一种低沸点物质汽化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种低沸点物质汽化装置，包括柜体，设置在柜体下部的进液口以及柜体上部的出气口，设置在柜体内部的蒸发器和气体流量控制器，所述柜体内设置有加热板，所述加热板将柜体分隔为上腔室和下腔室，所述下腔室的容积大于所述上腔室的容积，所述加热板为水平设置，且加热板上下表面的放热量相同，该汽化装置完全取消蒸发器内冷却水系统，在汽化装置内布置一逐级提升的温度场，进而杜绝低沸点气态物质发生液化现象，保障流量输出稳定。

Vaporization device for low boiling point substance

The utility model provides a low boiling point substance vaporization device, which comprises a cabinet body, arranged in the lower part of the liquid inlet and outlet of the upper cabinet, the cabinet and set the evaporator in the gas flow controller, the heating plate is arranged in the cabinet, the cabinet body of the heating plate is divided into upper and lower chambers the volume of the chamber, larger than the upper chamber volume, the heating plate is arranged horizontally, and the heating plate of the upper and lower surface of the heat, the vaporization device completely abolished the cooling water system of evaporator, arrangement of temperature field progressively enhance on vaporization device, and thus eliminate the low boiling gaseous substances the liquefaction phenomenon, protect the flow of stable output.

