借助于真空固定物体的设备制造技术

本发明专利技术涉及借助于真空固定物体的设备。本发明专利技术的目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积，从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过借助于真空固定物体的设备实现该目的，在于除了第一真空室(11)之外，在台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，第三真空室(13)将第一真空室(11)和第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，且能够借助于行切换设备(2)相对于第一真空室(11)顺次地释放或关闭，第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，且能够借助于列切换设备(4)相对于第一真空室(11)顺次释放或关闭，且能够借助于行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与第二真空室(12)相对应的行形成沟槽(15)的数目和位置在y方向上顺次释放或关闭第三真空室(13)。

Equipment for fixing objects by means of vacuum

The present invention relates to a device for fixing objects by means of vacuum. The object of the present invention is to enable the effective surface area of the vacuum table to be changed in a fine increment so as to reliably capture objects of different sizes in the bottom area. The purpose is achieved by means of a vacuum fixing device. In addition to the first vacuum chamber (11), a second vacuum chamber (12) and a third vacuum chamber (13) are arranged on the platform (1). The third vacuum chamber (13) extends the first vacuum chamber (11) and the second vacuum chamber (12) to the whole extension length in the X direction, in which the second vacuum chamber (12) is arranged on the platform (1). The structure comprises a plurality of parallel rows extending in the X direction forming grooves (15), rows forming grooves (15) connected with each other in the Y direction through the first connecting channel (22), and can be released or closed sequentially relative to the first vacuum chamber (11) by means of the row switching device (2), while the third vacuum chamber (13) includes a groove extending in the Y direction. A plurality of parallel columns form a structure consisting of grooves (16), which are connected to each other in the x-direction through the second connecting channel (42), and can be released or closed sequentially relative to the first vacuum chamber (11) by means of column switching devices (4), and can be subdivided simultaneously by means of row switching devices (2) and according to the second vacuum. The number and position of the corresponding row forming grooves (15) of the chamber (12) release or close the third vacuum chamber (13) sequentially in the Y direction.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】借助于真空固定物体的设备
本专利技术涉及一种借助于真空固定物体的设备。
技术介绍
