下载蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法的技术资料

文档序号:16396364

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本发明公开了一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法,蒸镀系统包括:至少一条蒸镀线、第一传送轨道和托盘,每条蒸镀线包括蒸镀腔室,蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔,多个子蒸镀腔依次相连,蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口,子蒸镀腔内设有蒸...
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