下载借助于真空固定物体的设备的技术资料

文档序号:19561246

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本发明涉及借助于真空固定物体的设备。本发明的目的是使得能够以精细的增量改变真空台的有效表面积,从而能够可靠地捕获底部区域大小不同的物体。通过借助于真空固定物体的设备实现该目的,在于除了第一真空室(11)之外,在台(1)上布置有第二真空室(1...
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