数据信号的标准图案生成方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种数据信号的标准图案生成方法及装置，该方法从多个信号集合中生成由信号的长度、中心线、上限和下限构成的数据信号的标准图案。根据所述数据信号的标准图案生成方法的一实施例，可包括以下步骤：在对多个信号集合中的任意两个信号进行排序时，接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；通过将排序后的所述第一数据信号和所述第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。

Method and device for generating standard pattern of data signal

The present invention provides a standard pattern generation method and device for data signals, which generates a standard pattern of data signals consisting of signal length, center line, upper and lower limits from a plurality of signal sets. According to an embodiment of the standard pattern of the data signal generation method, which comprises the following steps: sorting at any of a plurality of signals in the set of two signals, receiving a first data signal and the second data signal; for the first data signal and the second signal according to the determined standard pattern length, according to the data; the first signal and the second data signal standard pattern length determined by sampling; to sort samples to the first data signal and the second signal data; through the standard pattern will be sorted by the first data signal and the second signal superimposed to generate the data the first data signal and the second data signal.

【技术实现步骤摘要】
数据信号的标准图案生成方法及装置
本专利技术涉及一种数据信号的标准图案生成方法及装置。更详细而言，涉及一种生成从设备的传感器收集到的数据信号的标准图案的方法及执行该方法的标准图案生成装置。
技术介绍
在如半导体工艺那样制造工艺由多个步骤构成的制造环境的情况下，为了进行产品的质量管理，需要判断工艺的各步骤是否正常执行。因此，执行工艺的各步骤的制造设备具备用于检测设备是否正常操作的传感器。此时，工艺管理者可通过分析从传感器收集到的感测信号，判断制造设备是否正常操作。但是，在如半导体工艺那样通过大规模生产线按时间序列进行各工艺的情况下，需要迅速判断执行工艺的各步骤的制造设备是否正常操作。为了这种迅速的判断，可考虑生成收集到的感测信号的标准图案并将该标准图案用作判断基准的方法。这是因为，在存在作为判断基准的标准图案的情况下，制造工艺的管理者可通过对标准图案和判断对象信号进行比较来直观且迅速地判断制造设备是否发生异常。尽管如此，还未提供有在重复的感测信号之间产生时间延迟的情况下通过感测信号的时间补偿来生成标准图案的方法。特别是，未提供有将感测到的信号的高度值差反映到标准图案的方法。由此，产生如下问题：当感测到与标准图案具有高度值差的信号时，即使感测到的信号值在容许限度内，也判断为该制造设备发生异常。这会在具备大规模生产线的制造环境下导致频繁的运行中止及再次运行，从而产生生产力变差的问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种能够生成多个数据信号之间的标准图案的方法及装置。具体而言，本专利技术所要解决的技术问题在于提供一种通过对具有时间延迟的重复图案的数据信号进行排序来生成最佳的标准图案的方法及装置。本专利技术所要解决的另一技术问题在于提供一种生成反映了作为收集到的数据信号值的容许限度的上限值及下限值的标准图案的方法及装置。本专利技术所要解决的又一技术问题在于提供一种通过对生成的标准图案和收集到的数据信号进行比较来判断向管理者发送数据信号的设备是否正常操作的方法及装置。本专利技术的技术问题并不限定于以上所提及的技术问题，本领域技术人员能够从下面的记载中明确理解没有提及的其它技术问题。为了解决上述技术问题，数据信号的标准图案生成方法为从多个信号集合中生成由信号的长度、中心线、上限和下限构成的标准图案的方法，该方法包括以下步骤：在对多个信号集合中的任意两个信号进行排序时，接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按所确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的所述标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。此外，为了解决上述技术问题，数据信号的标准图案生成装置包括：一个以上的处理器；网络接口，用于接收数据信号；存储器，用于加载(load)由所述处理器执行的计算机程序；以及贮存器，用于存储所述计算机程序和数据信号的高度值，所述计算机程序包括以下操作：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的所述标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。此外，为了解决上述技术问题，计算机程序为了与计算装置相结合来执行以下步骤而存储在存储介质中：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。根据本专利技术，具有提供用于判断设备是否发生异常状态的标准图案的效果。具体而言，根据本专利技术，具有提供如下方法的效果：可通过从设备接收数据信号并与标准图案进行比较，判断设备是否处于正常操作中。此外，根据本专利技术，具有提供能够监视设备是否正常操作的装置的效果。此外，具有提供如下装置的效果：在设备未正常操作的情况下，能够控制设备的运行状态。根据本专利技术，具有提供如下方法的效果：能够去除反复接收的数据信号的随时间延迟而产生的时间失真现象，并生成标准图案。根据本专利技术，具有提供如下方法的效果：通过对信号值的大小各不相同的信号值考虑设备方面的容许限度来生成反映了上限值和下限值的标准图案。附图说明图1是本专利技术一实施例的标准图案生成系统的结构图。图2是本专利技术另一实施例的标准图案生成装置的方框图。图3是本专利技术又一实施例的标准图案生成方法的流程图。图4是在本专利技术的几种实施例中所参照的、数据信号的示例。图5是本专利技术又一实施例的数据信号的排序方法的流程图。图6是用于说明在本专利技术的几种实施例中所参照的、两个信号之间的交叉程度的示意图。图7是在本专利技术的几种实施例中所参照的、排序后的数据信号的示例。图8是在本专利技术的几种实施例中所参照的、数据信号的标准图案的示例。图9是本专利技术又一实施例的标准图案和判断对象数据信号的比较信息的显示的示例。图10是在本专利技术的几种实施例中所参照的、用于控制设备的用户界面的示例。图11是在本专利技术的几种实施例中所参照的、用于修改图案的用户界面的示例。具体实施方式下面，参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细说明。参照附图的同时参照详细地后述的实施例，本专利技术的优点及特征以及实现这些的方法将会明确。但是，本专利技术并不限定于以下所公开的实施例，而是可以以彼此不同的多种方式实现，本实施例仅仅用于完整地公开本专利技术，并且为了向本专利技术所属
的技术人员完整地告知本专利技术的范围而提供的，本专利技术仅由权利要求的范围定义。在说明书全文中相同的附图标记指相同的结构要素。如果没有其它定义，则在本说明书中所使用的所有用语(包括技术用语及科技用语)能够以本专利技术所属
的技术人员共同理解的含义使用。另外，在通常使用的词典中定义的用语只要没有被明确地特别定义，就不能理想地或过度地解释。在本说明书中所使用的用语用于说明实施例，并不旨在限制本专利技术。在本说明书中，单数形式只要在句子中未特别提及就可以包括复数形式。图1是本专利技术一实施例的标准图案生成系统的结构图。参照图1，标准图案生成系统可包括标准图案生成装置100、监视装置110和多个设备。在图1中作为多个设备的例子图示了设备1200、设备2210、设备3220和设备4230。图示的设备数量仅为示例，标准图案生成系统可包括比图示数量的设备更多数量的设备或更少数量的设备。即，标准图案生成系统也可以仅包括一个设备。标准图案生成装置100是能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数据信号的标准图案生成方法，包括以下步骤：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案，生成的所述标准图案是反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。

【技术特征摘要】
2016.03.17 KR 10-2016-00321211.一种数据信号的标准图案生成方法，包括以下步骤：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案，生成的所述标准图案是反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。2.根据权利要求1所述的数据信号的标准图案生成方法，其中，对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序的步骤包括：使采样到的所述第一数据信号以预先设定的单位时间为单位移动；测量采样到的所述第二数据信号和以所述预先设定的单位时间为单位移动后的采样到的所述第一数据信号的高度值；利用测量到的高度值来确定所述第一数据信号和所述第二数据信号的图案差异；以及利用所确定的图案差异来对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序。3.根据权利要求2所述的数据信号的标准图案生成方法，其中，确定所述第一数据信号和所述第二数据信号的图案差异的步骤包括：对所述测量到的高度值进行比较；计算所述第一数据信号与所述第二数据信号之间的相关系数；以及利用所述测量到的高度值的比较结果和所述相关系数来确定所述图案差异。4.根据权利要求2所述的数据信号的标准图案生成方法，其中，测量采样到的所述第二数据信号和以所述预先设定的单位时间为单位移动后的采样到的所述第一数据信号的高度值的步骤包括：在所述测量到的高度值的差具有最小值时，判断采样到的所述第一数据信号的移动次数；以及利用判断出的采样到的所述第一数据信号的移动次数来对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序。5.根据权利要求2所述的数据信号的标准图案生成方法，其中，确定所述第一数据信号和所述第二数据信号的图案差异的步骤包括：在使采样到的所述第一数据信号移动之后，判断采样到的所述第一数据信号和采样到的所述第二数据信号的交叉程度；在所述交叉程度为预先设定的值以上的情况下，使采样到的所述第一数据信号进一步移动；测量采样到的所述第二数据信号和进一步移动后的采样到的所述第一数据信号的高度值；以及利用测量到的高度值来确定所述第一数据信号和所述第二数据信号的图案差异。6.根据权利要求5所述的数据信号的标准图案生成方法，其中，在使采样到的所述第一数据信号移动之后，判断采样到的所述第一数据信号和采样到的所述第二数据信号的交叉程度的步骤包括：在所述交叉程度小于预先设定的值的情况下，使采样到的所述第二数据信号以所述预先设定的单位时间为单位移动；测量采样到的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴寅锡，宣相准，李升埈，安大重，
申请(专利权)人：三星SDS株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR