蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法技术方案

本发明专利技术公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法，蒸镀系统包括：至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘，每条蒸镀线包括蒸镀腔室，蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个子蒸镀腔依次相连，蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道穿设在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间，第一传送轨道位于蒸发源组件的上方；托盘包括用于放置工件的托架，托盘可移动地设在第一传送轨道上以在蒸镀线入口和蒸镀线出口之间传送工件使蒸发源组件对工件进行蒸镀。根据本发明专利技术实施例的蒸镀系统，优化了蒸镀线的布局，简化了操作步骤，提高了空间利用率，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。

Evaporation system and evaporation method of evaporation system

The invention discloses an evaporation system and evaporation deposition method, including evaporation system: at least one plating line, the first conveyor and pallet, each line includes evaporation evaporation chamber, the evaporation chamber comprises a plurality of sub evaporation chamber, a plurality of sub evaporation cavity are sequentially connected, steaming one end of the chamber is formed with plating plating line entrance, while the other end forms a plating line outlet, sub evaporation chamber is provided with evaporation source components; the first transmission rail wear is arranged between the evaporation line entrance and evaporation line export, transfer rail is located above the first evaporation source component; tray includes a means for bracket workpieces. The tray is movably arranged on a first transmission track between plating line entrance and steaming in evaporation line outlet transfer the workpiece so that the evaporation source component of workpiece evaporation. According to the evaporation system of the embodiment of the invention, the layout of the evaporation line is optimized, the operation steps are simplified, the space utilization rate is improved, and the overall occupation space and cost of the evaporation system are reduced.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其是涉及一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法。
技术介绍
相关技术中，蒸镀系统的子蒸镀腔位于传送装置的两侧，并通过机械手做旋转运动在子蒸镀腔之间、子蒸镀腔与传送腔室之间传递工件，整个蒸镀系统中的机械手数量多，占用空间大且操作复杂，同时蒸镀系统的空间利用率不高，空间浪费现象严重、布局不合理。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种蒸镀系统，所述蒸镀系统的布局合理、操作简单。本专利技术的另一个目的在于提出了一种蒸镀系统的蒸镀方法。根据本专利技术第一方面实施例的蒸镀系统，包括：至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀系统，其特征在于，包括：至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀系统，其特征在于，包括：至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。2.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，还包括：第二传送轨道，所述第二传送轨道设在所述蒸镀腔室外，所述第二传送轨道与所述第一传送轨道围成环形轨道以使所述托盘在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间循环移动。3.根据权利要求2所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线为多条，所述第二传送轨道连接在相邻的两条所述蒸镀线之间，所述第二传送轨道的一端与相邻的两条所述蒸镀线中的其中一条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口相连、另一端与相邻的两条所述蒸镀线中的另一条所述蒸镀线的所述蒸镀线入口相连以在多条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。4.根据权利要求1所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线还包括：入口过渡腔，所述入口过渡腔位于所述蒸镀线入口的上游，所述入口过渡腔和所述蒸镀线入口之间设有至少一个第一对位机构，所述第一对位机构被构造成对所述工件进行预对位。5.根据权利要求4所述的蒸镀系统，其特征在于，所述蒸镀线还包括：掩膜板，所述掩膜板设在所述工件和所述蒸发源组件之间；至少一个所述子蒸镀腔内设有第二对位机构，所述第二对位机构被构造成对所述工件进行对位以使所述工件的待蒸镀区对准所述掩膜板的图案。6.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹志中，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11