一种直拉法单晶炉用分段式接晶框制造技术

本实用新型专利技术属于单晶炉技术领域，具体公开了一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，包括：圆柱形固定框架，所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架和连接杆，所述连接杆竖向连接所述多个圆环框架；还包括软性框架，所述软性框架包含多条软链、防脱环和底部承接盘，所述多条软链之间平行连接有所述防脱环和所述底部承接盘；所述多条软链与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架连接，所述最下端的圆环框架的两侧对称设置有支撑耳。本实用新型专利技术的直拉法单晶炉用分段式接晶框利用圆柱形固定框架连接软性框架的结构，解决了使用传统一体式接晶框时晶体不便搬运的问题，结构简单，使用方便。

Sectional type crystal frame for direct drawing single crystal furnace

The utility model belongs to the technical field of single crystal furnace, in particular discloses a Czochralski single-crystal furnace with segmented connected crystal box, comprises a cylindrical fixed frame, the cylindrical fixing frame comprises a plurality of ring frame and the connecting rod, the connecting rod is vertically connected with the plurality of ring frame also includes soft; the frame, the flexible frame comprises a plurality of soft chain, anti slip ring and the bottom bearing plate, between the plurality of soft chain parallel connected with the anti slip ring and the bottom tray; the lower end is connected with the ring frame of the plurality of soft chain and the cylindrical fixed frame, symmetrical on both sides the lowest end of the ring frame is provided with a supporting ear. The segmented architecture of crystal frame using cylindrical fixed frame connected with the soft frame of the utility model is used for the Czochralski single-crystal furnace, solves the problem of using the traditional integral connection box is inconvenient for transportation of crystal crystal has the advantages of simple structure, convenient use.

【技术实现步骤摘要】
一种直拉法单晶炉用分段式接晶框
本技术涉及单晶炉
，特别地，涉及一种直拉法单晶炉用分段式接晶框。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶的设备。在直拉法制备单晶硅工艺中，晶体拉制完成拆炉后，晶棒温度依然达到数百度，需要专用的接晶框接取晶棒后冷却才能搬运。随着技术提升，晶棒直径、长度、重量快速增大，原始一体式接晶框的弊端越来越大：大型一体式接晶框高度高，只能放于单晶炉底水平基面，当放入晶棒后，重量达到近200KG，且与地面有约70CM的落差，为取出晶棒，需要4个身体强壮的人员通力合作，劳动强度巨大；晶棒长度达到近2米，炉底空间狭小操作困难，有磕碰人员和产品的危险，晶棒取出后还需称重，需要人工多次搬运，耗费人力；而小型一体式接晶框因重心不稳无法放置长晶体。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，解决了使用传统一体式接晶框时晶体不便搬运的问题。为了达到上述目的，本技术采用以下技术方案予以实现。一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，包括：圆柱形固定框架，所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架和连接杆，所述连接杆竖向连接所述多个圆环框架；软性框架，所述软性框架包含多条软链、防脱环和底部承接盘，所述多条软链之间平行连接有所述防脱环和所述底部承接盘；所述多条软链与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架连接，所述最下端的圆环框架的两侧对称设置有支撑耳。作为优选地，所述连接杆竖向焊接连接所述多个圆环框架，且所述多个圆环框架相互平行设置。作为优选地，所述多个圆环框架为3个。作为优选地，所述多条软链通过焊接固定在所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架上，并均匀分布于圆环框架的一周，且不与所述支撑耳相互干扰。作为优选地，所述多条软链为4条。作为优选地，所述防脱环设置于所述多条软链的下部，且距离所述多条软链的下端10-15厘米。作为优选地，所述多条软链与所述防脱环的一周均匀连接，且所述防脱环平行于所述圆环框架。作为优选地，所述多条软链与所述底部承接盘的一周均匀连接，且所述底部承接盘平行于所述防脱环。作为优选地，所述支撑耳为两个。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术的直拉法单晶炉用分段式接晶框利用圆柱形固定框架连接软性框架的结构，解决了使用传统一体式接晶框时晶体不便搬运的问题，结构简单，使用方便。附图说明下面结合附图和具体实施例对本技术做进一步详细说明。图1为本技术的一种直拉法单晶炉用分段式接晶框的结构示意图；图中：1、圆环框架；2、连接杆；3、支撑耳；4、软链；5、防脱环；6、底部承接盘。具体实施方式下面将结合实施例对本技术的实施方案进行详细描述，但是本领域的技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本技术，而不应视为限制本技术的范围。本技术提供了一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，包括：圆柱形固定框架，所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架1和多个连接杆2，所述多个连接杆2竖向连接所述多个圆环框架1；还包括软性框架，所述软性框架包含多条软链4、防脱环5和底部承接盘6，所述多条软链4之间平行连接有所述防脱环5和所述底部承接盘6；所述多条软链4与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架1连接，所述最下端的圆环框架1的两侧对称设置有支撑耳3。其中，具体地，连接杆2竖向焊接连接圆环框架1，且多个圆环框架1相互平行设置；多个圆环框架1至少3个。其中，具体地，多条软链4通过焊接固定在圆柱形固定框架的最下端的圆环框架1上，并均匀分布于圆环框架1的一周，且不与支撑耳3相互干扰；多条软链为至少4条。其中，具体地，防脱环5为Φ4圆钢材质，设置于多条软链4的下部，穿过软链4的下部等距处并成封闭状态，距离多条软链4的下端10-15厘米。其中，具体地，多条软链4与防脱环5的一周均匀连接，且防脱环5平行于圆环框架1。其中，具体地，底部承接盘6为钢板制扁平圆环，多条软链4与底部承接盘6的一周均匀焊接连接，且底部承接盘6平行于防脱环5，保持水平状态。其中，具体地，支撑耳3为两个，对称设置于位于圆柱形固定框架的最下端的圆环框架上，并不与软链4相互影响。使用时，将软链4从炉台边开口扔下，保持软链4不相互缠绕，底部承接盘6水平，将支撑耳3放置于炉台开口两边的水平地面上，保持该分段式接晶框的圆柱形固定框架垂直即可。晶体从圆柱形固定框架的上部缓慢降入该分段式接晶框，底部承接盘6上设置有圆孔，有尾晶体的尾部直接进入底部承接盘6的圆孔处，无尾晶体放置于底部承接盘6平面上。在取晶体时，人员在平台地面使用吊装绳与举升机就可将晶体直接取至平台。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，包括：圆柱形固定框架，所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架和连接杆，所述连接杆竖向连接所述多个圆环框架；软性框架，所述软性框架包含多条软链、防脱环和底部承接盘，所述多条软链之间平行连接有所述防脱环和所述底部承接盘；所述多条软链与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架连接，所述最下端的圆环框架的两侧对称设置有支撑耳。

【技术特征摘要】
1.一种直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，包括：圆柱形固定框架，所述圆柱形固定框架包含多个圆环框架和连接杆，所述连接杆竖向连接所述多个圆环框架；软性框架，所述软性框架包含多条软链、防脱环和底部承接盘，所述多条软链之间平行连接有所述防脱环和所述底部承接盘；所述多条软链与所述圆柱形固定框架的最下端的圆环框架连接，所述最下端的圆环框架的两侧对称设置有支撑耳。2.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，所述连接杆竖向焊接连接所述多个圆环框架，且所述多个圆环框架相互平行设置。3.根据权利要求2所述的直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，所述多个圆环框架为3个。4.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉用分段式接晶框，其特征在于，所述多条软链通过焊接固定在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琳，
申请(专利权)人：陕西西京电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西,61