The utility model provides a high pure quartz production device, including the reaction furnace and the tower body: from the inside out by the chamber, a heat insulation layer, insulating layer and metal materials made of furnace cover, furnace is provided with at least 1 of the exhaust port and the exhaust port through the insulating layer, the insulation layer and the furnace seat; top air inlet, a furnace top is provided with a top exhaust port; the furnace outlet is equal to or higher than the top of the air inlet location on both sides, and on top of the furnace; the exhaust port and the top exhaust port are respectively connected to the exhaust gas treatment device; the tower body is arranged on the bottom of the furnace; including the tower body bracket is vertically arranged on the ground the guide way is arranged on one side of the tower body bracket, a base is provided on the guide rail base, in under the action of the motor, moving along the guide rail; the base is provided with the product base, product base Under the action of the motor, the device can move and rotate on the base, and the production device of the utility model can effectively avoid the external pollution and the safe disposal of the waste gas in the production process.
【技术实现步骤摘要】
一种高纯石英生产装置
本专利技术涉及一种高纯石英的生产装置,尤其是涉及一种CVD法生成高纯石英的装置。
技术介绍
石英玻璃的工业生产技术主要包括电熔工艺,气炼工艺,合成石英玻璃制造工艺,高频等离子火焰熔制工艺。其中合成石英玻璃技术又包括化学气相沉积(CVD)工艺、气相轴向沉积(VAD)工艺、等离子化学气相沉积(PCVD)等。CVD工艺在生产大尺寸高纯度的石英玻璃方面较其他方法具有较大优势,目前大尺寸高纯度的石英玻璃生产一般使用CVD工艺生产。CVD工艺生产大尺寸高纯度的石英玻璃设备主要由两大部分组成,一部分是提供高温反应环境的反应炉,一部分是固定、支撑、旋转、移动产品的塔体设备,炉膛安装于塔体设备上部分。大尺寸高纯石英产品因为直径、长度、重量都比较大,因此生产一般是由上往下进行,即喷灯安装在炉膛上部,产品不断沉积,不断变长,往下移动,为制作一定的形状,有时也进行左右或前后移动,产品在生长时同时需要不断地进行旋转,这些移动、旋转都是通过电机、导轨等配件来完成的,当然因为产品位于高处,还需要支撑、固定等装置。这些配件、装置等统称为塔体设备。现有CVD法生产高纯石英反应炉体皆采用单层结构,隔热砖直接裸露于外部,很容易积尘,也不容易清洁。因此生产时粉尘很容易掉落进入炉膛内的产品中,操作人员需要频繁进行巡检,及时挑除产品内的粉尘杂质,无法挑除的颗粒直接导致产品报废,同时隔热砖材料直接裸露于室内不够整洁、美观。炉内高温热量通过喷灯缝隙直接散热进入车间环境内,会导致室内温度过高,增加降温成本。采用单层结构,同时为保持炉内高温,炉内的排风量要求保持很少的量,这样反应炉内生 ...
【技术保护点】
一种高纯石英生产装置:包括用于提供高温反应环境的反应炉(1)以及设置在反应炉(1)下方的塔体(2),其特征在于:所述反应炉(1)为圆柱形,由内而外由炉膛(101)、隔热层(102)、保温层(103)及金属材料制作而成的炉罩组成,所述炉罩包含包附在保温层(103)外周表面的炉座(104)、保温层(103)上表面的炉盖(105)以及炉顶(106),所述炉顶(106)设置于所述反应炉(1)的最顶部,与所述炉盖(105)之间形成炉顶腔(107);所述炉膛(101)设有至少一个炉膛排气口(108),所述炉膛排气口(108)穿过隔热层(102)、保温层(103)及炉座(104);所述炉顶(106)设有炉顶进气口(109)、炉顶排气口(110);所述炉顶排气口(110)位置等于或高于炉顶进气口(109)位置,且位于炉顶(106)的两侧,所述炉顶进气口(109)内设置有空气过滤装置;所述隔热层(102)、保温层(103)及炉盖(105)的顶部位置开设有连通炉膛(101)和炉顶腔(107)的通孔,所述通孔内设有喷灯(112),所述喷灯(112)顶部为物料进口,底部为物料出口;所述炉膛排气口(108)以及 ...
【技术特征摘要】
1.一种高纯石英生产装置:包括用于提供高温反应环境的反应炉(1)以及设置在反应炉(1)下方的塔体(2),其特征在于:所述反应炉(1)为圆柱形,由内而外由炉膛(101)、隔热层(102)、保温层(103)及金属材料制作而成的炉罩组成,所述炉罩包含包附在保温层(103)外周表面的炉座(104)、保温层(103)上表面的炉盖(105)以及炉顶(106),所述炉顶(106)设置于所述反应炉(1)的最顶部,与所述炉盖(105)之间形成炉顶腔(107);所述炉膛(101)设有至少一个炉膛排气口(108),所述炉膛排气口(108)穿过隔热层(102)、保温层(103)及炉座(104);所述炉顶(106)设有炉顶进气口(109)、炉顶排气口(110);所述炉顶排气口(110)位置等于或高于炉顶进气口(109)位置,且位于炉顶(106)的两侧,所述炉顶进气口(109)内设置有空气过滤装置;所述隔热层(102)、保温层(103)及炉盖(105)的顶部位置开设有连通炉膛(101)和炉顶腔(107)的通孔,所述通孔内设有喷灯(112),所述喷灯(112)顶部为物料进口,底部为物料出口;所述炉膛排气口(108)以及所述炉顶排气口(110)分别连接到废气处理装置;所述塔体(2)设置在所述炉膛(101)的底部;包括垂直设置在地面上的塔体支架(201),设置在塔体支架(201)一侧的导轨(202),设置在导轨(202)上的基座(203),所述基座(203)能够在电机(204)的作用下,沿所述导轨(202)上下移动;所述基座(203)上设有产品座(205),所述产品座(205)能够在电机(204)的作用下,在基座(203)上移动和旋转。2.根据权利要求1所述的一种高纯石...
【专利技术属性】
技术研发人员:单兰英,
申请(专利权)人:无锡市孚艾科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。