一种双面直写式曝光机系统技术方案

本实用新型专利技术涉及激光曝光技术，具体涉及一种双面直写式曝光机系统。现有技术中，激光直写曝光机通过一个扫描轴进行逐行扫描，同时有一个步进平台与之配合，这种方式的工作效率有待提升。本实用新型专利技术将多组光学系统以及光源系统并列固定悬挂在龙门结构上，并且光学系统覆盖了扫描平台上下两边的宽度方向，当龙门结构上这些光学系统同时工作时，扫描平台只需在龙门结构下做一次轴向的扫描动作，即可完成上下两面全部的扫描曝光任务。极大的提升了曝光的工作效率，简化了设备的结构。另外，本实用新型专利技术还在光学系统的DMD下安装了一个分光系统，成倍地提高了单个数字微镜装置(DMD)所覆盖的面积。同等条件下，DMD投入量减半，大幅降低了设备成本。

【技术实现步骤摘要】
一种双面直写式曝光机系统
本技术涉及激光曝光技术，具体涉及一种双面直写式曝光机系统。
技术介绍
数字微镜装置(DigitalMicromirrorDevice，简称(DMD)是用数字电压信号控制微镜片执行机械运动来实现光学功能的装置。这些微镜皆悬浮着，并可向两侧倾斜10-12°左右，从而可构成打开和关闭两种工作状态。为了获得不同的亮度，微镜启通和断开的速率还可以改变，工作时得用成千上万个微镜器件。在半导体以及PCB制造的激光直写光刻领域，采用激光直接影像技术的扫描曝光原理如下：采用DMD的微镜片高速翻转能力，结合适当的光源和投影光学系统，当微镜片为ON时，出射光会投射到基底，当微镜片为OFF时，出射光将射出光路，在基底没有出射光。通过连续向DMD投射均匀光，同时实时、集体改变微镜片阵列的开关状态，达到在基板上曝光不同图案的目的。目前，激光直写曝光机扫描曝光过程为：控制平台的扫描轴匀速移动，平台移动的同时向数据处理模块反馈位置信号，数据处理模块根据平台反馈的位置信号，生成该位置的图像投射在DMD上，DMD图像反射光束到基板完成该位置的曝光工作；这种方式中，一次扫描可以形成一个条状扫描带本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双面直写式曝光机系统，包括光学系统(100)、平台系统(200)、光源系统(300)、通讯模块(400)、计算机(500)、数据处理模块(600)以及基座(800)；平台系统(200)安装在基座(800)上，平台系统(200)分为龙门结构(210)和扫描平台(220)，扫描平台(220)的位置处于龙门结构(210)之间，并可在龙门结构(210)间做往复的轴向扫描动作；所述的计算机(500)与平台系统(200)、通讯模块(400)、数据处理模块(600)分别相连接；所述的光源系统(300)由光源控制模块(310)和光源(320)组成，所述的光源控制模块(310)与通讯模块(400)相连接；所...

【技术特征摘要】
1.一种双面直写式曝光机系统，包括光学系统(100)、平台系统(200)、光源系统(300)、通讯模块(400)、计算机(500)、数据处理模块(600)以及基座(800)；平台系统(200)安装在基座(800)上，平台系统(200)分为龙门结构(210)和扫描平台(220)，扫描平台(220)的位置处于龙门结构(210)之间，并可在龙门结构(210)间做往复的轴向扫描动作；所述的计算机(500)与平台系统(200)、通讯模块(400)、数据处理模块(600)分别相连接；所述的光源系统(300)由光源控制模块(310)和光源(320)组成，所述的光源控制模块(310)与通讯模块(400)相连接；所述的光学系统(100)与通讯模块(400)相连接；所述的光学系统(100)以及光源系统(300)均悬挂在龙门结构(210)上；所述的光学系统(100)由数字微镜装置(110)、一级成像系统(120)组成；其特征在于：有多组光学系统(100)以及光源系统(300)并列固定悬挂在龙门结构(210)上，并且光学系统(100)覆盖了扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞庆平，
申请(专利权)人：俞庆平，
类型：新型
国别省市：安徽,34