具有极小死角的改进阀块制造技术

在一个方面，本发明专利技术涉及一种具有极小的死角或不具有死角的改进阀块设计，其改善系统净化过程的效率。在另一个方面，本发明专利技术涉及一种引入所述改进阀块设计的系统。

Improved valve block with minimal dead angle

In one aspect, the invention relates to an improved block design with minimal dead angle or no dead angle, which improves the efficiency of the purification process of the system. In another aspect, the invention relates to a system for introducing the improved valve block design.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有极小死角的改进阀块相关申请的交叉引用本申请要求2014年11月15日提交的美国临时申请号62/080,281的优先权，其以引用方式并入本文，就像其被全文给出了一样。
技术介绍
电子设备制造业需要各种液体化学品作为原材料或前体来制造集成电路和其他电子设备。重要的是在电子设备制造工艺过程中，使用的各种液体化学品不混合于一起而是各自保持在高纯度下以满足电子制造业的严苛要求。在电子设备制造工艺过程中，这些各种不同液体化学品经由共同的导管和端口(开口)的系统在化学容器与一个或多个含阀歧管之间反复移动。因此，在制造工艺过程中的不同阶段，在可向系统引入新的化学品之前有必要从系统内所有润湿的表面(wettedsurface)吹扫走特定的化学品。这通常通过使用强制通过系统的吹扫气体来实现。当该术语涉及本
时，“非冲击的死角(deadleg)”为管道或导管系统中吹扫气体不能直接喷射到其中的部分。在现有系统中，导管和端口的几何形状使得在吹扫步骤过程中在系统内存在一个或多个非冲击的死角。系统中一个或多个非冲击的死角的存在降低系统的净化效率，因为吹扫步骤必须进行更长的时间段——并且必须使用额外的吹扫气体—本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阀块，所述阀块包含：具有第一侧面、第二侧面和第三侧面的壳体，其中所述第一侧面与所述第二侧面相对，并且所述第三侧面与所述第一侧面和所述第二侧面二者都邻近；位于所述第一侧面上的第一阀座；第一导管，所述第一导管具有终止于所述第一侧面上且在所述第一阀座内的第一开口和终止于所述第二侧面上的第二开口，所述第一导管是线性的，所述第一开口可选择性地打开和关闭；位于所述第三侧面上的第二阀座；和以一定角度从所述第一导管延伸的第二导管，所述第二导管与所述第一导管流体流动连通，所述第二导管具有终止于所述第三侧面上在所述第二阀座内的开口，所述第二导管的所述开口可选择性地打开和关闭。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.15 US 62/080,2811.一种阀块，所述阀块包含：具有第一侧面、第二侧面和第三侧面的壳体，其中所述第一侧面与所述第二侧面相对，并且所述第三侧面与所述第一侧面和所述第二侧面二者都邻近；位于所述第一侧面上的第一阀座；第一导管，所述第一导管具有终止于所述第一侧面上且在所述第一阀座内的第一开口和终止于所述第二侧面上的第二开口，所述第一导管是线性的，所述第一开口可选择性地打开和关闭；位于所述第三侧面上的第二阀座；和以一定角度从所述第一导管延伸的第二导管，所述第二导管与所述第一导管流体流动连通，所述第二导管具有终止于所述第三侧面上在所述第二阀座内的开口，所述第二导管的所述开口可选择性地打开和关闭。2.根据权利要求1所述的阀块，其中所述第二导管以90度角流体流动连通地连接到所述第一导管。3.根据权利要求1所述的阀块，其中所述壳体呈长方体的形状。4.根据权利要求1所述的阀块，其中所述第一阀座和所述第二阀座中的至少之一呈圆柱形凹陷的形状。5.一种系统，所述系统包含：液体再填充源；吹扫气体源；和阀块，所述阀块具有流体流动连通地连接到所述液体再填充源和所述吹扫气体源二者的第一端口开口，所述第一端口开口位于所述阀块的第一侧面上，第二端口开口，所述第二端口开口位于所述阀块的第二侧面上，所述第二侧面与所述第一侧面相对，流体流动连通地连接在所述第一端口开口和所述第二端口开口之间的第一导管部，所述第二端口开口可选择性地打开和关闭，所述第一端口开口和所述第二端口开口轴向对齐，和以非平行于所述第一导管部的角度从所述第一导管部延伸的第二导管部，所述第二导管部与所述第一导管部流体流动连通，所述第二导管部终止于位于所述阀块的第三侧面上的第三端口开口处，所述第三端口开口可选择性地打开和关闭。6.根据权利要求5所述的系统，其中所述阀块的所述第三侧面与所述阀块的所述第一侧面和所述第二侧面二者都邻近。7.根据权利要求5所述的系统，其中所述第二导管部以90度角从所述第一导管部延伸。8.根据权利要求5所述的系统，所述系统还包含：位于所述阀块的所述第二侧面上的第四端口开口；位于所述阀块的第四侧面上的第五端口开口，所述第四侧面与所述第三侧面相对；和流体流动连通地连接在所述第四端口开口和所述第五端口开口之间的第三导管部。9.根据权利要求8所述的系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·M·比尔彻，G·维万克，W·J·希伊，
申请(专利权)人：弗萨姆材料美国有限责任公司，
类型：发明
国别省市：美国,US