【技术实现步骤摘要】
一种超细微粉抛光膜的制备方法
本专利技术涉及一种用于超精密抛光的超细微粉抛光膜的制备方法。
技术介绍
近几年,随着信息技术、光学技术的发展,对硬脆性材料,如硅片,光学玻璃等,不仅需求量增大,而且对其质量、精度都提出了很高的要求。对于这些材料的加工,目前普遍使用的是游离磨料研磨抛光。但是,由于研磨液体在放置过程中容易产生沉淀而且随着磨料粒度的减小,磨料很容易产生团聚现象,这些都会对加工后的工件表面质量产生影响。在加工过程中磨料流体的流动性很大,只能在抛光盘表面停留片刻,因此磨料浪费非常严重,研磨效率很低,磨料流体废液还会严重污染环境。为了解决超细磨料的团聚问题,同时为了提高加工效率和减少磨料的浪费,使用固结磨料工具抛光来代替游离磨料研磨抛光已经成为一种趋势。本专利技术基于超细磨料的团聚难题,同时为了提高加工效率和减少磨料的浪费,提出一种基于溶胶凝胶的超细微粉抛光膜的制备方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种超细微粉抛光膜的制备方法,其可使超细微粉在结合剂中均匀分布。本专利技术的技术方案是这样的:一种超细微粉抛光膜的制备方法,通过下列步骤实现:第一步,在常温常压下,将超细微粉放入重量百分比浓度为1-5%的海-->藻酸钠溶液中,用搅拌器进行搅拌,使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散,形成均匀的混合溶液,其中超细微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30%;第二步,将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的纺织物之上并将此纺织物粘贴固定在一抛光基盘上,将涂覆于纺织物之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而得到薄膜;第三步, ...
【技术保护点】
一种超细微粉抛光膜的制备方法,其特征在于:通过下列步骤实现:第一步,在常温常压下,将超细微粉放入重量百分比浓度为1-5%的海藻酸钠溶液中,用搅拌器进行搅拌,使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散,形成均匀的混合溶液,其中超细微粉占 此混合溶液的重量百分比的1-30%;第二步,将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的纺织物之上并将此纺织物粘贴固定在一抛光基盘上,将涂覆于纺织物之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而得到薄膜; 第三步,将第二步所得的涂覆着薄膜的抛光基盘放入重量百分比浓度为0.5-2.0%的Ca↑[2+]溶液中进行迅速固化并放置几个小时,从而制备成抛光膜。
【技术特征摘要】
1、一种超细微粉抛光膜的制备方法,其特征在于:通过下列步骤实现:第一步,在常温常压下,将超细微粉放入重量百分比浓度为1-5%的海藻酸钠溶液中,用搅拌器进行搅拌,使得超细微粉在海藻酸钠溶液中能够均匀分散,形成均匀的混合溶液,其中超细微粉占此混合溶液的重量百分比的1-30%;第二步,将第一步所得的含有超细微粉的海藻酸钠混合溶液涂覆于一种网格状结构的纺织物之上并将此纺织物粘贴固定在一抛光基盘上,将涂覆于纺织物之上的含有超细微粉的藻酸钠盐溶液进行平整化处理从而得到薄膜;第三步,将第二步所得的涂覆着薄膜的抛光基盘放入重量百分比...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐西鹏,刘娟,于怡青,
申请(专利权)人:华侨大学,
类型:发明
国别省市:35[中国|福建]
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