金刚砂线切割液制造技术

本发明专利技术涉及一种用于金刚砂线切割单晶硅、多晶硅等非金属脆硬材料的切割液。主要是为解决利用现有的金刚砂切割液切割后的硅片表面TTV大、有线痕、洁净度低的问题而发明专利技术的。所述的金刚砂线切割液由如下成分组成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水。生产过程：将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗，将各原料送入搅拌罐中，边送料边搅拌，完成送料后再搅拌20分钟；搅拌后的物料用泵送至白钢网处进行加压破碎过滤，得到产品。优点是切割后的硅片表面TTV小、无线痕、洁净度高。

Emery wire cutting fluid

The present invention relates to a cutting solution for non-metallic hard brittle materials, such as monocrystalline silicon and polycrystalline silicon, which are cut by diamond wire. The invention mainly aims at solving the problems of big TTV surface, wire mark and low cleanliness of the silicon wafer after cutting with the existing diamond cutting liquid. The emery wire cutting liquid is composed of the following components: fatty alcohol, poly propylene glycol, polyoxyethylene, poly propylene oxide ether, organic silicon defoamer, distilled water. Production process: mixing tank repeatedly washed with distilled water, all the raw materials into the mixing tank, while feeding stirring, complete feeding after 20 minutes stirring; mixing materials after pumping to the white steel net of the crushing pressure filtration products. The advantage is that the silicon wafer after cutting has small surface TTV, wireless mark and high cleanliness.

【技术实现步骤摘要】
金刚砂线切割液
：本专利技术涉及一种用于金刚砂线切割单晶硅、多晶硅等非金属脆硬材料的切割液。
技术介绍
：目前用于切割单晶硅、多晶硅等非金属脆硬材料的金刚砂切割液主要由聚乙二醇和纯水构成，切割中砂线外层镀有的金刚石与硅片摩擦，切割时产生瞬间高温也高，切屑硅粉由于粒度太细，比表面积大大增加，使得其反应所需的活化能大大降低，切割后的产品表面不光滑，表面存在不易清洗的固体硅粉末，切割过程中的切割硅粉由于粘度太细与水反应释放氢气，长时间生产累积会造成安全隐患。硅片的表面粗糙度和表面翘曲度高，使所加工硅片的总厚度偏差大。切割后的硅片表面TTV大、有线痕、洁净度低。
技术实现思路
：本专利技术所要解决的技术问题是提供一种能保证切割后的产品表面TTV小、无线痕、洁净度高、表面光滑、易清洗，所加工硅片的总厚度偏差低的金刚砂线切割液。所述的金刚砂线切割液由如下成分组成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水；其中脂肪醇占总重量的55%，聚丙二醇占总重量的2.5%、聚氧乙烯占总重量的5%、聚氧丙烯醚占总重量的3%、有机硅消泡剂占总重量的20%、蒸馏水占总重量的14.5%。生产过程：将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗，确认没有污物，将按所述的重量百分比称好的各原料送入搅拌罐中，边送料边搅拌，完成送料后再搅拌20分钟；搅拌后的物料用泵送至白钢网（300目）处进行加压破碎过滤，得到产品。这样做可使切割液均匀没有絮状物，使用过程方便快捷。本专利技术的优点是：具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、氢气抑制功能。切割后的硅片表面TTV小、无线痕、洁净度高。能够延长金刚砂线的使用寿命。具体如下：1、具有良好的切割屑分散能力。快速润湿分散切割碎屑，将切割屑带离切割区，能抑制和消除切割过程中的切割硅粉由于粘度太细与水反应释放放的氢气，会避免长时间的生产累积造成安全隐患。2、优异的润滑效果。可有效防止切割过程中硅片发生脆性崩裂或者划痕产生。降低硅片的表面粗糙度和表面翘曲度，使所加工硅片的总厚度偏差降到最低。3、优异的防腐、防锈的性能保护设备在酸性环境下不被腐蚀。4、使用了优良的添加剂，确保延长金刚线的使用寿命。5、较好的回收性，可采用离心沉降的方式切屑硅粉和切割液进行简单处理再利用，以而有效降底生产成本。6、易于切割后清洗。具体实施方式：所述的金刚砂线切割液由如下成分组成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水；其中脂肪醇占总重量的55%，聚丙二醇占总重量的2.5%、聚氧乙烯占总重量的5%、聚氧丙烯醚占总重量的3%、有机硅消泡剂占总重量的20%、蒸馏水占总重量的14.5%。生产过程：将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗，确认没有污物，将按所述的重量百分比称好的各原料送入搅拌罐中，边送料边搅拌，完成送料后再搅拌20分钟；搅拌后的物料用泵送至白钢网（300目）处进行加压破碎过滤，得到产品。这样做可使切割液均匀没有絮状物，使用过程方便快捷。实施例1，将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗，确认没有污物，向搅拌罐中投入脂肪醇550㎏，聚丙二醇25㎏、聚氧乙烯50㎏、聚氧丙烯醚30㎏、有机硅消泡剂200㎏、蒸馏水145㎏，边送料边搅拌，完成送料后再搅拌20分钟；搅拌后的物料用泵送至白钢网（300目）处进行加压破碎过滤，得到产品。本文档来自技高网...

【技术保护点】
金刚砂线切割液，其特征是：由如下成分组成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水；其中脂肪醇占总重量的55%，聚丙二醇占总重量的2.5%、聚氧乙烯占总重量的5%、聚氧丙烯醚占总重量的3%、有机硅消泡剂占总重量的20%、蒸馏水占总重量的14.5%；生产过程：将搅拌罐用蒸馏水反复冲洗，将按所述的重量百分比称好的各原料送入搅拌罐中，边送料边搅拌，完成送料后再搅拌20分钟；搅拌后的物料用泵送至白钢网处进行加压破碎过滤，得到产品。

【技术特征摘要】
1.金刚砂线切割液，其特征是：由如下成分组成：脂肪醇、聚丙二醇、聚氧乙烯、聚氧丙烯醚、有机硅消泡剂、蒸馏水；其中脂肪醇占总重量的55%，聚丙二醇占总重量的2.5%、聚氧乙烯占总重量的5%、聚氧丙烯醚占总重量的3%、有机硅消泡...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚芬，
申请(专利权)人：辽宁前程化工有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21