一种自动精确移位的镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室、镀膜室组成的真空室，真空室接通一抽真空系统，镀膜室内设置有基片架、挡板以及蒸发源，挡板设置在基片架下方；挡板为可伸缩式挡板，分为固定端和自由端，镀膜室内靠近挡板固定端的壁体上设置有导轨，导轨内设置有滑块，挡板固定端与滑块连接，挡板自由端垂直连接有挡板驱动机构；挡板驱动机构具体包括动力装置，与动力装置同轴连接的滚珠丝杠，滚珠丝杠的配套螺母通过连接件与挡板自由端连接，动力装置下方还连接有移动驱动轮，移动驱动轮下方设有固定导轨，移动驱动轮设置在固定导轨上，移动驱动轮连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。

An automatic and accurate coating machine

The utility model relates to an automatic shift precision coating machine, which comprises a vacuum chamber composed of winding chamber, vacuum chamber, vacuum chamber connected to a vacuum system, the coating is arranged inside the substrate holder, a baffle and the evaporation source, the baffle plate is arranged in the substrate below the frame; a telescopic baffle plate, divided into fixed end and a free end wall near the fixed end of the coating chamber baffle is arranged on the guide rail is arranged in the slide, the baffle plate is fixed and connected with the slide block end, the free end of the baffle is connected with a vertical baffle baffle plate driving mechanism; driving mechanism includes a power device, connected with the power device of the coaxial ball screw, nut ball screw through the connecting piece and the free end of the baffle is connected, power device is also connected to a mobile driving wheel, a fixed guide wheel driven mobile, mobile driving wheel is arranged on the fixed The driving wheel is connected with a driving mechanism, the driving mechanism is connected with a controller, and the controller is connected with an input unit.

【技术实现步骤摘要】
一种自动精确移位的镀膜机
本技术涉及镀膜机领域，特别是涉及一种自动精确移位的镀膜机。
技术介绍
薄膜电容器是电容器的一种，具有损耗小、绝缘电阻高、频率特性好、可靠性高、温度特性好等优点，有着较为广泛的应用；目前薄膜电容器从电极形式上可以分为金属箔式和金属化式二种，金属化薄膜电容器体积小、容量大、有自愈特性、过压能力高的优点，随着电子整机更新换代周期的不断缩短，以及轻薄短小和数字化要求的提高，成为薄膜电容器的主流，因而金属化薄膜是制作薄膜电容器的主要原材料，并对电容器的特性有直接影响。为了保证金属化薄膜较大的耐压能力和耐电流能力，通常会对金属化薄膜电容器进行薄膜留边处理和金属化层加厚处理，通常不同的应用场合对耐压能力和耐电流能力的要求不相同，以致镀膜机对薄膜进行金属化处理时留边处理和加厚处理的宽度要求不同，需要根据客户所需具体定制不同留边宽度和加厚宽度，现有的镀膜机为手动测量处理，更换不同尺寸的挡板进行遮挡，效率低，精度低。
