扫描系统技术方案

一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，该扫描系统包括：台，用于安装要被处理的印刷电路板，其中多个真空出口(202)设置在台上，用于保持印刷电路板的面板；工作底部，其中台被可运动地安装在工作底部上；真空源连接件(410)，用于连接到真空源；真空软管(450)，设置在真空出口(202)和真空源之间，其中真空软管(450)沿其长度由多个支架(420)支撑，且支架(420)沿真空软管轨道(480)骑跨。

scanning system

A scanning system for scanning the writing beam and thus writing pattern to the surface of a printed circuit board, including the scanning system: Taiwan, for the installation of the printed circuit board to be processed, wherein a plurality of vacuum outlet (202) arranged on the table surface board for printed circuit board to keep working at the bottom of the table; is movably mounted in the bottom work; the vacuum source connector (410), for connection to a vacuum source; vacuum hose (450), set in a vacuum outlet (202) between the source and the vacuum, the vacuum hose (450) along its length by a plurality of brackets (420) support and support (420) along the track of the vacuum hose (480) riding.

【技术实现步骤摘要】
扫描系统
本技术是关于用于扫描平面的方法，例如，用于以扫描激光光束写在平面上。特别地，揭示一种用于将图案直接写在印刷电路板上的系统。
技术介绍
大部份印刷电路板是通过首先以光阻材料涂覆印刷电路板基底而制造，基底具有固体铜镀层。当选择性曝光及显影时，部份光阻移除，剩余光阻形成对应于照射的光亮及黑暗区域的图案。在显影地光阻图案形成以后，铜镀层典型上接受蚀刻步骤，其中移除未由光阻涂覆的铜镀层部份。基本上，使用二个选择性曝光光阻方法的一。一方法利用诸如薄膜的主材(master)，其上形成所需要的图案(或其反相)。光阻涂层经由此薄膜暴露于强的照射。然后曝光的板显影及蚀刻，如上述。就小物件尺寸的高精密图案而言，此方法具有很多显著的缺点。第一，薄膜可能伸展或扭曲。此伸展有时候造成图案尺寸及位置之间的显著变化，图案是形成于多层或双侧板的不同层上。第二，薄膜的磨损及撕裂需要经常换薄膜。第三，布置图的任何改变需要一组新的薄膜，而通常需要若干组新的薄膜。最后，难以补偿在板处理期间所发生的尺寸的小变化。第二种方法，其为本技术的主题，利用扫描激光光束扫描光阻涂层，以将图案写于其上。此方法以直接写入方法为人所知。原则上，直接写入克服已有技术的很多缺点。实用上，传统直接写入方法经常具有它们本身的问题。特别地，传统直接写入系统大体上比薄膜曝光方法慢很多，且需要高很多的经费。虽然，原则上，直接写入的精确度及解析度高，但很多实际上的考虑，诸如快速传送高能量辐射以使光阻曝光的能力，已限制传统直接写入方法所产生的板的产出率及实际精确度与精密度。以多个光束扫描印刷电路板以增加直接写入系统的扫描速度在此技术中是属公知。通常，此多光束扫描使用于很多领域，诸如用于印刷电路工业的标线制备及电子照相印刷机器。然而，在此应用中，功率需求低，且所扫描物件尺寸通常较小。美国专利5,635,976号描述一系统，用于产生标线的改进的特性定义。在此系统中，使用解析度至少为物件像素解析度四倍高的光束扫描标线。揭示单一激光扫描线或多重扫描线。美国专利5,495,279号描述一系统，用于很大装置的图案的曝光。在此装置中，使用椭圆形激光光束。光束分成至少100平行段，每一段可独立编址(addressable)，使得100像素线可写在一起。直接写入系统的又一需求为系统精确地知道光束在任何时间位在写入平面上的何处。做此决定之一方式为以测试光束校准写入光束。在写入光束入射印刷电路板平面以前，测试光束与写入光束分离。一刻度计选择性反射一部份测试光束。接着，检测到反射光束，所检测到的信号作为数据时钟的基准。然而，为了易于校准及特别用于校准光束的分离，光束波长不同。不幸地，波长不同的光束受光学器材的影响不同，且未能良好地追踪。此外，只有一部份相关的路径为二个光束所横越，且典型上用于此扫描器的之f-θ透镜未由二个光束完全横越。此系统的一为德国Jena，GmbH的激光影像系统，LISDirectPrint40。直接写入系统通常操作于不同厚度的印刷电路板。虽然光的光学聚焦广为人知，由于光学器材的复杂性，其未用于直接写入系统。所以，已有技术系统使用一高度可以变化的台。就不同高度的板而言，台的高度调整为，使得板的平面聚焦于一预定焦平面。然而，特别就大的板而言，此台机械结构复杂，特别是如果必须做诸如板相对于台的角度的其他机械调整而言尤然。