The embodiment of the invention provides a chip encapsulation method and chip packaging structure, which relates to the field of semiconductor technology, and can improve the packaging efficiency and output efficiency. Including a chip package method: second substrate and the first substrate bonding; which is greater than the second basal stress under the first substrate; forming an adhesive layer on the second substrate; the adhesive layer bonded on the chip; plastic forming, encapsulation layer.
【技术实现步骤摘要】
一种芯片封装方法及芯片封装结构
本专利技术涉及半导体
,尤其涉及一种芯片封装方法及芯片封装结构。
技术介绍
随着集成电路技术的不断发展,电子产品越来越向小型化、智能化以及高可靠性方向发展,而集成电路封装直接影响着集成电路、电子模块乃至整机性能,在集成电路晶片逐步缩小、集成度不断提高的情况下,对集成电路封装提出了越来越高的要求。传统的系统级封装(SysteminPackage,简称SiP)结合内嵌式印刷电路板(PrintedCircuitBoard,简称PCB)技术虽符合电子产品小型化需求,然于供应链和成本存在问题。而扇出型晶圆级封装(Fan-outWaferLevelPackage,简称FoWLP)可以在比芯片更广的面积中构成凸块阵列(BumpArray),因不使用既有打线,其内部连结较短,有利于缩减整体封装厚度,且未使用打线与中介层,亦有助于降低成本,可望成为先进封装技术的发展要点。目前,FoWLP采用硅基底,尺寸一般只有6寸、8寸、12寸,受限于硅基底的尺寸,使得封装后的产出规模受到限制。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种芯片封装方法及芯片封装结构, ...
【技术保护点】
一种芯片封装方法,其特征在于,包括:将第二基底与第一基底贴合;其中,所述第一基底承受的应力大于所述第二基底;在所述第二基底上形成粘胶层;在所述粘胶层上粘结芯片;进行塑封,形成封装层。
【技术特征摘要】
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括:将第二基底与第一基底贴合;其中,所述第一基底承受的应力大于所述第二基底;在所述第二基底上形成粘胶层;在所述粘胶层上粘结芯片;进行塑封,形成封装层。2.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,还包括:对所述封装层进行开封,露出所述芯片;在所述芯片和所述封装层上方形成重布线层,并形成焊球;将所述粘胶层、所述第一基底和所述第二基底去除。3.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述第二基底包括多个凹槽,所述芯片放置在所述凹槽内。4.根据权利要求1-3任一项所述的芯片封装方法,其特征在于,所述第一基底和所述第二基底为面板级基底。5.根据权利要求2所述的芯片封装方法,其特征在于,将所述粘胶层、所述第一基底和所述第二基底去除,包括:通过加热所述粘胶层或者光照所述粘胶层的方式,将所述粘胶层、所述第一基底和所述第二基底去除。6.根据权利要求3所述的芯片封装方法,其特征在于,将第二基底与第一基底贴合,并在所述第二基底上形成所述凹槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:齐永莲,曲连杰,王志东,杜渊鑫,赵合彬,邱云,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京,11
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