技术实现思路
本技术的目的在于：针对现有镀膜机不能提供自动精确定位功能，以致镀膜机进行留边和加厚处理时效率低、精度低的技术问题，提供一种自动精确移位镀膜机。本技术采用的技术方案如下：一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室、镀膜室组成的真空室，真空室接通一抽真空系统，镀膜室内设置有基片架、挡板以及蒸发源，挡板设置在基片架下方；所述挡板为可伸缩式挡板，分为固定端和自由端，镀膜室内靠近挡板固定端的壁体上设置有导轨，导轨内设置有滑块，挡板固定端与滑块连接，挡板自由端垂直连接有挡板驱动机构；所述挡板驱动机构具体包括动力装置，与动力装置同轴连接的滚珠丝杠，滚珠丝杠的配套螺母通过连接件与所述挡板自由端连接，所述动力装置下方还连接有移动驱动轮，移动驱动轮下方设有固定导轨，移动驱动轮设置在固定导轨上，所述移动驱动轮连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。当需要进行留边或加厚处理时，控制器控制挡板上移挡住需要留边的区域或不需要加厚的区域，具体需要遮挡的宽度，可通过控制器连接的输入单元进行设置；控制器控制驱动机构驱动移动驱动轮在固定导轨上进行往返移动，已达到伸缩挡板的目的；动力装置驱动滚珠丝杠旋转，使滚珠丝杠的配套螺母在滚珠丝杠上做上下往返运动，以达到挡板上下移动的目的。上述方案中，还包括光栅传感组件，光栅传感组件包括标尺光栅、光栅读数头，光栅读数头安装在基片架上，标尺光栅与滚珠丝杠顶端连接。通过加入光栅传感组件，可以测量挡板具体移动的位移。进一步地，所述光栅传感组件与所述控制器连接，形成闭环控制。上述方案中，所述挡板固定端与基片架边缘对齐，保证基片边缘能够被遮挡。上述方案中，所述基片架连接有一动力机构，所述动力机构驱动所述基片架进行正反向旋转动作，当需要进行双面蒸镀时，动力机构驱动基片架旋转180°进行正反面蒸镀。上述方案中，所述蒸发源为点式蒸发源，数量为多个且均匀地设置在基片架下方，保证均匀蒸镀。综上，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：本技术通过挡板驱动机构结构上的改进和控制系统的加入，实现了挡板的自动移位功能，大大提高了留边处理和加厚处理的效率和精度。光栅传感组件的加入，可以检测挡板具体移动的位移，并反馈给控制器，形成闭环控制，提高控制精度。附图说明图1是本技术的结构示意图；图中标记：1-卷绕室，2-镀膜室，21-基片架，22-挡板，23-蒸发源，24-导轨，25-滑块，26-动力装置，27-滚珠丝杠，28-连接件，29-移动驱动轮，210-固定导轨，211-固定端，212-自由端，213-动力机构，3-真空室，4-抽真空系统，5-光栅传感组件，51-标尺光栅，52-光栅读数头。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室1、镀膜室2组成的真空室3，真空室3接通一抽真空系统4，镀膜室2内设置有基片架21、挡板22以及蒸发源23，挡板22设置在基片架21下方；挡板21为可伸缩式挡板，分为固定端211和自由端212，镀膜室2内靠近挡板22固定端211的壁体上设置有导轨24，导轨内设置有滑块25，挡板固定端211与滑块25连接，挡板自由端212垂直连接有挡板驱动机构；挡板驱动机构具体包括动力装置26，与动力装置26同轴连接的滚珠丝杠27，滚珠丝杠27的配套螺母通过连接件28与挡板21自由端212连接，动力装置26下方还连接有移动驱动轮29，移动驱动轮29下方设有固定导轨210，移动驱动轮29设置在固定导轨210上，移动驱动轮29连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。优选地，还包括光栅传感组件5，光栅传感组件5包括标尺光栅51、光栅读数头52，光栅读数头52安装在基片架21上，标尺光栅51与挡板自由端212或连接件28连接。优选地，光栅传感组件5与控制器连接。优选地，挡板固定端211与基片架21边缘对齐。优选地，基片架21连接有一动力机构213，动力机构213驱动基片架21进行正反向旋转动作。优选地，蒸发源23为点式蒸发源，数量为多个且均匀地设置在基片架21下方。