柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置制造方法及图纸

本申请公开了柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置。柔性显示面板的一具体实施方式包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，柔性显示面板由激光剥离工艺将第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。该实施方式能够提升柔性显示面板的制作良率。

Flexible display panel, method for manufacturing the same, and flexible display device

The invention discloses a flexible display panel, a manufacturing method thereof and a flexible display device. A flexible display panel including embodiment which are sequentially overlapped: first flexible substrate, a first barrier layer, second flexible substrate, second barrier layer and polysilicon thin film transistor device layer; wherein, polycrystalline silicon thin film transistor device layer includes an active layer, a source layer is composed of amorphous silicon material after excimer laser annealing process after the formation. Flexible display panel by laser stripping technology will be the first flexible substrate from the rigid substrate after stripping peak wavelength of the laser forming; laser stripping process for lambda 1, the peak wavelength of laser excimer laser annealing process for lambda 2; the first flexible substrate for a wavelength lambda 1 laser transmittance is less than 0.5%; second flexible the substrate for a wavelength of lambda 2 laser transmittance of not less than 0.5%. The method can improve the yield of a flexible display panel.

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置
本申请涉及显示
，具体柔性显示
，尤其涉及柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置。
技术介绍
柔性显示屏，是由柔软的材料制成，可变形可弯曲的显示装置，具有体积小、便携、低功耗等优势，被越来越广泛地应用在各个领域中。柔性显示屏通常包括柔性衬底和制作于柔性衬底上的显示器件，在制作过程中，通常利用刚性基板为柔性衬底提供支撑，之后在柔性衬底上制作包含多晶硅薄膜晶体管的显示器件，薄膜晶体管的制作过程中需要利用ELA(ExcimerLaserAnnealing，准分子激光退火)工序使非晶硅层的硅晶化，形成多晶硅材料的有源层。目前柔性显示屏选用的柔性衬底材料，对ELA工序的工作波长的激光的透过率近似为0，但在进行ELA工序时，非晶硅层可能由于工艺中的微尘、杂质等原因覆盖有缺失，ELA的高激光能量可能会穿透非晶硅层以及非晶硅层与柔性衬底之间的阻挡层后作用于柔性衬底，柔性衬底会被激光损伤，导致柔性显示屏制作不良。
技术实现思路
为了解决上述
技术介绍
部分的一个或多个技术问题，本申请实施例提供了柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置。一方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板，包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，柔性显示面板由激光剥离工艺将第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。第二方面，本申请实施例提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：提供刚性基板；在刚性基板上依次形成第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底以及第二阻挡层；在第二阻挡层上形成非晶硅层；采用准分子激光退火工艺使非晶硅层的硅晶化，形成多晶硅层；对多晶硅层进行图形化，形成薄膜晶体管器件层的有源层；在有源层上依次形成薄膜晶体管器件的源漏极、有机发光器件以及封装层；利用激光剥离工艺将刚性基板与第一柔性衬底剥离；其中，激光剥离工艺采用峰值波长为λ1的激光，准分子激光退火工艺采用峰值波长为λ2的激光；第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。第三方面，本申请实施例提供了一种柔性显示装置，包括上述柔性显示面板。本申请实施例提供的柔性显示面板及其制作方法、柔性显示装置，通过选用对激光剥离工艺所采用的激光峰值波长λ1的透过率不超过0.5％的第一柔性衬底，可以使激光能量在第一柔性衬底与刚性基底之间聚积，从而将柔性衬底与刚性基底完全分离；选用对准分子激光退火工艺所采用的激光峰值波长λ2的透过率不小于0.5％的第二柔性衬底，可以使准分子激光退火工艺中穿过非晶硅层的激光不会在第二柔性衬底处聚积，降低对第二柔性衬底的损伤率，从而提升柔性显示面板的制作良率。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1是根据本申请实施例的柔性显示面板的一个结构示意图；图2是根据本申请实施例的柔性显示面板的另一个结构示意图；图3是根据本申请实施例的柔性显示面板的再一个结构示意图；图4是根据本申请实施例的柔性显示面板的又一个结构示意图；图5是根据本申请实施例的柔性显示面板的制作方法的一个流程示意图；图6是根据本申请实施例的柔性显示装置的一个示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。请参考图1，其示出了根据本申请实施例的柔性显示面板的一个结构示意图。如图1所示，柔性显示面板100包括依次层叠设置的第一柔性衬底11、第一阻挡层13、第二柔性衬底12、第二阻挡层14以及多晶硅薄膜晶体管器件层15。其中，第一柔性衬底11和第二柔性衬底12是具有可挠性的基板，第一阻挡层13可以用于分隔第一柔性衬底11和第二柔性衬底12，第一阻挡层13可以为绝缘层，第二阻挡层14可以用于将第二柔性衬底12和多晶硅薄膜晶体管器件层15相隔开，第二阻挡层14可以为绝缘层。多晶硅薄膜晶体管器件层15可以包括多个LTPS(LowTemperatureSilicon，低温多晶硅)薄膜晶体管，该薄膜晶体管可以是显示区中用于驱动像素进行显示的驱动晶体管，也可以是非显示区内驱动电路中的驱动晶体管或开关晶体管。在本实施例中，上述多晶硅薄膜晶体管器件层15包括有源层，该有源层由非晶硅材料经过ELA退火工艺后形成。在ELA工艺中，利用准分子激光(例如图1所示激光B)对非晶硅薄膜进行照射，使非晶硅转化为多晶硅。在这里，ELA工艺的激光峰值波长为λ2。上述柔性显示面板由LLO(LaserLift-off，激光剥离)工艺将第一柔性衬底11从刚性基板101上剥离后形成。在LLO工艺中，通过激光(图1所示激光A)照射第一柔性衬底和刚性基板101来使第一柔性衬底11和刚性基板101分离，该LLO工艺所采用的激光峰值波长为λ1。在本实施例中，第一柔性衬底11对波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％，并且第二柔性衬底12对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。这样，在LLO工艺中采用波长为λ1的激光对第一柔性衬底11照射时，由于第一柔性衬底11对波长为λ1的激光的透过率较低，使得LLO工艺中的激光能量可以聚积在第一柔性衬底11和刚性基板之间，第一柔性衬底11和刚性基板可以完全分离。同时，在ELA工艺中采用波长为λ2的激光照射非晶硅层时，由于第二柔性衬底12对于波长为λ2的激光的透过率较大，穿过非晶硅层的激光能量不会大量地聚积在第二柔性衬底12中，一部分激光能量可以传输至第一阻挡层，从而可以有效地保护第二柔性衬底不被激光灼伤，提升柔性显示面板的制作良率。可选地，上述LLO工艺的激光峰值波长λ1≤400nm，上述ELA工艺的峰值波长λ2≤400nm。可选地，λ1可以为193nm，243nm，308nm，351nm；λ2可以为193nm，243nm，308nm，351nm。进一步可选地，λ1和λ2可以相等，则第一柔性衬底11和第二柔性衬底12可以由不同的化学材料或不同的制备工艺形成。具体地，上述第一柔性衬底11可以选用在可见光波段透过率大于0且透过率的截止波长大于λ1的材料；上述第二柔性衬底12可以选用在可见光波段透过率大于0且透过率的截止波长小于λ2的材料。举例来说，当LLO工艺的激光峰值波长λ1和ELA工艺的峰值波长λ2均为308nm时，第一柔性衬底11可以选用在可见光波段透过率较高且透过率的截止波长大于308nm(例如为400nm)的材料，该材料波长为308nm的激光的透过率接近于0；第二柔性衬底12可以选用在可见光波段具有较高的透过率且透过率的截止波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性显示面板，其特征在于，包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，所述多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，所述有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，所述柔性显示面板由激光剥离工艺将所述第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；所述激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，所述准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；所述第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；所述第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括依次层叠设置的：第一柔性衬底、第一阻挡层、第二柔性衬底、第二阻挡层、以及多晶硅薄膜晶体管器件层；其中，所述多晶硅薄膜晶体管器件层包括有源层，所述有源层由非晶硅材料经过准分子激光退火工艺后形成，所述柔性显示面板由激光剥离工艺将所述第一柔性衬底从刚性基板上剥离后形成；所述激光剥离工艺所采用的激光峰值波长为λ1，所述准分子激光退火工艺的激光峰值波长为λ2；所述第一柔性衬底对于波长为λ1的激光的透过率不超过0.5％；所述第二柔性衬底对于波长为λ2的激光的透过率不小于0.5％。2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括热保护层，所述热保护层位于所述第一柔性衬底与所述第二柔性衬底之间。3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述热保护层位于所述第一阻挡层和所述第二柔性衬底之间。4.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，所述热保护层包括以下至少一项：导热层、吸热层、光反射层。5.根据权利要求4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述导热层的材料包含石墨烯和/或金属；所述吸热层的材料包含非晶硅；所述光反射层的材料包含金属。6.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第二柔性衬底包含散热粒子，所述散热粒子包括以下至少一项：导热粒子、吸热粒子和光反射粒子。7.根据权利要求6所述的柔性显示面板，其特征在于，所述导热粒子的材料包含石墨烯和/或金属；所述吸热粒子的材料包含非晶硅；所述光反射粒子的材料包含金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：安菲菲，吴勇，
申请(专利权)人：武汉天马微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42