【技术实现步骤摘要】
一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具
本技术涉及单晶炉
,具体为一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在直拉法制备单晶硅工艺中,为了提高产量及成晶率需对热场进行彻底清理,清理过程中部分热场部件存在过大过重的问题,在实际操作中,四人需双手带耐高温手套扣住保温筒(开炉温度保温套超过200℃),将其提起高度超过710mm(加热器高度)并平行移出,期间因佩戴耐高温手套双手不易抓紧保温筒,四人需配合默契,存在取保温筒过程掉落的风险,操作人员被砸伤和烫伤的安全隐患,而随着工艺改进及人员技能提升,炉台运行周期缩短,人员大幅减少,在取保温筒中至少4人的操作弊端愈专利技术显。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具,具备节省劳动力,劳动强度低和不易带来污染的优点,解决了传统直拉法单晶炉在生产过程中因无应用工具造成的劳动力占用,劳动强度大及容易带来污染的问题。为实现上述目的,本 ...
【技术保护点】
1.一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具,包括主体中央圆形保温筒固定环(1),其特征在于:所述主体中央圆形保温筒固定环(1)正面两侧的中心处从上至下均依次固定连接有支撑柱(7),所述支撑柱(7)的正面固定连接有Π型支撑(3)。/n
【技术特征摘要】
1.一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具,包括主体中央圆形保温筒固定环(1),其特征在于:所述主体中央圆形保温筒固定环(1)正面两侧的中心处从上至下均依次固定连接有支撑柱(7),所述支撑柱(7)的正面固定连接有Π型支撑(3)。
2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具,其特征在于:所述主体中央圆形保温筒固定环(1)的材料为Φ20镀锌管,所述主体中央圆形保温筒固定环(1)的形状为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用保温筒装卸工具,其特征在于:所述主体中央圆形保温筒固定环(1)正面两侧的中心处...
【专利技术属性】
技术研发人员:王琳,刘秦,陶亚明,
申请(专利权)人:陕西西京电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西;61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。