity and the lower tower cavity, and the tower device can effectively reduce the tail gas generated in the production process and the heat generated in the reaction furnace.

【技术实现步骤摘要】
一种高纯石英生产用塔体
本技术涉及一种高纯石英的生产装置，尤其是涉及一种CVD法生成高纯石英的塔体装置。
技术介绍
石英玻璃的工业生产技术主要包括电熔工艺，气炼工艺，合成石英玻璃制造工艺，高频等离子火焰熔制工艺。其中合成石英玻璃技术又包括化学气相沉积(CVD)工艺、气相轴向沉积(VAD)工艺、等离子化学气相沉积(PCVD)等。CVD工艺在生产大尺寸高纯度的石英玻璃方面较其他方法具有较大优势，目前大尺寸高纯度的石英玻璃生产一般使用CVD工艺生产。CVD工艺生产大尺寸高纯度的石英玻璃设备主要由两大部分组成，一部分是提供高温反应环境的反应炉，一部分是固定、支撑、旋转、移动产品的塔体设备，炉膛安装于塔体设备上部分。大尺寸高纯石英产品因为直径、长度、重量都比较大，因此生产一般是由上往下进行，即喷灯安装在炉膛上部，产品不断沉积，不断变长，往下移动，为制作一定的形状，有时也进行左右或前后移动，产品在生长时同时需要不断地进行旋转，这些移动、旋转都是通过电机、导轨等配件来完成的，当然因为产品位于高处，还需要支撑、固定等装置。这些配件、装置等统称为塔体设备。CVD工艺生产的塔体设备皆为敞开式，没有形成密封的舱体及气体流场，塔体等装置所处的环境恶劣，高温及易腐蚀气体皆有存在，设备容易产生异常，同时环境中粉尘等比较多，影响到产品品质。目前传统的CVD工艺塔体设备主要有以下缺陷：(1)塔体内受炉膛温度辐射影响，温度比较高，各装置及配件寿命短，容易出现异常，同时运行不稳定，影响产品品质；(2)塔体内受炉膛溢出的氯化氢尾气影响，各装置及配件容易腐蚀，寿命短，容易出现异常，同时运行不稳定，影响产品品质；(3)为敞开环境，环境中的粉尘等颗粒容易进入到塔体中，进而进入到产品反应的炉膛室内，降低产品品质。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种无尾气污染的高纯石英生产用塔体。本技术提供的技术方案为：一种高纯石英生产用塔体：所述塔体设置在所述炉膛的底部；包括垂直设置在地面上的塔体支架，设置在塔体支架一侧的导轨，设置在导轨上的基座，所述基座能够在电机的作用下，沿所述导轨上下移动；所述基座上设有产品座，所述产品座能够在电机的作用下，在基座上移动和旋转。所述塔体还包括设置在塔体支架的导轨一侧的上塔门、下塔门、塔门连接件，所述上塔门、塔门连接件以及塔体支架之间形成上塔腔，所述下塔门、塔门连接件以及塔体支架之间形成下塔腔；所述塔体支架上设有通往上塔腔的上塔腔进气口，所述的塔门连接件上设有通往下塔腔的下塔腔进气口，所述上塔门设有上塔门排气口、所述下塔门设有下塔门排气口，所述上塔门排气口连接到废气处理装置，所述下塔门排气口直接与空气相连，所述塔体支架、上塔门、下塔门及塔门连接件相互之间的连接部位安装有密封件，所述上塔腔进气口以及下塔腔进气口由风机供风，给所述上塔腔以及下塔腔提供正压。进一步的，所述上塔门排气口设置在上塔门的上段，所述下塔门排气口设置在下塔门的下段。进一步的，塔门连接件由上下两层板组成，形成塔门连接件空腔，其中塔门连接件下板均匀分布有若干小孔，所述下塔腔进气口与塔门连接件空腔连通。进一步的，所述上塔门设有上塔门观察窗。风机安装在塔体支架外部，风机进风部分安装有送风过滤器，送风过滤器能够过滤0.1μm及以上颗粒，过滤后则形成洁净风，送风机出风口通过管道与塔体支架正面上部分和塔门连接件相连。这样送风机通过环境抽风，过滤后输送至塔体支架上部分及塔门连接件中。塔门连接件进风孔与下塔腔相通，塔门连接件底部开有下塔腔的连接件出风孔，洁净风自塔门连接件出来后进入下塔腔中，然后往下流动，最后从下腔门的排风口排放至环境中，这样下塔腔中就形成了自上往下的风场，形成了气封的下塔腔，能够有效防止外部空气进入腔体中，保持腔体洁净度，同时能持续带走炉膛及产品辐射出来的热量，保持腔体内处于低温环境，保护配件。另一路洁净风从塔体支架上半部分出来，进入到上塔腔中，因为顶部有吸风装置，其中大半部分往上流动，然后通过上腔门顶部开的排废孔排放至尾气处理设备中，这样上塔腔即形成了自下往上的风场。装置顶部，由于炉膛内温度高，上塔腔与炉膛相通，会有大量的热辐射从炉膛进入上塔腔中，同时由于炉膛内工艺要求负压设计得比较小，会有部分的氯化氢尾气进入到上塔腔中。这样因为上塔腔中存在自下往上的风场，当炉膛辐射出来的热量和溢出来的氯化氢尾气进入腔体顶部时立即会随着风场流动，最终通过排废孔进入到尾气处理设备中，不会扩散至腔体的中的其它部位。这样能够保持腔体内的低温及洁净环境，保护设备及配件，保障设备正常运行，排放出去的热量及尾气进入到厂区尾气处理系统中处理合格后再排放到大气中，保护环境。另一少部分洁净气体则通过塔门连接件进入下塔腔中，与塔门连接件出来的洁净风共同形成下塔腔风场。下塔腔内进行送风，因而保持正压，比炉门外气压高，保证炉门外气体不进入舱体中。