主动消磁系统技术方案

本发明专利技术的目的在于，提供一种能抑制未配置有作为磁场检测单元的磁传感器的位置处的磁场变动的主动消磁系统。主动消磁系统(1)具备：磁场形成单元，包含配置为隔着磁场控制空间(S)对置的一对X轴环形线圈(2)以及X轴电流供给装置(3)；一个作为磁场检测单元的磁传感器(8)，配置于一对X轴环形线圈(2)之间，并对磁场控制空间(S)的磁场进行检测；以及控制器(9)，作为对X轴电流供给装置(3)进行控制的控制单元，控制器(9)以使作为流过一对X轴环形线圈(2)中的一方的X轴环形线圈(2a)的电流大小与流过另一方的X轴环形线圈(2b)的电流大小的比率的电流比率(κx)恒定，并消除由磁传感器(8)检测出的磁场变动的方式，对其电流大小进行控制。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】主动消磁系统
本专利技术涉及一种主动消磁系统。详细而言，涉及一种会减轻由外部的磁场发生源产生的磁场变动的主动消磁系统。
技术介绍
以往，电子显微镜、电子束曝光装置等容易受到电磁噪声的影响的电子应用设备被设置于基于抑制由干扰引起的磁场变动的主动消磁系统的磁场控制空间内。主动消磁系统以隔着磁场控制空间的方式配置有环形线圈，并根据由干扰引起的磁场控制空间的磁场变动，来控制流过对置的环形线圈的电流。在这种主动消磁系统中，已知有如下的主动消磁系统：在每个环形线圈中设置对磁场进行检测的磁场检测单元(磁传感器)，并独立地控制各环形线圈。例如，专利文献1中所述的主动消磁系统。专利文献1中所述的主动消磁系统，基于与各环形线圈对应的磁传感器所检测出的磁场，对流过每个环形线圈的电流大小进行控制，以消除由干扰引起的磁场变动。由此，不管作为干扰的磁场发生源的大小、距磁传感器的距离如何，均能抑制磁场变动。但是，专利文献中所述的技术为：对配置有磁传感器的检测位置处的磁场变动进行抑制。因此，在想要抑制磁场变动的位置处无法配置磁传感器的情况下，可能会无法根据磁场发生源的位置、大小，充分地抑制想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场变动。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003－332781号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题本专利技术是鉴于如上情况完成的，其目的在于，提供一种能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动的主动消磁系统。用于解决问题的方案即，对于本专利技术而言，主动消磁系统具备：磁场形成单元，包含配置为隔着磁场控制空间对置的一对环形线圈、以及分别将电流供给至一对环形线圈的电流供给装置；一个磁场检测单元，配置于一对环形线圈之间，并对磁场控制空间的磁场进行检测；以及控制单元，基于来自磁场检测单元的信号对电流供给装置进行控制，控制单元以使流过一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流大小与流过另一方的环形线圈的电流大小的比率恒定，并消除由磁场检测单元检测的磁场变动的方式，对其电流大小进行控制。对于本专利技术而言，构成为：能对流过所述一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流与流过另一方的环形线圈的电流的比率进行变更，并对由从一方的环形线圈产生的磁场分布与从另一方的环形线圈产生的磁场分布确定的磁场控制空间的磁场分布进行调整。对于本专利技术而言，构成为：能基于来自所述磁场控制空间外的规定位置处的磁场发生源的磁场即检测单元的设置位置处的磁场与来自所述磁场发生源的磁场即想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场的比率，对流过所述一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流与流过另一方的环形线圈的电流的比率进行变更，并能对由从一方的环形线圈产生的磁场分布与从另一方的环形线圈产生的磁场分布确定的磁场控制空间的磁场分布进行调整。对于本专利技术而言，具备多个所述磁场形成单元，并配置为各磁场形成单元的中心轴相互正交。对于本专利技术而言，构成为：所述一对环形线圈的间隔能变更。对于本专利技术而言，主动消磁系统具备：磁场形成单元，包含配置为隔着磁场控制空间对置的一对环形线圈、以及分别将电流供给至一对环形线圈的电流供给装置；一个磁场检测单元，配置于一对环形线圈之间，对磁场控制空间的磁场进行检测；以及控制单元，基于来自磁场检测单元的信号对电流供给装置进行控制，基于位于磁场控制空间外的磁场发生源的磁场与来自磁场发生源的想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场的比率，对一对环形线圈中的一方的环形线圈的匝数与另一方的环形线圈的匝数的比率进行变更，并对由从一方的环形线圈产生的磁场分布与从另一方的环形线圈产生的磁场分布确定的磁场控制空间的磁场分布进行调整，控制单元对流过一对环形线圈的电流大小进行控制，以消除由磁场检测单元检测的磁场变动。专利技术效果作为本专利技术的效果，实现了以下所示的效果。即，根据本专利技术，基于流过各环形线圈的电流比率和由磁场检测单元检测出的磁场，调整磁场控制空间内的任意位置处的磁场分布。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。根据本专利技术，根据流过环形线圈的电流的比率调整磁场控制空间的磁场分布及其大小。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。