【技术实现步骤摘要】
一种低沸点物质汽化装置
本专利技术涉及一种蒸发调控装置，尤其是低沸点物质蒸发调控装置。
技术介绍
在电子、半导体、光通讯、太阳能、石英生产行业中，需要对SiCl4(沸点57.6℃)、GeCl4(沸点84℃)等低沸点物质进行精确并稳定的流量控制，能达到精确并稳定控制的装置目前都是使用气态的流量控制器，因此就必须对这些物质进行汽化，然后进行流量控制，蒸发主要通过对蒸发器加热的方式。这些低沸点物质汽化后，在气态的输送过程中，需要保证顺着流向末端的温度大于或等于前端的温度，如果末端温度低于前端温度，则就会产生液化现象，最终导致流量控制不稳定，继而流量控制器损坏无法控制的现象。目前低沸点物质蒸发调控用蒸发器、阀门、过滤器、流量控制器等装置配件皆安装在一个恒温箱内，为保障蒸发器处于较低温度，则蒸发器内设计冷却盘管，内部通入冷却水以达到降温的目的。现有技术为蒸发器内部冷却，外部加热的方式，能耗比较大，同时蒸发器内部温度稳定性不足，导致压力波动大，影响输出流量。蒸发器内部冷却水系统容易出现问题，当冷却水系统故障时，流量控制器流量的变化，蒸发器内温度就会过高，进而导致后端气态物质液化，流量控制则失效。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了完全取消蒸发器内冷却水系统，在汽化装置内布置一逐级提升的温度场，进而杜绝低沸点气态物质发生液化现象，保障流量输出稳定。本专利技术提供一种低沸点物质汽化装置，包括柜体，设置在柜体下部的进液口以及柜体上部的出气口，设置在柜体内部的蒸发器和气体流量控制器，所述柜体内设置有加热板，所述加热板将柜体分隔为上腔室和下腔室，所述下腔室的容积大于所述上腔室的容积，所述加热板为水平设置，且加热板上下表面的放热量相同。所述蒸发器设置在下腔体中，蒸发器底部设有进料口，顶部设有出料口，进料口通过输液管与进液口连接，出料口通过输气管穿过加热板进入上腔室中，输气管在上腔室中与所述出气口连接，所述气体流量控制器设置在输气管的接近出气口处。下腔室靠加热板进行加热，维持内部温度。加热板位于下腔室上部，下腔室内温度分布是由下至上逐渐升高，越靠近加热装置区域温度越高。上腔室也是靠加热板进行加热，但是上腔室整个腔体容积要比下腔室小，同时高温气体往上升，这样就能保证上腔室温度大于下腔室温度。气体物质由蒸发器顶部出来后，通过输送管输送至上腔室，在下腔室的输送过程中，随着高度的提高，周围温度逐渐升高，避免了气态物质在管路中的液化。然后气态物质经过流量控制器调控流量输送出设备。进一步的，所述输气管在下腔室的部分为倾斜设置，与水平夹角小于等于45°，所述输气管在上腔室的部分为水平设置。进一步的，所述输气管在下腔室的部分与水平夹角小于等于5°。倾斜输送管采用倾斜提升的设计，能够保证倾斜管温度逐渐提升，防止内部气态物质液化的目的。同时能够有效保障当加热板意外损坏时，管路温度降低，气态物质液化，从倾斜管倒流回蒸发器内，不会进入气态流量控制器中，防止气态流量控制器损坏。进一步的，所述蒸发器的加热装置设置在蒸发器的外表面。提高了蒸发器内部温度的稳定性。进一步的，所述输液管上从进液口到进料口依次设有进液手动阀、进液过滤器、进液计量阀、预加热器及进液气动阀。进一步的，所述输气管在上腔室的部分按气体流动方向，在所述气体流量控制器之前还设有气态阀门和气态过滤器。进一步的，所述柜体的四周设有保温层。附图说明图1是本专利技术低沸点物质汽化装置侧视截面图；图2是本专利技术低沸点物质汽化装置俯视截面图；图中：1-柜体、2-进液口、3-出气口、4-蒸发器、5-气体流量控制器、6-加热板、7-上腔室、8-下腔室、9-输液管、10-输气管、11-保温层、201-进液手动阀、202-进液过滤器、203-进液计量阀、204-预加热器、205-进液气动阀、301-气态阀门、302-气态过滤器、401-进料口、402-出料口、403-加热装置。具体实施方式如图1和图2所示，本专利技术装置包括柜体1，设置在柜体1下部的进液口2以及柜体1上部的出气口3，设置在柜体1内部的蒸发器4和气体流量控制器5，所述柜体1内设置有加热板6，所述加热板6将柜体1分隔为上腔室7和下腔室8，所述加热板6为水平设置，且加热板6上下表面的放热量相同，所述下腔室8的容积大于所述上腔室7的容积；所述蒸发器4设置在下腔体中，蒸发器4底部设有进料口401，顶部设有出料口402，进料口401通过输液管9与进液口2连接，出料口402通过输气管10穿过加热板6进入上腔室7中，输气管10在上腔室7中与所述出气口3连接，所述气体流量控制器5设置在输气管10的接近出气口3处。蒸发器4安装在下腔室8，液态物质经过进液手动阀201、进液过滤器202、进液计量阀203、预加热器204及进液气动阀205后从下部进入蒸发器4，进液计量阀203及预加热器204能够持续地定量对蒸发器4进行充入较高温度的液体物质(一般在物质沸点以下1-15℃之间)，使蒸发器4内部压力及温度保持稳定。进液过滤器202主要过滤液态物质的微粒，确保蒸发器4进液质量。进液手动阀201及进液气动阀205控制进液通断用。气态阀门301、气态过滤器302、流量控制器5安装在上腔室7。蒸发器4外表面安装有加热装置403，使液态物质气化，产生一定压力的气态物质，气态物质经过输气管10后温度逐级上升，然后进入上腔室7，达到工艺要求温度，最后经过气态阀门301及气态过滤器302进入流量控制器5，气态物质经过流量控制器5后直接导通出本专利技术装置进入生产设备中。保温层11安装在下腔体及上腔体四周，使装置与外界隔离开，保持内部温度。蒸发器4表面安装有加热装置403(如加热毯)，当低温液体物质进入蒸发器4后，对其进行加热蒸发，变为气态物质。气体物质由蒸发器4顶部出来，进入输气管10输送至上腔体7，在倾斜(倾斜角度小于等于45°，优选小于等于5°)的输气管10中，物质不断从外界吸收热量，气态物质温度随着低温区温场自下往上逐级升高。然后气态物质经过气态阀门301及气态过滤器302后到达流量控制器5，最后经过流量控制器5调控流量输送出设备。输气管10采用倾斜提升的的设计，能够保证倾斜管温度逐渐提升，防止内部气态物质液化的目的。同时能够有效保障当加热板6意外损坏时，管路温度降低，气态物质液化，从输气管10倒流回蒸发罐内，不会进入气态流量控制器5中，防止气态流量控制器5损坏。上述实施例只为说明本专利技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本专利技术的内容并据以实施，并不能以此限制本专利技术的保护范围。凡根据本专利技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低沸点物质汽化装置，包括柜体(1)，设置在柜体(1)下部的进液口(2)以及柜体(1)上部的出气口(3)，设置在柜体(1)内部的蒸发器(4)和气体流量控制器(5)，其特征在于：所述柜体(1)内设置有加热板(6)，所述加热板(6)将柜体(1)分隔为上腔室(7)和下腔室(8)，所述加热板(6)为水平设置，且加热板(6)上下表面的放热量相同，所述下腔室(8)的容积大于所述上腔室(7)的容积；所述蒸发器(4)设置在下腔体中，蒸发器(4)底部设有进料口(401)，顶部设有出料口(402)，进料口(401)通过输液管(9)与进液口(2)连接，出料口(402)通过输气管(10)穿过加热板(6)进入上腔室(7)中，输气管(10)在上腔室(7)中与所述出气口(3)连接，所述气体流量控制器(5)设置在输气管(10)的接近出气口(3)处。

【技术特征摘要】
1.一种低沸点物质汽化装置，包括柜体(1)，设置在柜体(1)下部的进液口(2)以及柜体(1)上部的出气口(3)，设置在柜体(1)内部的蒸发器(4)和气体流量控制器(5)，其特征在于：所述柜体(1)内设置有加热板(6)，所述加热板(6)将柜体(1)分隔为上腔室(7)和下腔室(8)，所述加热板(6)为水平设置，且加热板(6)上下表面的放热量相同，所述下腔室(8)的容积大于所述上腔室(7)的容积；所述蒸发器(4)设置在下腔体中，蒸发器(4)底部设有进料口(401)，顶部设有出料口(402)，进料口(401)通过输液管(9)与进液口(2)连接，出料口(402)通过输气管(10)穿过加热板(6)进入上腔室(7)中，输气管(10)在上腔室(7)中与所述出气口(3)连接，所述气体流量控制器(5)设置在输气管(10)的接近出气口(3)处。2.根据权利要求1所述的低沸点物质汽化装置，其特征在于，所述输气管(10)在下腔室(8)的部分为...

【专利技术属性】
技术研发人员：单兰英，
申请(专利权)人：无锡市孚艾科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32