一种激光干涉光刻光学系统技术方案

一种激光干涉光刻光学系统涉及激光干涉光刻加工技术领域，解决了现有技术中光学平台搭建复杂，易受到外界干扰，灵活度不高的问题。该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，每个出口外设置一个偏振镜；本实用新型专利技术激光束经分光镜分光后，再经全反射镜反射并耦合进入光学铰链，经光学铰链末端输出。该技术减小了设备的面积，减少能量的损耗，避免对繁杂光路的调整和潜在的外界干扰，方便非专业人员进行激光干涉加工操作。

【技术实现步骤摘要】
一种激光干涉光刻光学系统
本技术涉及激光干涉光刻加工
，涉及的是一种激光干涉光刻光学系统。
技术介绍
激光干涉光刻技术是一种利用双光束或多光束激光干涉曝光或直写产生周期性图案的微纳阵列结构的重要技术，主要应用于加工亚波长的条纹、点阵、孔阵和梯度渐变结构等有序和准有序阵列结构的制备。该项技术具有低成本、大面积、高效率和可实现曲面加工等特点，而且这些结构还表现出了特殊的功能，如减反射、表面自清洁、全反射、负折射、防伪等，引起国内外科学工作者的极大关注。现有的激光干涉光刻系统大多数采用光学镜组在光学平台上进行搭建，干涉光线的入射面可以围绕入射光线的主光轴，进行任意角度的调节。该系统大大增加了干涉光束入射面之间角度的调节范围，能满足干涉图样的多样性。但是均存在光路搭建繁杂、易受外界干扰等不足。然而激光光纤分束曝光不太适合于大面积曝光和应用于高功率激光。目前，激光干涉光刻系统均有各自的优点和不足，不能兼顾灵活性、大面积、短脉冲和高功率等特点。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供了一种激光干涉光刻光学系统，该系统解决了现有技术中光学平台搭建复杂，易受到外界干扰，灵活度不高的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光干涉光刻光学系统，其特征在于，该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；所述柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；所述每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，所述每个出口外设置一个偏振镜；光源发出光线，经过分光镜分光后，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内，或者经过另一个分光镜分光，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内；每束光线对应一个柔性光学铰链...

【技术特征摘要】
1.一种激光干涉光刻光学系统，其特征在于，该系统包括：至少一个分光镜、至少一个反射镜A、多个反射镜B、至少两个柔性光学铰链、至少两个半波片和至少两个偏光镜；所述柔性光学铰链由导光管和关节组成，每两个导光管通过一个关节连接；每个关节内部设置一个反射镜B；所述每个柔性光学铰链的出口内设置一个半波片，所述每个出口外设置一个偏振镜；光源发出光线，经过分光镜分光后，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内，或者经过另一个分光镜分光，一部分光线反射进入柔性光学铰链内；一部分光线透射，通过至少一个反射镜A反射后进入柔性光学铰链内；每束光线对应一个柔性光学铰链；进入柔性光学铰链的光束经过设置在关节上的反射镜B的多次反射，通过半波片和偏振镜，得到的多束偏振光在样品表面或内部汇聚发生干涉，形成干涉图案。2.根据权利要求1所述的一种激光干涉光刻光学系统，其特征在于，所述柔性光学铰链、半波片和偏光镜的个数一致；柔性光...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁占坤，王朝阳，曹亮，王璐，董莉彤，王作斌，宋正勋，许红梅，刘兰娇，李理，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22