根据本专利技术，以由磁场检测单元检测出的磁场为基准，并通过流过环形线圈的电流比率调整想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场分布及其大小。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。根据本专利技术，在磁场控制空间中，能被消除的磁场变动的空间被扩大。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。根据本专利技术，在磁场控制空间中，能调整磁场分布。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。即，根据本专利技术，以由磁场检测单元检测出的磁场为基准，并通过环形线圈的匝数调整想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场分布及其大小。由此，能抑制未配置有磁场检测单元的位置处的磁场变动。附图说明图1是表示本专利技术的主动消磁系统的构成的立体图。图2是表示本专利技术的主动消磁系统的X轴方向的磁场形成单元的构成的立体图。图3是表示本专利技术的主动消磁系统的控制构成的图。图4是示出表示本专利技术的主动消磁系统中的电流控制的流程图的图。具体实施方式以下，使用图1对作为本专利技术的主动消磁系统的第一实施方式的主动消磁系统1进行说明。在本实施方式中，主动消磁系统1对来自作为磁场控制空间S的X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向的干扰的磁场发生源Pd的磁场的影响进行抑制。需要说明的是，在本实施方式中，由于对来自作为X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向的干扰的磁场发生源Pd的磁场的影响进行抑制的构成相同，因此，以X轴方向的构成为中心进行说明。如图1所示，主动消磁系统1在磁场控制空间S产生磁场，并对想要抑制磁场变动的目标位置Pt(以下，仅记为“目标位置Pt”)处的来自磁场发生源Pd的磁场进行消除。主动消磁系统1具备：作为磁场形成单元的一对X轴环形线圈2和X轴电流供给装置3、一对Y轴环形线圈4和Y轴电流供给装置5以及一对Z轴环形线圈6和Z轴电流供给装置7、作为磁场检测单元的磁传感器8以及作为控制单元的控制器9。主动消磁系统1配置于作为应该对来自作为干扰的磁场发生源Pd的磁场的影响进行抑制的空间的磁场控制空间S。构成磁场形成单元的一对X轴环形线圈2、一对Y轴环形线圈4以及一对Z轴环形线圈6产生磁场。构成一对X轴环形线圈2的一方的X轴环形线圈2a和另一方的X轴环形线圈2b形成为匝数以及卷径相同。这时，一对X轴环形线圈2以使彼此的中心轴一致而隔着磁场控制空间S被配置。一对Y轴环形线圈4以及一对Z轴环形线圈6也为同样的构成。需要说明的是，在本实施方式中，一对X轴环形线圈2、Y轴环形线圈4、以及Z轴环形线圈6分别配置为各环形线圈的中心轴一致，但并不限定于此，中心轴也可以不一致。一对X轴环形线圈2配置为其中心轴沿着磁场控制空间S的X轴方向。一对Y轴环形线圈4配置为其中心轴沿着磁场控制空间S的Y轴方向。一对Z轴环形线圈6配置为其中心轴沿着磁场控制空间S的Z轴方向。就是说，磁场控制空间S由一对X轴环形线圈2、一对Y轴环形线圈4以及一对Z轴环形线圈6确定其范围。构成磁场形成单元的X轴电流供给装置3、Y轴电流供给装置5以及Z轴电流供给装置7，将电流供给至所对应的一对X轴环形线圈2、一对Y轴环形线圈4以及一对Z轴环形线圈6。在X轴电流供给装置3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动消磁系统，具备：磁场形成单元，包含配置为隔着磁场控制空间对置的一对环形线圈、以及分别将电流供给至一对环形线圈的电流供给装置；一个磁场检测单元，配置于一对环形线圈之间，对磁场控制空间的磁场进行检测；以及控制单元，基于来自磁场检测单元的信号对电流供给装置进行控制，控制单元以使流过一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流大小与流过另一方的环形线圈的电流大小的比率恒定，并消除由磁场检测单元检测出的磁场变动的方式，对其电流大小进行控制。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种主动消磁系统，具备：磁场形成单元，包含配置为隔着磁场控制空间对置的一对环形线圈、以及分别将电流供给至一对环形线圈的电流供给装置；一个磁场检测单元，配置于一对环形线圈之间，对磁场控制空间的磁场进行检测；以及控制单元，基于来自磁场检测单元的信号对电流供给装置进行控制，控制单元以使流过一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流大小与流过另一方的环形线圈的电流大小的比率恒定，并消除由磁场检测单元检测出的磁场变动的方式，对其电流大小进行控制。2.根据权利要求1所述的主动消磁系统，构成为：能对流过所述一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流与流过另一方的环形线圈的电流的比率进行变更，并对由从一方的环形线圈产生的磁场分布与从另一方的环形线圈产生的磁场分布确定的磁场控制空间的磁场分布进行调整。3.根据权利要求1或2所述的主动消磁系统，构成为：能基于来自所述磁场控制空间外的规定位置处的磁场发生源的磁场即检测单元的设置位置处的磁场与来自所述磁场发生源的磁场即想要抑制磁场变动的目标位置处的磁场的比率，对流过所述一对环形线圈中的一方的环形线圈的电流与流过另一方的环形线圈的电流的比率...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾荣荣，
申请(专利权)人：特许机器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP