柔性显示器及其形成方法技术

本申请公开了一种柔性显示器及其形成方法，涉及显示技术领域，该柔性显示器包括：第一柔性基板，有源层位于第一柔性基板第一侧的薄膜晶体管；以及位于有源层与第一柔性基板之间的多个第二柔性基板；有源层包括沟道区，第二柔性基板在第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖沟道区在第一柔性基板所在平面的正投影；第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数。在薄膜晶体管的有源层下方依次层叠设置第二柔性基板和第一柔性基板，且第一柔性基板的热膨胀系数小于第二柔性基板的热膨胀系数，使得柔性显示器中的例如薄膜晶体管在不弯折的状态下具有一定的压缩量，如此等同于提升了器件的抗拉能力，有利于提升柔性显示器的抗弯折能力。

Flexible display and method of forming the same

The invention discloses a flexible display and a method thereof, relates to the technical field of display, the flexible display includes a first flexible substrate, thin film transistor active layer is located on the first side of the first flexible substrate; and is located between the active layer and the first flexible substrate, a plurality of second flexible substrate; an active layer includes a channel region, second flexible substrate where is the projection plane in the first flexible substrate covering at least a channel region in the first place is a flexible substrate projection plane; expansion coefficient is less than second of the flexible substrate thermal expansion coefficient of the first flexible substrate heat. Set the second flexible substrate and a first flexible substrate under the active layer of thin film transistors are sequentially stacked, and a first flexible substrate thermal expansion coefficient is less than second of the flexible substrate thermal expansion coefficient, the flexible displays such as thin film transistor in a bent state with a certain amount of compression, so equivalent to enhance tensile ability the device, is conducive to enhancing the anti bending capability of flexible display.

【技术实现步骤摘要】
柔性显示器及其形成方法
本申请涉及显示
，具体地说，涉及一种柔性显示器及其形成方法。
技术介绍
柔性显示器是一种制作在柔性载体(也称为柔性基板)上可折叠或可弯曲的显示装置，其以柔性衬底材料为器件的承载基板，要求电极层、TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)、显示部件以及封装层均有一定的弯曲半径，从而来实现全柔性化。由于柔性显示器具有轻薄便携、耐冲击性强的特点，并且具有设计美感，对于其技术的研究和创新越来越受到人们的重视。通常，柔性显示器弯折时，包括TFT在内的多个功能层会受到不同程度的拉力或者压力，而由于例如TFT膜层承受压缩的能力高于承受拉伸的能力，故柔性显示器在不同弯折方向上的弯折能力(即能够实现的最大可弯曲程度)不同。目前对于具有两个相反弯折方向的柔性显示器存在的一种问题是在一个弯折方向上达到或超过弯折要求，例如具有较强的抗压缩能力、而在另一个弯折方向上不满足弯折要求，例如具有较弱的抗拉伸能力，即存在着一种“抗压而不抗拉”的问题。目前，在柔性显示器的结构设计中，通过将TFT设置在中性面处，可以减少弯折时TFT上所承受的拉力和压力，从而提高TFT膜层的抗本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示器，其特征在于，包括：第一柔性基板，薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层，所述有源层位于所述第一柔性基板的第一侧；多个第二柔性基板，所述第二柔性基板位于所述有源层与所述第一柔性基板之间；所述有源层包括沟道区，所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影；所述第一柔性基板的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示器，其特征在于，包括：第一柔性基板，薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源层，所述有源层位于所述第一柔性基板的第一侧；多个第二柔性基板，所述第二柔性基板位于所述有源层与所述第一柔性基板之间；所述有源层包括沟道区，所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影至少覆盖所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影；所述第一柔性基板的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数。2.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影与所述有源层在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重叠。3.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，在显示区内，所述第一柔性基板的所述第一侧设置有，多条沿第一方向排列且沿第二方向延伸的栅极线，多条沿所述第二方向排列且沿所述第一方向延伸的数据信号线；所述第一方向与所述第二方向交叉，所述栅极线与所述数据信号线绝缘；设定相邻的两条所述栅极线与相邻的两条所述数据信号线之间限定的区域为像素区域，所述薄膜晶体管位于所述像素区域内，所述像素区域内设置有多个所述薄膜晶体管。4.根据权利要求3所述柔性显示器，其特征在于，位于同一个所述像素区域内的所有所述薄膜晶体管的所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一个所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆盖。5.根据权利要求3所述柔性显示器，其特征在于，所述显示区包括多个所述像素区域，所述像素区域在所述显示区内呈阵列排布；在所述显示区内，同一列和/或同一行的所述薄膜晶体管的所述沟道区在所述第一柔性基板所在平面的正投影被同一个所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影所覆盖。6.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板的所述第一侧设置有第一凹槽，所述第二柔性基板设置于所述第一凹槽内。7.根据权利要求6所述柔性显示器，其特征在于，所述第二柔性基板在垂直方向的厚度等于所述第一凹槽的深度。8.根据权利要求6或7所述柔性显示器，其特征在于，所述第二柔性基板在水平方向的宽度等于所述第一凹槽的宽度。9.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第二柔性基板的热膨胀系数比所述第一柔性基板的热膨胀系数至少大5ppm/K。10.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板的热膨胀系数为CTE1，1ppm/K≤CTE1≤30ppm/K，所述第二柔性基板的热膨胀系数为CTE2，10ppm/K≤CTE2≤50ppm/K。11.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板包括聚酰亚胺、聚醚砜、聚醚酰亚胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚邻苯二甲酸酯。12.根据权利要求1所述柔性显示器，其特征在于，所述第二柔性基板包括聚酰亚胺、聚醚砜、聚醚酰亚胺、多芳基化合物、聚碳酸酯、聚萘二甲酸乙二醇酯或聚乙烯醚邻苯二甲酸酯。13.根据权利要求1或6中任一项所述柔性显示器，其特征在于，所述柔性显示器还包括缓冲层，所述缓冲层位于所述沟道区与所述第二柔性基板之间；所述缓冲层的热膨胀系数小于所述第二柔性基板的热膨胀系数。14.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述缓冲层在所述第一柔性基板所在平面的正向投影与所述第二柔性基板在所述第一柔性基板所在平面的正投影完全重叠。15.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述缓冲层的热膨胀系数为CTE3，0.5ppm/K≤CTE3≤10ppm/K。16.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板的热膨胀系数CTE1＝5ppm/K，所述第二柔性基板的热膨胀系数CTE2＝15ppm/K，所述缓冲层的热膨胀系数CTE3＝3ppm/K。17.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板的厚度为10um，所述第二柔性基板的厚度为5um，所述缓冲层的厚度为1um。18.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述第一柔性基板的厚度为10um，所述第二柔性基板的厚度为10um，所述缓冲层的厚度为1um。19.根据权利要求13所述柔性显示器，其特征在于，所述缓冲层包括SiOx和/或SiNx。20.根据权利要求1或6所述柔性显示器，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括栅极，所述栅极与所述有源层绝缘；所述栅极位于所述有源层远离所述第一柔性基板的一侧；或者所述栅极位于所述有源层靠近所述第一柔性基板的一侧。21.根据权利要求1或6所述柔性显示器，其特征在于，所述柔性显示器为OLED显示器。22.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海晶，
申请(专利权)人：上海天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31