抗蚀剂剥离液组合物制造技术

本发明专利技术提供一种抗蚀剂剥离液组合物。根据本发明专利技术的抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含季铵盐化合物、极性溶剂和下述化学式1的含有氧的链型二胺：[化学式1]

【技术实现步骤摘要】
抗蚀剂剥离液组合物
本专利技术涉及一种能够有效去除固化的光致抗蚀剂的抗蚀剂剥离液组合物。
技术介绍
滤色器(colorfilter)可被安装于互补金属氧化物半导体(complementarymetaloxidesemiconductor，CMOS)或电荷耦合元件(chargecoupleddevice，CCD)等图像传感器的彩色摄影装置内而用于实际获得彩色图像，除此之外，还广泛利用于摄影元件、等离子体显示面板(PDP)、液晶显示装置(LCD)、场发射显示器(FED)和发光显示器(LED)等中，从而其应用范围正在迅速扩大。特别是，近年来LCD的用途更加扩大，由此在再现LCD的色调方面，滤色器被视为最重要的部件之一。滤色器基板由黑矩阵和对液晶单元施加电压的共用电极构成，所述黑色矩阵发挥阻挡红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)图案与各像素之间的漏光而提高对比度的作用。滤色器通过如下方法制造：将根据用途而选择的黑矩阵材料涂布于玻璃基板并形成黑色掩模图案，然后通过光刻工序来形成光致抗蚀剂图案。例如，光刻工序如下进行：在形成于基板上的铝、铝合金、铜、铜合金、钼、钼合金等导电性金属膜、或者氧化硅膜、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含季铵盐化合物、极性溶剂和下述化学式1的含有氧的链型二胺：[化学式1]

【技术特征摘要】
2016.03.15 KR 10-2016-00307301.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含季铵盐化合物、极性溶剂和下述化学式1的含有氧的链型二胺：[化学式1]所述化学式1中，R1和R2各自为氢或C1～C3的链型烷基。2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，相对于所述抗蚀剂剥离液组合物总重量％，包含季铵盐化合物1～10重量％、极性溶剂10～70重量％和所述化学式1的含有氧的链型二胺10～50重量％。3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，所述抗蚀剂剥离液组合物进一步包含无机碱或其盐、防腐蚀剂...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪宪杓，房淳洪，崔汉永，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR