本发明专利技术的课题在于缩短对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥所需的时间。本发明专利技术提供一种减压干燥方法及减压干燥装置。本发明专利技术包括：将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥的工序，以及将经过了所述工序的所述基板上的所述涂布膜以比所述第一温度高的第二温度进行减压干燥的工序。
Vacuum drying method and pressure reducing drying device
The object of the present invention is to shorten the time required for vacuum drying of a coating film coated with a polyimide precursor and a solvent on the substrate. The invention provides a decompression drying method and a decompression drying device. The method comprises the steps of coating film coating liquid containing polyimide precursor and solvent coating on the substrate of the drying process in the first vacuum temperature, and after the coating film of the substrate of the process on the second than the temperature of the first high temperature drying process decompression.
【技术实现步骤摘要】
减压干燥方法及减压干燥装置
本专利技术涉及一种对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥的减压干燥方法及减压干燥装置。
技术介绍
以前，聚酰亚胺因其耐热性、耐化学性(chemicalresistance)、电气特性、机械特性等而多用于各种
中。例如作为柔性(flexible)基板的基材，而广泛采用聚酰亚胺膜。该聚酰亚胺膜例如如专利文献1所记载的那样，通过执行如下工序而制造，即，工序1：对支撑体表面涂布聚酰亚胺前驱物溶液而形成聚酰亚胺前驱物溶液的涂布膜；工序2：在进行酰亚胺化(imidization)前将所述涂布膜中的大多数的溶剂去除而形成所需膜厚的聚酰亚胺前驱物涂膜；工序3：通过对残留一部分溶剂的状态下的聚酰亚胺前驱物涂膜实施热处理而将所残留的溶剂完全去除，并且将聚酰亚胺前驱物酰亚胺化。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2002-225052号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]在例如制造膜厚10μm的聚酰亚胺膜的情况下，工序1中形成膜厚100μm的涂布膜，利用工序2以膜厚为13μm～15μm左右的方式将大部分溶剂去除后，进行工序3。此处，为了执行所述工序2，将形成着聚酰亚胺前驱物溶液的涂布膜的支撑体配置于减压干燥炉内而进行溶剂去除，能够通过提高减压干燥时的温度而缩短工序2所需的时间。然而，为了防止产生干燥不均或膜隆起(脱泡)等，必须将减压干燥炉内的温度设定为40℃～80℃左右。其结果，难以大幅缩短工序2所需的时间，从而仍存在难以进行有效率的处理(process)的课题。本专利技术鉴于所述课题而完成，目的在于提供一种减压干燥技术，能够缩短对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥所需的时间。[解决问题的技术手段]本专利技术的一实施方式为一种减压干燥方法，包括：(a)工序，将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥；以及(b)工序，将经过了所述工序(a)的基板上的涂布膜以比第一温度高的第二温度进行减压干燥。而且，本专利技术的另一实施方式为一种减压干燥装置，对涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜进行减压干燥，包括：第一减压干燥单元，以第一温度进行减压干燥；第二减压干燥单元，以比第一温度高的第二温度进行减压干燥；以及搬送单元，将利用第一减压干燥单元而受到涂布膜的减压干燥的基板搬送到第二减压干燥单元。将涂布膜中的溶剂去除时的干燥不均或膜隆起(脱泡)容易发生在减压干燥的初期阶段，一旦经过该初期阶段则即便以高温进行减压干燥也不会发生所述问题。因此，本专利技术中，是在减压干燥的初期阶段进行以相对低温(第一温度)进行的低温减压干燥后，进行以相对高温(第二温度)进行的高温减压干燥，由此缩短总干燥时间。[专利技术的效果]如以上，根据本专利技术，在将涂布膜以第一温度进行减压干燥后，以高于第一温度的第二温度进行减压干燥，因而能够大幅缩短涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜的减压干燥的处理时间。附图说明图1是表示装备本专利技术的减压干燥装置的一实施方式的聚酰亚胺膜制造系统的示意图。图2是表示减压干燥单元的构成的图。图3是表示图1所示的减压干燥装置的工作流程图。图4是表示本专利技术的减压干燥装置中能够装备的减压干燥单元的其他构成的图。图5A是表示利用现有的减压干燥装置进行减压干燥时的减压干燥的进行状况的曲线图。图5B是表示利用图1中的减压干燥装置进行减压干燥时的减压干燥的进行状况的曲线图。[符号的说明]1：聚酰亚胺膜制造系统2：涂布装置3：减压干燥装置3A：第一减压干燥单元3B：第二减压干燥单元3C：搬送机器人(搬送单元)3D：控制单元4：热处理装置5、6：搬送机器人8：排气单元34：开闭驱动部36：基底部37：盖部38、314：O型环50：加热部51：热板52：橡胶加热器60：减压单元61、82、341：排气配管62：减压阀70：供气单元71：供气配管72：供气阀80：排气机构81：排气管85：流量调整阀90：支撑部91：支撑销92：支撑部件93：升降驱动部310：腔室311：内部空间312：基底部313：盖部315、316：排气口320：保持部321：保持销321a：水平面322：支撑部件330：加热部340：排气部342、343：蝶形阀344：开闭阀345：排气泵346、347：分支端部350：腔室升降机构351：销升降机构361：底板部362、372：壁部371：顶板部611、821：排气配管的一端612：排气配管的另一端711：供气配管的一端712：供气配管的另一端813：开口D：间隙F：涂布膜G：玻璃载板(基板)G1：上表面P：减压泵P0：大气压P1：中间值(第一压力)P2：目标值(第二压力)R：与开口相向的范围T11、T12、T21、T22、T23、T24：时机Ue：排气资源Us：供气资源S1～S5：步骤X、Y、Z：方向具体实施方式图1是示意性地表示装备本专利技术的减压干燥装置的一实施方式的聚酰亚胺膜制造系统的图。该聚酰亚胺膜制造系统1具备涂布装置2、减压干燥装置3、热处理装置4及2台搬送机器人5、搬送机器人6。聚酰亚胺膜制造系统1中，涂布装置2对玻璃载板G(参照图2)的上表面G1(参照图2)涂布包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液而形成涂布膜F(参照图2)。作为涂布装置2，例如可使用所谓的狭缝涂布机(slitcoater)，该狭缝涂布机使从喷出口喷出涂布液的狭缝喷嘴(slitnozzle)相对于玻璃载板G相对移动而形成涂布膜F。当然，也可使用其他涂布方式的涂布装置。而且，本实施方式中，将聚酰胺酸(Polyamicacid)及NMP(N-甲基-2-吡咯烷酮：N-Methyl-2-Pyrrolidone)分别作为本专利技术的“聚酰亚胺前驱物”及“溶剂”而使用且形成所需厚度的10倍左右(在形成例如5[μm]～10[μm]左右的聚酰亚胺膜的情况下，为50[μm]～100[μm]左右)的相对厚的涂布膜F。然后，形成着涂布膜F的玻璃载板G利用搬送机器人5从涂布装置2搬送到减压干燥装置3。该减压干燥装置3为以2个阶段对涂布膜F进行减压干燥处理的装置，去除涂布膜F中的溶剂而形成所需的膜厚的聚酰亚胺前驱物涂膜。另外，关于减压干燥装置3的构成及动作，将在聚酰亚胺膜制造系统1的整体说明后进行详细叙述。形成着聚酰亚胺前驱物涂膜的玻璃载板G利用搬送机器人6从减压干燥装置3搬送到热处理装置4。该热处理装置4对聚酰亚胺前驱物涂膜实施热处理而将聚酰亚胺前驱物酰亚胺化从而形成聚酰亚胺膜。热处理装置4可包含对单个玻璃载板G进行加热的单片方式的加热部，也可包含对多个玻璃载板G统一加热的批次方式的加热部。另外，本实施方式中，如接下来说明的那样通过采用本专利技术的减压干燥装置3而能够大幅缩短涂布膜的减压干燥的处理时间，另一方面，酰亚胺化中依然需要进行数小时的加热处理，减压干燥处理的节拍时间(tacttime)与用以酰亚胺化的热处理的节拍时间大幅不同。因此，在由单片方式的加热部构成热处理装置4的情况下，理想的是将该加热部多台叠层配置而进行并列处理。接下来，对减压干燥装置3的构成及动作进行说明。减压干燥装置3具备：2台减压干燥单元3A、减压干燥单本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种减压干燥方法，其特征在于包括：(a)工序，将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥；以及(b)工序，将经过了所述工序(a)的所述基板上的所述涂布膜以比所述第一温度高的第二温度进行减压干燥。
【技术特征摘要】
2016.03.15 JP 2016-051044;2016.12.27 JP 2016-253191.一种减压干燥方法，其特征在于包括：(a)工序，将涂布于基板上的包含聚酰亚胺前驱物及溶剂的涂布液的涂布膜以第一温度进行减压干燥；以及(b)工序，将经过了所述工序(a)的所述基板上的所述涂布膜以比所述第一温度高的第二温度进行减压干燥。2.根据权利要求1所述的减压干燥方法，其特征在于：当将在所述工序(a)的减压气氛下，能够使所述涂布膜干燥而不会发生干燥不均的温度范围设为恰当温度范围时，所述第一温度设定于所述恰当温度范围内。3.根据权利要求2所述的减压干燥方法，其特征在于：所述第二温度超过所述恰当温度范围的最高值而设定。4.根据权利要求2或3所述的减压干燥方法，其特征在于：所述恰当温度范围为30℃以上且70℃以下的范围。5.根据权利要求2或3所述的减压干燥方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：芳川典生，时枝大佐，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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