The utility model discloses a uniform coating of molybdenum boat, including molybdenum and molybdenum on the boat, the boat and the molybdenum molybdenum boat is composed of the ship and the ship is arranged in both ends of the boat wing, the boat cabin is four squaretable cavity structure, the molybdenum and molybdenum boat a butt hole, the lower and upper molybdenum molybdenum boat can be completely docking, the boat off the side of the tank is provided with a sealing piece of a molybdenum boat, the other side is provided with a sealing block two is provided with two parallel guide rails in the ship length direction, the guide rail is provided with a cover plate and the cover plate and the sliding rail can be connected to improve the uniformity of coating, reduce the deformation of molybdenum boat sustained high temperature environment.
【技术实现步骤摘要】
一种均匀镀膜钼舟
本技术属于镀膜设备
,具体地说,本技术涉及一种均匀镀膜钼舟。
技术介绍
镀膜技术广泛应用于各种工件上,镀膜不仅能保护工件,防止工件磨损、氧化从而使得工件表面光滑,装饰性强,在薄膜制备的过程中,需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发气化,但是现有的钼舟结构设计不合理,制造成本高,导致镀膜不均匀,除此之外,当钼舟持续在高温下使用时,其会随着时间的延长而发生变形,严重时会造成舟体扭曲。
技术实现思路
本技术提供一种均匀镀膜钼舟,提高镀膜的均匀性,降低钼舟在持续高温环境下的变形。为了实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种均匀镀膜钼舟,包括下钼舟和上钼舟,所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成,所述舟舱为四棱台空腔结构,所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔,所述下钼舟和上钼舟可完全对接,所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一,另外一侧设有密封块二,在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨,所述导轨上设有盖板,且所述盖板与导轨可滑动连接。优选的,所述盖板下端设有两个平行的滑轨,所述滑轨可插入导轨中,盖板上设有镀膜孔一,盖板上端设有零件支撑架。优选的,所述导轨内设有“T”型槽,滑轨为“T”型导轨。优选的,所述镀膜孔一为锥度孔。优选的,所述上钼舟内设有托板,所述托板与上钼舟的舟舱可拆卸连接,所述托板两侧设有多个镀膜孔二,且所述镀膜孔二为锥度孔。采用以上技术方案的有益效果是:该均匀镀膜钼舟,所述舟舱为四棱台空腔结构,使舟舱的结构更加稳固,钼舟持续在高温下使用时,不易变形;所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔,所述下钼舟和上钼舟可完全对接,保证下钼舟和上钼舟对接 ...
【技术保护点】
一种均匀镀膜钼舟,其特征在于:包括下钼舟和上钼舟,所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成,所述舟舱为四棱台空腔结构,所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔,所述下钼舟和上钼舟可完全对接,所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一,另外一侧设有密封块二,在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨,所述导轨上设有盖板,且所述盖板与导轨可滑动连接。
【技术特征摘要】
1.一种均匀镀膜钼舟,其特征在于:包括下钼舟和上钼舟,所述下钼舟和上钼舟都由舟舱和设置在舟舱两端的舟翼组成,所述舟舱为四棱台空腔结构,所述下钼舟和上钼舟上设有对接孔,所述下钼舟和上钼舟可完全对接,所述下钼舟的舟舱一侧设有密封块一,另外一侧设有密封块二,在舟舱长度方向上设有两个平行的导轨,所述导轨上设有盖板,且所述盖板与导轨可滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种均匀镀膜钼舟,其特征在于:所述盖板下端设有两个平行...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤建国,
申请(专利权)人:陕西华创稀有金属科技有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西,61
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