在一些情况下，只有通过使用真空台，才使机器加工、完成或检查特别是非常精密的物体成为可能。特别地，在诸如例如印刷电路板、平面屏幕基板、半导体晶片或印刷材料的非常薄且平坦的物体的情况下，使用其它主要是局部动作的夹紧设备来进行牢固而无损的固定是几乎不可能的。固定在真空台上对于敏感物体来说是一种非常温和的方法，因为固定所需的力能够被分配在大的表面上，并且均匀分配在物体的底部区域上。此外，与其它夹紧手段相比，借助于真空固定是一种非常快速且容易的操作。为了形成真空以将物体牢固固定在真空台上，首先需要物体的底部区域终止于相对靠近真空台的表面处。这防止真空抽吸吸入大量环境空气，吸入大量环境空气将不允许产生负压用于真空。此外，特别是对于非常薄的物体，需要一直进行固定到物体的底部区域的边缘。为此，真空台的有效表面积通常根据物体的底部区域来定尺寸，从而真空台总是覆盖直到边缘的整个底部区域。在这种情况下，对于具有不同底部区域的不同尺寸的物体，将需要为每一个物体准备有一个适配的真空台。这是昂贵且不切实际的。使用通用真空台更有意义。通用真空台被定尺寸使得：如果可能的话，所有不同的物体都能够被固定在其上。如果物体小于真空台的有效表面积，则没有被物体覆盖的任何表面都必须被密封以维持真空。该问题的解决方案已经从现有技术获知。已公布的专利申请JPH04-159043A中公开了一种用于旋转对称底部区域的解决方案。它描述了一种圆形真空台，该真空台大致由具有台顶的台组成，台顶和台彼此同轴地上下叠置。在台的一个端面中，台包括径向延伸的真空室，该真空室从台的中央线性延伸到边缘区域。在台的中间，真空室比边缘区域中宽得多。真空室具有到真空抽取装置的连接，并被台顶覆盖。优选具有圆形底部区域的物体被居中放置在台顶上，并借助于真空固定。为此，台顶的表面设有多个同心环形沟槽。这些环形沟槽每一个都具有通道孔，这些通道孔通向台顶的下侧，并沿着径向延伸的直线布置。台顶能够相对于台绕公共旋转轴线旋转，其中通道孔相对于真空室移动。取决于通道孔相对于真空室的位置，可行的是：从最外的通道孔开始，将单独通道孔放置在真空室的区域的外侧，使得位于真空室的外侧的通道孔被台关闭。从外侧开始，单独环形沟槽能够因此一个接一个地与真空源分离。真空台的有效表面积能够因此环形地调节到不同直径的物体，所述直径的调节增量取决于被形成在台顶中的环形沟槽的数目。然而，应用这种解决方案仅对具有旋转对称或等边底部区域的物体有意义。这种解决方案不适合于具有不相等的纵横比的矩形底部区域。已公布的专利申请DE3710404A1公开了一种用于吸引平坦的矩形物体的真空台，这些物体以不同大小的特定格式存在。为了将不同的物体格式一直固定到它们的边缘区域，真空台的有效表面区域被划分成多个矩形区，这些矩形区能够单独连接到真空。为了形成这些区，真空台包括台。在台中形成彼此单侧分开的真空室，以便与所述区相对应。台的真空室被台顶覆盖，该台顶以网格状方式被穿孔。平坦物体能够被放置在台顶上并通过真空固定。第一真空室对应于最小可能物体格式的底部区域。在第一真空室的两侧上，布置相应的另一真空室，根据与下一个更大的物体格式的大小差异而对该另一真空室定尺寸。另外的真空室扩大了真空台的有效表面积。直到达到最大物体格式，在台中为每一个更大的物体格式形成与所述另外的真空室相邻的仍另外的真空室。为了给每一个真空室单独供应真空，真空室每一个都被连接到开关阀，借助于控制设备切换该开关阀。由于真空室的限定尺寸，这种解决方案相对不灵活，因为与物体格式的预期增量不对应的物体不能在边缘区域中被牢固地固定。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积，从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过一种借助于真空固定物体的设备来实现该目的，所述设备包括台，所述台在x和y方向上延伸且包括多个真空室，所述多个真空室在z方向上形成在所述台中，以便均匀地分配被连接到所述台的真空，并且所述设备包括台顶，所述台顶被布置成覆盖所述台和所述真空室，并且所述台顶具有以网格状方式布置的多个穿孔，其中第一真空室被布置在所述台顶的正下方，所述第一真空室限定所述台的在x和y方向上的有效表面积的最小格式，并且所述第一真空室接触所述台的两个相邻的侧表面并永久地连接到真空抽取装置，所述真空抽取装置被连接到所述台，并且其中使得所述有效表面积能够延伸超过所述最小格式的另外的真空室被布置成接触所述第一真空室的至少一侧和/或所述另外的真空室的侧中的至少一个，并且所有另外的真空室都具有到所述真空抽取装置的可切换连接，本专利技术的目的被实现的特征在于：除了所述第一真空室之外，在所述台上布置有第二真空室和第三真空室，所述第二真空室将所述第一真空室延伸到在y方向上的整个延伸长度，所述第三真空室将所述第一真空室和所述第二真空室延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中所述第二真空室包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽组成的结构，所述行形成沟槽通过第一连接通道在y方向上彼此连接，并且能够借助于行切换设备相对于所述第一真空室顺次地释放或关闭所述行形成沟槽，所述第三真空室包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽组成的结构，所述列形成沟槽经由第二连接通道在x方向上彼此连接，并且能够借助于列切换设备相对于所述第一真空室顺次释放或关闭所述列形成沟槽，并且能够借助于所述行切换设备以同时分段的方式并根据与所述第二真空室相对应的所述行形成沟槽的数目和位置而在y方向上顺次释放或关闭所述第三真空室，以便实现所述台的所述有效表面积的在x和/或y方向上的逐列和逐行的大小调整。附图说明下面将参照示范实施例更详细地解释本专利技术。在附图中：图1示出借助于真空固定物体的设备的基本设计的透视图；图2以俯视图示出台的另一个示范实施例，具有真空室的指示轮廓；图3a示出在列切换设备的完全关闭状态下的分配器壳体的基本设计；图3b示出在列切换设备的完全打开状态下的分配器壳体的基本设计；图4以俯视图示出台的另一示范实施例，具有比最小格式大的有效表面积大，并且图5以台的部分剖视图示出具有线性驱动器和挡板的行切换设备的基本设计。具体实施方式借助于真空固定物体的设备基本上如图1中所示设计。它包括在x和y方向上延伸的台1，其中在台1中在z方向上形成真空室11、12、13，用于连接到台1的真空的平面分配。真空室11、12、13被台顶10覆盖。多个穿孔14被以网格状的方式布置在台顶10中。在台顶10的正下方，第一真空室11被布置成与台1的两个相邻侧表面接触。该第一真空室11被永久连接到真空抽取装置5，该真空抽取装置5被连接到台1。第一真空室11确定台1的有效表面积W在x和y方向上的最小格式M。第二真空室12和第三真空室13使得台1的有效表面积W能够延伸超过第一真空室11的最小格式M。第二真空室12被布置成与第一真空室11的一侧接触。第三真空室13被布置成与第一真空室11和第二真空室12中的每一个真空室的一侧接触。第二真空室12和第三真空室13每一个均包括到真空抽取装置5的可切换连接。在图1中所示的设备的一个实施例中，台顶10被示出在从台1升起的位置中，以便本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种借助于真空固定物体的设备，所述设备包括台(1)，所述台(1)在x和y方向上延伸且包括多个真空室，所述多个真空室在z方向上形成在所述台(1)中，以便均匀地分配被连接到所述台(1)的真空，并且所述设备包括台顶(10)，所述台顶(10)被布置成覆盖所述台(1)和所述真空室，并且所述台顶(10)具有以网格状方式布置的多个穿孔(14)，其中第一真空室(11)被布置在所述台顶(10)的正下方，所述第一真空室(11)限定所述台(1)的在x和y方向上的有效表面积(W)的最小格式(M)，并且所述第一真空室(11)接触所述台(1)的两个相邻的侧表面并永久地连接到真空抽取装置(5)，所述真空抽取装置(5)被连接到所述台(1)，并且其中使得所述有效表面积(W)能够延伸超过所述最小格式(M)的另外的真空室被布置成接触所述第一真空室(11)的至少一侧和/或所述另外的真空室的侧中的至少一个，并且所有另外的真空室都具有到所述真空抽取装置(5)的可切换连接，其特征在于除了所述第一真空室(11)之外，在所述台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，所述第二真空室(12)将所述第一真空室(11)延伸到在y方向上的整个延伸长度，所述第三真空室(13)将所述第一真空室(11)和所述第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中所述第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，所述行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，并且能够借助于行切换设备(2)相对于所述第一真空室(11)顺次地释放或关闭所述行形成沟槽(15)，所述第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，所述列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，并且能够借助于列切换设备(4)相对于所述第一真空室(11)顺次释放或关闭所述列形成沟槽(16)，并且能够借助于所述行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与所述第二真空室(12)相对应的所述行形成沟槽(15)的数目和位置而在y方向上顺次释放或关闭所述第三真空室(13)，以便实现所述台(1)的所述有效表面积(W)的在x和/或y方向上的逐列和逐行的大小调整。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.12 DE 102016106706.71.一种借助于真空固定物体的设备，所述设备包括台(1)，所述台(1)在x和y方向上延伸且包括多个真空室，所述多个真空室在z方向上形成在所述台(1)中，以便均匀地分配被连接到所述台(1)的真空，并且所述设备包括台顶(10)，所述台顶(10)被布置成覆盖所述台(1)和所述真空室，并且所述台顶(10)具有以网格状方式布置的多个穿孔(14)，其中第一真空室(11)被布置在所述台顶(10)的正下方，所述第一真空室(11)限定所述台(1)的在x和y方向上的有效表面积(W)的最小格式(M)，并且所述第一真空室(11)接触所述台(1)的两个相邻的侧表面并永久地连接到真空抽取装置(5)，所述真空抽取装置(5)被连接到所述台(1)，并且其中使得所述有效表面积(W)能够延伸超过所述最小格式(M)的另外的真空室被布置成接触所述第一真空室(11)的至少一侧和/或所述另外的真空室的侧中的至少一个，并且所有另外的真空室都具有到所述真空抽取装置(5)的可切换连接，其特征在于除了所述第一真空室(11)之外，在所述台(1)上布置有第二真空室(12)和第三真空室(13)，所述第二真空室(12)将所述第一真空室(11)延伸到在y方向上的整个延伸长度，所述第三真空室(13)将所述第一真空室(11)和所述第二真空室(12)延伸到在x方向上的整个延伸长度，其中所述第二真空室(12)包括由在x方向上延伸的多个平行的行形成沟槽(15)组成的结构，所述行形成沟槽(15)通过第一连接通道(22)在y方向上彼此连接，并且能够借助于行切换设备(2)相对于所述第一真空室(11)顺次地释放或关闭所述行形成沟槽(15)，所述第三真空室(13)包括由在y方向上延伸的多个平行的列形成沟槽(16)组成的结构，所述列形成沟槽(16)经由第二连接通道(42)在x方向上彼此连接，并且能够借助于列切换设备(4)相对于所述第一真空室(11)顺次释放或关闭所述列形成沟槽(16)，并且能够借助于所述行切换设备(2)以同时分段的方式并根据与所述第二真空室(12)相对应的所述行形成沟槽(15)的数目和位置而在y方向上顺次释放或关闭所述第三真空室(13)，以便实现所述台(1)的所述有效表面积(W)的在x和/或y方向上的逐列和逐行的大小调整。2.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：乌尔班·肖尔茨格拉赫，乌韦·克洛斯基，京特·弗莱明，
申请(专利权)人：激光影像系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE