一种单晶炉用的尾气除尘设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用的尾气除尘设备，包括除尘罐体，除尘罐体的顶端设置有罐盖，除尘罐体靠近罐盖一端的内部设置有上板体，罐盖顶端的中心位置处设置有吊绳控制器，吊绳控制器的底端设置有等间距的吊装绳，吊装绳的底端贯穿上板体并设置有布袋本体，布袋本体靠近吊装绳一端的外壁上设置有上重力法兰，上重力法兰下方的布袋本体外壁上设置有双层布袋重力法兰，布袋本体下方的除尘罐体内部设置有下板体。本实用新型专利技术不仅增加过气道，隔离气体和沉降灰尘，减少二次吸附，还采用双层过滤袋对进气口和出气口进行密封隔离，而且采用布袋本体整体褶皱除灰，且能够采用敲击或者内部沉降方式进行整理除灰。部沉降方式进行整理除灰。部沉降方式进行整理除灰。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用的尾气除尘设备


[0001]本技术涉及单晶硅制备
，具体为一种单晶炉用的尾气除尘设备。

技术介绍

[0002]现阶段单晶硅拉制属于低压流氩拉制，所以拉制系统包含机械、电控、真空、热场等部分，其中，真空部分包含真空室和真空泵，而单晶硅拉制过程中由于高温挥发、氧化等产生大量灰尘，灰尘随保护气体氩气携带脱离垃晶室，不过不加以过滤直接到达真空泵将降低真空泵的抽气效率、增加真空泵的磨损、甚至损坏真空泵，所以需在垃晶室和真空泵之间增加灰尘过滤设备。
[0003]除尘设备经过几代的改良发展，由最初的固定式过滤网发展为现阶段的振动布袋式除尘罐，振动布袋式除尘罐由于增加了布袋振动，可以使过滤吸附在布袋表面的灰尘抖落，提升了过滤效率，从而可以长时间运行。
[0004]但现在振动式除尘罐有两大缺点：1、是布袋的振动式靠伸缩的张力来抖落灰尘，但是布袋在吸附完挥发物后会变得僵硬，所以每次抖动主要集中在两端，中间灰尘降落较少，长时间运行容易造成效率下降和两端布袋的寿命；2、是所有布袋是整体通气，每次抖动散落灰尘的时候气体也是不间断的，散落的灰尘在气体的携带下容易再次吸附到布袋内侧，引起过滤效率的下降，而除尘效率的下降，容易导致垃晶室挥发物的携带，从而影响拉晶质量和稳定性。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种单晶炉用的尾气除尘设备，以解决上述
技术介绍
中提出布袋的振动式靠伸缩的张力来抖落灰尘，但是布袋在吸附完挥发物后会变得僵硬，所以每次抖动主要集中在两端，中间灰尘降落较少，长时间运行容易造成效率下降和两端布袋的寿命；所有布袋是整体通气，每次抖动散落灰尘的时候气体也是不间断的，散落的灰尘在气体的携带下容易再次吸附到布袋内侧，引起过滤效率下降的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉用的尾气除尘设备，包括除尘罐体，所述除尘罐体的顶端设置有罐盖，所述除尘罐体靠近罐盖一端的内部设置有上板体，所述罐盖顶端的中心位置处设置有吊绳控制器，所述吊绳控制器的底端设置有等间距的吊装绳，所述吊装绳的底端贯穿上板体并设置有布袋本体，所述布袋本体靠近吊装绳一端的外壁上设置有上重力法兰，所述上重力法兰下方的布袋本体外壁上设置有双层布袋重力法兰，所述布袋本体下方的除尘罐体内部设置有下板体，所述布袋本体的底端贯穿下板体并设置有下重力法兰，所述双层布袋重力法兰下方的布袋本体外壁上设置有双层过滤袋，所述下板体下方的除尘罐体内部设置有隔板。
[0007]优选的，所述除尘罐体的底端设置有积灰室，通过将积灰室设置于除尘罐体的底端，以便对灰尘进行集中回收处理。
[0008]优选的，所述除尘罐体一侧的外壁上设置有进气口，所述进气口的一端延伸至除
尘罐体的内部，以便将气体经进气口输送至除尘罐体的内部。
[0009]优选的，所述除尘罐体远离进气口一侧的外壁上设置有出气口，所述出气口的一端延伸至除尘罐体的内部，通过将出气口设置于除尘罐体一侧的外壁上，以使得除尘罐体内部除尘完毕的气体经出气口排出。
[0010]优选的，所述隔板的顶部设置有等间距的下法兰承接过灰口，所述下法兰承接过灰口的底端延伸至隔板的外部，通过将下法兰承接过灰口设置于隔板的顶部，以使得灰尘能够经下法兰承接过灰口落入至积灰室的内部。
[0011]优选的，所述隔板与下板体之间的除尘罐体内部设置有过气道，通过位于隔板的上方设置有过气道，使得布袋本体在下沉过程中，下重力法兰可以完美对接积灰室并避开过气道，进而减少了散落灰尘的二次吸附。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该单晶炉用的尾气除尘设备不仅增加过气道，隔离气体和沉降灰尘，减少二次吸附，还采用双层过滤袋对进气口和出气口进行密封隔离，而且采用布袋本体整体褶皱除灰，且能够采用敲击或者内部沉降方式进行整理除灰；
[0013](1)通过在上重力法兰重力作用下使得布袋本体褶皱下沉，使其经褶皱下沉将吸附于布袋本体表面的灰尘抖落，由于褶皱是整体的，解决了局部积灰的影响；
[0014](2)通过位于隔板的上方设置有过气道，使得布袋本体在下沉过程中，下重力法兰可以完美对接积灰室，避开过气道，减少了散落灰尘的二次吸附；
[0015](3)通过双层布袋重力法兰活动引起的缝隙由双层过滤袋来隔离，从而保证进气口和出气口的密封隔离。
附图说明
[0016]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0017]图2为本技术正视外观结构示意图；
[0018]图3为本技术俯视外观结构示意图；
[0019]图4为本技术布袋本体仰视结构示意图。
[0020]图中：1、除尘罐体；2、进气口；3、下重力法兰；4、双层布袋重力法兰；5、上重力法兰；6、上板体；7、罐盖；8、吊绳控制器；9、吊装绳；10、出气口；11、布袋本体；12、双层过滤袋；13、过气道；14、下法兰承接过灰口；15、隔板；16、积灰室；17、下板体。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供的一种实施例：一种单晶炉用的尾气除尘设备，包括除尘罐体1，除尘罐体1的底端设置有积灰室16；
[0023]使用时，通过将积灰室16设置于除尘罐体1的底端，以便对灰尘进行集中回收处理；
[0024]除尘罐体1一侧的外壁上设置有进气口2，进气口2的一端延伸至除尘罐体1的内
部；
[0025]使用时，通过将进气口2设置于除尘罐体1一侧的外壁上，以便将气体经进气口2输送至除尘罐体1的内部；
[0026]除尘罐体1远离进气口2一侧的外壁上设置有出气口10，出气口10的一端延伸至除尘罐体1的内部；
[0027]使用时，通过将出气口10设置于除尘罐体1一侧的外壁上，以使得除尘罐体1内部除尘完毕的气体经出气口10排出；
[0028]除尘罐体1的顶端设置有罐盖7，除尘罐体1靠近罐盖7一端的内部设置有上板体6，罐盖7顶端的中心位置处设置有吊绳控制器8；
[0029]吊绳控制器8的底端设置有等间距的吊装绳9，吊装绳9的底端贯穿上板体6并设置有布袋本体11；
[0030]布袋本体11靠近吊装绳9一端的外壁上设置有上重力法兰5，上重力法兰5下方的布袋本体11外壁上设置有双层布袋重力法兰4；
[0031]布袋本体11下方的除尘罐体1内部设置有下板体17，布袋本体11的底端贯穿下板体17并设置有下重力法兰3；
[0032]双层布袋重力法兰4下方的布袋本体11外壁上设置有双层过滤袋12，下板体17下方的除尘罐体1内部设置有隔板15；
[0033]隔板15的顶部设置有等间距的下法兰承接过灰口14，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用的尾气除尘设备，其特征在于，包括除尘罐体(1)，所述除尘罐体(1)的顶端设置有罐盖(7)，所述除尘罐体(1)靠近罐盖(7)一端的内部设置有上板体(6)，所述罐盖(7)顶端的中心位置处设置有吊绳控制器(8)，所述吊绳控制器(8)的底端设置有等间距的吊装绳(9)，所述吊装绳(9)的底端贯穿上板体(6)并设置有布袋本体(11)，所述布袋本体(11)靠近吊装绳(9)一端的外壁上设置有上重力法兰(5)，所述上重力法兰(5)下方的布袋本体(11)外壁上设置有双层布袋重力法兰(4)，所述布袋本体(11)下方的除尘罐体(1)内部设置有下板体(17)，所述布袋本体(11)的底端贯穿下板体(17)并设置有下重力法兰(3)，所述双层布袋重力法兰(4)下方的布袋本体(11)外壁上设置有双层过滤袋(12)，所述下板体(17)下方的除尘罐体(1)内部设置有隔板(15)。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶亚明，孙武，王鹏飞，李锴，耿来波，郭樱花，
申请(专利权)人：陕西西京电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：