一种超高温电炉制造技术
Ultra high temperature electric furnace
The utility model discloses an ultrahigh temperature electric furnace, wherein, the hearth material of the high temperature electric furnace is a zirconium oxide fiber board, and is made of zirconium oxide fiber through vacuum absorption and filtration molding. The top of the furnace is tiled by a plurality of zirconia fiber plates, and then the alumina fiber board is coated with aluminum silicate fiber. Because the heat conductivity of the zirconia fiber board is low and the melting point is high, the high-temperature electric furnace can withstand high temperature to 1800 DEG for a long time, and the heat preservation effect is good. At the same time, the tile structure is used to replace the traditional vault structure. The structure is simple, and the material is easy to change without reducing the strength of the structure.
【技术实现步骤摘要】
一种超高温电炉
本技术属于电炉炉膛设计领域，尤其涉及一种LGYL1800型超高温电炉的炉膛结构设计。
技术介绍
近年来随着集成电路、铁电薄膜、超导薄膜和红外技术的迅速发展，对蓝宝石单晶材料提出了更高的要求，即尺寸大、质量高和成本低。生长大尺寸蓝宝石单晶时，其工艺过程十分复杂，晶体生长质量控制困难。如在生长过程中系统内的温场控制不当，极易引起晶体内的应力集中，造成晶体在后续加工和使用过程中发生破碎。除此而外，应力集中的存在不仅会增加位错、裂痕等微观、宏观缺陷的含量，还常常伴随着裂纹的出现。蓝宝石晶体的生长方法主要有提拉法、泡生法和温度梯度法等几种，随着生长技术的不断开发，长出的蓝宝石晶体的质量也不断增大，同时长晶品质也不断提高。为了提高质量，切割出的晶片需在高温下空气气氛中(或有氧气氛中)退火(通常退火温度在1700℃以上)。而国内生产的高温电炉如已公开的申请号为201310347878.8所设计的由于炉膛材料使用的限制(多使用氧化铝纤维板)造成实际使用温度为1600～1650℃，达不到蓝宝石退火使用温度；要么其炉膛实际使用尺寸不够，而有的蓝宝石切割出的晶片尺寸很大...
【技术保护点】
一种超高温电炉，其特征在于：包括电力系统控制柜，炉膛预留区，设在炉膛预留区下方的物料自动升降系统，所述炉膛预留区是一个空心的长方体结构，炉膛内部由若干块氧化锆纤维板平铺而成，氧化锆纤维板外部再包覆硅酸铝纤维棉，所述氧化锆纤维板经真空吸滤成型制成；在炉堂顶部设有一组孔洞，通过电力系统控制柜控制物料自动升降系统升降。
【技术特征摘要】
2016.11.23 CN 20162126787971.一种超高温电炉，其特征在于：包括电力系统控制柜，炉膛预留区，设在炉膛预留区下方的物料自动升降系统，所述炉膛预留区是一个空心的长方体结构，炉膛内部由若干块氧化锆纤维板平铺而成，氧化锆纤维板外部再包覆硅酸铝纤维棉，所述氧化锆纤维板经真空吸滤成型制成；在炉堂顶部设有一组孔洞，通过电力系统控制柜控制物料自动升降系统升降。2.根据权利要求1所述的超高温电炉，其特征在于：所述炉膛顶部由8块氧化锆纤维板平铺而成，顶部的尺寸为...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴生伢，张引，钱松根，黄振进，陈福金，
申请(专利权)人：南京理工宇龙新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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