一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体，所述防尘罩主体的顶部设置有加料口，所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔，所述加料口的顶部设置有加料漏斗，所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环，所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽，防尘罩主体的左侧设置有定位孔。本实用新型专利技术通过设计防尘罩主体，圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，通过设计加料口，以便进行加料操作，通过设计排气孔，方便气体的排出，从而提高防尘效果，解决了现有防尘效果差的问题。

Dust cover of feeder for Czochralski single crystal furnace

【技术实现步骤摘要】
一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩
本技术涉及单晶炉
，具体为一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，直拉法制备单晶硅工艺中，涉及到复投过程使用的加料工序，在此过程中将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，会污染单晶炉内壁影响产品质量，也会由此导致出现矽肺，增加安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，具备防尘效果好的优点，解决了现有防尘效果差的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体，所述防尘罩主体的顶部设置有加料口，所述防尘罩主体的左侧的顶部设置有排气孔，所述加料口的顶部设置有加料漏斗，所述加料漏斗的顶部设置有漏斗压环。优选的，所述防尘罩主体顶部的中心处设置有开槽，所述防尘罩主体的左侧设置有定位孔。优选的，所述排气孔的左侧贯穿防尘罩主体并延伸至防尘罩主体的外部，所述排气孔的右侧与防尘罩主体内腔的左侧连通。优选的，所述加料漏斗的形状为T型，所述加料漏斗底部的外径略小于加料口内腔的直径，所述加料漏斗设置在防尘罩主体中心处的右侧。优选的，所述漏斗压环切面的形状为L型，所述漏斗压环下端的内径略大于加料漏斗上端的外径。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：1、本技术通过设计防尘罩主体，圆柱体的防尘罩主体可以对加料器进行防尘，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，通过设计加料口，以便进行加料操作，通过设计排气孔，方便气体的排出，从而提高防尘效果，解决了现有防尘效果差的问题。2、本技术通过设计定位孔，便于防尘罩主体进行定位，通过设计加料漏斗的形状为T型，T型加料漏斗可配合加料口使用，以便进行加料操作，通过设计漏斗压环切面的形状为L型，便于对加料漏斗进行固定，提高装置稳定性。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术结构仰视图；图3为本技术加料漏斗结构左视图。图中：1、防尘罩主体；2、加料口；3、排气孔；4、加料漏斗；5、漏斗压环；6、开槽；7、定位孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体1，防尘罩主体1顶部的中心处设置有开槽6，防尘罩主体1的左侧设置有定位孔7，通过设计定位孔7，便于防尘罩主体1进行定位，通过设计加料漏斗4的形状为T型，T型加料漏斗4可配合加料口2使用，以便进行加料操作，通过设计漏斗压环5切面的形状为L型，便于对加料漏斗4进行固定，提高装置稳定性，防尘罩主体1的顶部设置有加料口2，防尘罩主体1的左侧的顶部设置有排气孔3，排气孔3的左侧贯穿防尘罩主体1并延伸至防尘罩主体1的外部，排气孔3的右侧与防尘罩主体1内腔的左侧连通，加料口2的顶部设置有加料漏斗4，加料漏斗4的形状为T型，加料漏斗4底部的外径略小于加料口2内腔的直径，加料漏斗4设置在防尘罩主体1中心处的右侧，加料漏斗4的顶部设置有漏斗压环5，漏斗压环5切面的形状为L型，漏斗压环5下端的内径略大于加料漏斗4上端的外径，通过设计防尘罩主体1，圆柱体的防尘罩主体1可以对加料器进行防尘，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，通过设计加料口2，以便进行加料操作，通过设计排气孔3，方便气体的排出，从而提高防尘效果，解决了现有防尘效果差的问题。使用时，先按需要在预留的防尘罩主体1侧壁上的定位孔7穿入合适螺栓并固定后就可将防尘罩主体1安放在加料器口的顶部，之后给排气孔3接上抽气设备，将预裁好的塑料膜放入加料器漏斗并用漏斗压环5压好，将加料漏斗4插入加料口2后可开启抽气设备进行加料，避免在将硅料倒入加料器的时候会有大量硅料粉尘飘散，污染单晶炉内壁导致产品质量下降，保证工作人员的生命健康，从而提高防尘效果。在本专利的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体(1)，其特征在于：所述防尘罩主体(1)的顶部设置有加料口(2)，所述防尘罩主体(1)的左侧的顶部设置有排气孔(3)，所述加料口(2)的顶部设置有加料漏斗(4)，所述加料漏斗(4)的顶部设置有漏斗压环(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，包括防尘罩主体(1)，其特征在于：所述防尘罩主体(1)的顶部设置有加料口(2)，所述防尘罩主体(1)的左侧的顶部设置有排气孔(3)，所述加料口(2)的顶部设置有加料漏斗(4)，所述加料漏斗(4)的顶部设置有漏斗压环(5)。


2.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，其特征在于：所述防尘罩主体(1)顶部的中心处设置有开槽(6)，所述防尘罩主体(1)的左侧设置有定位孔(7)。


3.根据权利要求1所述的一种直拉法单晶炉用加料器防尘罩，其特征在于：所述排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琳，金鑫，耿来波，
申请(专利权)人：陕西西京电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61