光栅化激光扫描系统典型上受苦于用来扫描光束的多边形所造成的不精确度。颤动造成在写入激光光束于交叉扫描方向时的随机误差。扫描器光学器材的缺陷造成其他而通常是系统性的误差。通常，将光阻的光学曝光(及随后的蚀刻图案)精密地定位于板上是重要的。虽然对于复合板的单侧内层(其用于形成在已层化的板上的外层)及双侧板(其中钻孔以连接在板内或在板或层的对立侧上的特性)而言，此并非很重要，但图案的精确定位是不可避免的。此可通过使扫描数据参考预定特性而达成，例如，就内层而言，参考出现在板二侧上的特性。此通常使用的特性的一是一钻孔。大体上，一未写入的板具有一或更多存在于板上的钻孔，该孔配合扫描器上的销。就双侧内层而言，扫描于是参考板二侧的孔。然而，此一系统未能完全令人满意。比起所需要的印刷电路元件解析度，销对准所可能达成的精确度较有限。尝试减少孔对销的公差会导致孔的损坏及随的而来的不良对准。
技术实现思路
在一方面，本技术公开了一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括：台，用于安装要被处理的印刷电路板；光学器材，用于将写入光束引导到印刷电路板表面上；工作底部，用于支撑所述光学器材和台，且其中所述光学器材包括可变光束衰减器，其定位在扫描系统的写入光束的光束路径中，该可变光束衰减器包括：电机，固定在可变光束衰减器的基座上；轴，连接到电机，且被配置为由电机沿顺时针或逆时针方向旋转；以及衰减器单元，固定到所述轴且配置为基于写入光束入射到衰减器单元的倾角来调整写入光束的功率。优选地，衰减器单元随着所述轴的旋转而一起旋转，且所述倾角基于衰减器单元的旋转而被控制，所述轴沿垂直于写入光束的方向延伸。优选地，所述衰减器单元包括：玻璃；以及设置在玻璃上的滤光器。优选地，所述滤光器为平行偏振边缘滤光器，且对于所述倾角敏感；以及传输穿过衰减器单元的写入光束的功率随着所述倾角从0度到90度增大而增大。优选地，所述玻璃由合成石英片形成；以及所述片的厚度在1mm以内。优选地，所述可变光束衰减器还包括：散热器，设置在基座上且配置为接收由衰减器单元反射的写入光束的部分；以及冷却系统，连接到散热器且配置为消散由散热器吸收的热量。优选地，所述散热器为UV吸收涂层；且所述涂层由黑陶瓷形成。优选地，所述可变光束衰减器还包括位置开关，其连接到所述轴且被配置用于设置衰减器单元的角度位置。优选地，所述位置开关还包括：板，被构图有限定预定角度的开口；以及光学传感器，被对应于所述板提供，且配置为检测光学传感器的视线是被阻挡还是透过所述板，以确定是否已经抵达预定角度中的一个。另一方面，本技术提供了一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括罩盖、底部、过滤器风扇单元，以及位于底部上且被罩在罩盖之下的光学器材，其中所述过滤器风扇单元包括：输入过滤器，用于从外部接收空气；输出过滤器，用于提供预清洁空气的空气流在扫描器系统的罩盖下方和底部上方；以及风扇，布置在输入过滤器和输出过滤器之间，且风扇穿过输入过滤器朝向输出过滤器抽吸空气流，以便于在罩盖下方和底部上方产生清洁空气的正压力。优选地，所述输入过滤器为挥发性有机化合物过滤器。优选地，所述输出过滤器为高效颗粒空气过滤器。优选地，所述输入过滤器、风扇和输出过滤器被包封在盒中，以形成单元。优选地，所述输入过滤器是可移除的，以便更换。另一方面，本技术提供了一种用于扫描系统的过滤器风扇单元，所述扫描系统用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括罩盖、底部、过滤器风扇单元，以及位于底部上且被罩在罩盖之下的光学器材，其中所述过滤器风扇单元包括：挥发性有机化合物过滤器，用于从外部接收空气；高效颗粒空气过滤器，用于提供预清洁空气的空气流在扫描器系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括:台，用于安装要被处理的印刷电路板，其中多个真空出口(202)设置在台上，用于保持印刷电路板的面板；工作底部，其中台被可运动地安装在工作底部上；真空源连接件，用于连接到真空源(410)；真空软管(450)，设置在真空出口(202)和真空源(410)之间，其中真空软管(450)沿其长度由多个支架(420)支撑，且支架(420)沿真空软管轨道(480)骑跨。

【技术特征摘要】
1.一种扫描系统，用于扫描写入光束且由此写入图案到印刷电路板表面上，其特征在于，该扫描系统包括:台，用于安装要被处理的印刷电路板，其中多个真空出口(202)设置在台上，用于保持印刷电路板的面板；工作底部，其中台被可运动地安装在工作底部上；真空源连接件，用于连接到真空源(410)；真空软管(450)，设置在真空出口(202)和真空源(410)之间，其中真空软管(450)沿其长度由多个支架(420)支撑，且支架(420)沿真空软管轨道(480)骑跨。2.如权利要求1所述的扫描系统，其特征在于，真空软管(450)由柔性材料形成，且为手风琴的形式，使得它可以延伸和收缩而不会在软管的材料上产生应力。3.如权利要求1或2所述的扫描系统，其特征在于，所述支架(420)支撑软管，使其不会在软管内部的真空作用下径向坍塌。4.如权利要求3所述的扫描系统，其特征在于，所述扫描系统还包括位于软管内部的环，进一步支撑软管，使其不会在软管内部的真空作用下径向坍塌。5.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：U巴蒂格，
申请(专利权)人：激光影像系统有限责任公司，
类型：新型
国别省市：德国,DE