上塔腔中下部送风，顶部吸风，使中下部保持正压，顶部保持负压，这样保证舱体外部气体不进入舱体内，同时能够及时排出顶部炉膛溢出的氯化氢气体及辐射的热量。附图说明图1是本技术塔体外部侧视图；图2是图1的A-A部分的仰视图；图3是塔体基座位于底部时的轴测图；图4是塔体基座位于顶部时的轴测图。图5是塔体内部风场示意图；图中：201-塔体支架、202-导轨、203-基座、204-电机、205-产品座、206-上塔门、207-下塔门、208-塔门连接件、209-上塔腔、210-下塔腔、211-上塔腔进气口、212-下塔腔进气口、213-上塔门排气口、214-下塔门排气口、215-塔门连接件空腔、216-小孔、217-上塔门观察窗、218-风机。具体实施方式下面结合附图1-5进一步描述本技术：如图1-5所示：塔体设置在炉膛的底部；包括垂直设置在地面上的塔体支架201，设置在塔体支架201一侧的导轨202，设置在导轨202上的基座203，基座203能够在电机204的作用下，沿所述导轨202上下移动；基座203上设有产品座205，产品座205能够在电机204的作用下，在基座203上移动和旋转。塔体还包括设置在塔体支架201的导轨202一侧的上塔门206、下塔门207、塔门连接件208，上塔门206、塔门连接件208以及塔体支架201之间形成上塔腔209，下塔门207、塔门连接件208以及塔体支架201之间形成下塔腔210；塔体支架201上设有通往上塔腔209的上塔腔进气口211，塔门连接件208上设有通往下塔腔210的下塔腔进气口212，上塔门206设有上塔门排气口213、下塔门207设有下塔门排气口214，上塔门排气口213连接到废气处理装置，下塔门排气口214直接与空气相连；塔体支架201、上塔门206、下塔门207及塔门连接件208相互之间的连接部位安装有密封件，上塔腔进气口211以及下塔腔进气口212由风机218供风，给上塔腔209以及下塔腔210提供正压。其中，上塔门排气口213设置在上塔门206的上段，下塔门排气口214设置在下塔门207的下段。塔门连接件208由上下两层板组成，形成塔门连接件空腔215，其中塔门连接件下板均匀分布有若干小孔216，下塔腔进气口212与塔门连接件空腔215连通。上塔门206设有上塔门观察窗217。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高纯石英生产用塔体，所述塔体设置在反应炉炉膛的底部；其特征在于：包括垂直设置在地面上的塔体支架(201)，设置在塔体支架(201)一侧的导轨(202)，设置在导轨(202)上的基座(203)，所述基座(203)能够在电机(204)的作用下，沿所述导轨(202)上下移动；所述基座(203)上设有产品座(205)，所述产品座(205)能够在电机(204)的作用下，在基座(203)上移动和旋转；所述塔体还包括设置在塔体支架(201)的导轨(202)一侧的上塔门(206)、下塔门(207)、塔门连接件(208)，所述上塔门(206)、塔门连接件(208)以及塔体支架(201)之间形成上塔腔(209)，所述下塔门(207)、塔门连接件(208)以及塔体支架(201)之间形成下塔腔(210)；所述塔体支架(201)上设有通往上塔腔(209)的上塔腔进气口(211)，所述的塔门连接件(208)上设有通往下塔腔(210)的下塔腔进气口(212)，所述上塔门(206)设有上塔门排气口(213)、所述下塔门(207)设有下塔门排气口(214)，所述上塔门排气口(213)连接到废气处理装置，所述下塔门排气口(214)直接与空气相连；所述塔体支架(201)、上塔门(206)、下塔门(207)及塔门连接件(208)相互之间的连接部位安装有密封件，所述上塔腔进气口(211)以及下塔腔进气口(212)由风机(218)供风，给所述上塔腔(209)以及下塔腔(210)提供正压。...

【技术特征摘要】
1.一种高纯石英生产用塔体，所述塔体设置在反应炉炉膛的底部；其特征在于：包括垂直设置在地面上的塔体支架(201)，设置在塔体支架(201)一侧的导轨(202)，设置在导轨(202)上的基座(203)，所述基座(203)能够在电机(204)的作用下，沿所述导轨(202)上下移动；所述基座(203)上设有产品座(205)，所述产品座(205)能够在电机(204)的作用下，在基座(203)上移动和旋转；所述塔体还包括设置在塔体支架(201)的导轨(202)一侧的上塔门(206)、下塔门(207)、塔门连接件(208)，所述上塔门(206)、塔门连接件(208)以及塔体支架(201)之间形成上塔腔(209)，所述下塔门(207)、塔门连接件(208)以及塔体支架(201)之间形成下塔腔(210)；所述塔体支架(201)上设有通往上塔腔(209)的上塔腔进气口(211)，所述的塔门连接件(208)上设有通往下塔腔(210)的下塔腔进气口(212)，所述上塔门(206)设有上塔门排气口(213)...

【专利技术属性】
技术研发人员：单兰英，
申请(专利权)人：无锡市孚艾科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32