实施例1如图1所示，一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室1、镀膜室2组成的真空室3，真空室3接通一抽真空系统4，镀膜室2内设置有基片架21、挡板22以及蒸发源23，挡板22设置在基片架21下方；挡板21为可伸缩式挡板，分为固定端211和自由端212，镀膜室2内靠近挡板22固定端211的壁体上设置有导轨24，导轨内设置有滑块25，挡板固定端211与滑块25连接，挡板自由端212垂直连接有挡板驱动机构；挡板驱动机构具体包括动力装置26，与动力装置26同轴连接的滚珠丝杠27，滚珠丝杠27的配套螺母通过连接件28与挡板21自由端212连接，动力装置26下方还连接有移动驱动轮29，移动驱动轮29下方设有固定导轨210，移动驱动轮29设置在固定导轨210上，移动驱动轮29连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。当需要进行留边或加厚处理时，控制器控制挡板上移挡住需要留边的区域或不需要加厚的区域，具体需要遮挡的宽度，可通过控制器连接的输入单元进行设置；控制器控制驱动机构驱动移动驱动轮在固定导轨上进行往返移动，已达到伸缩挡板的目的；动力装置驱动滚珠丝杠旋转，使滚珠丝杠的配套螺母在滚珠丝杠上做上下往返运动，以达到挡板上下移动的目的。实施例2在实施例1的基础上，还包括光栅传感组件5，光栅传感组件5包括标尺光栅51、光栅读数头52，光栅读数头52安装在基片架21上，标尺光栅51与滚珠丝杠27顶端连接。通过加入光栅传感组件，可以测量挡板具体移动的位移，并反馈给控制器，形成闭环控制，提高控制精度。实施例3在实施例2的基础上，光栅传感组件5与控制器连接，形成闭环反馈。实施例4在实施例1的基础上，挡板固定端211与基片架21边缘对齐。实施例5在实施例1的基础上，基片架21连接有一动力机构213，动力机构213驱动基片架21进行正反向旋转动作。当需要进行双面蒸镀时，动力机构驱动基片架旋转1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室(1)、镀膜室(2)组成的真空室(3)，真空室(3)接通一抽真空系统(4)，其特征在于，镀膜室(2)内设置有基片架(21)、挡板(22)以及蒸发源(23)，挡板(22)设置在基片架(21)下方；所述挡板(22)为可伸缩式挡板，分为固定端(211)和自由端(212)，镀膜室(2)内靠近挡板(22)固定端(211)的壁体上设置有导轨(24)，导轨内设置有滑块(25)，挡板固定端(211)与滑块(25)连接，挡板自由端(212)垂直连接有挡板驱动机构；所述挡板驱动机构具体包括动力装置(26)，与动力装置(26)同轴连接的滚珠丝杠(27)，滚珠丝杠(27)的配套螺母通过连接件(28)与所述挡板(22)自由端(212)连接，所述动力装置(26)下方还连接有移动驱动轮(29)，移动驱动轮(29)下方设有固定导轨(210)，移动驱动轮(29)设置在固定导轨(210)上，所述移动驱动轮(29)连接有驱动机构，驱动机构连接有控制器，控制器连接有输入单元。

【技术特征摘要】
1.一种自动精确移位镀膜机，包括由卷绕室(1)、镀膜室(2)组成的真空室(3)，真空室(3)接通一抽真空系统(4)，其特征在于，镀膜室(2)内设置有基片架(21)、挡板(22)以及蒸发源(23)，挡板(22)设置在基片架(21)下方；所述挡板(22)为可伸缩式挡板，分为固定端(211)和自由端(212)，镀膜室(2)内靠近挡板(22)固定端(211)的壁体上设置有导轨(24)，导轨内设置有滑块(25)，挡板固定端(211)与滑块(25)连接，挡板自由端(212)垂直连接有挡板驱动机构；所述挡板驱动机构具体包括动力装置(26)，与动力装置(26)同轴连接的滚珠丝杠(27)，滚珠丝杠(27)的配套螺母通过连接件(28)与所述挡板(22)自由端(212)连接，所述动力装置(26)下方还连接有移动驱动轮(29)，移动驱动轮(29)下方设有固定导轨(210)，移动驱动轮(29)设置在固定导轨(210)上，所述移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：林正亮，宣华伟，姚林生，
申请(专利权)人：郑州华翔电子信息技术有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41