一种单晶炉用的加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉用的加热器，包括加热器体、连接口本体和支撑脚本体，加热器体上部和下部的侧面开设有连接口本体，连接口本体中开设有螺孔，上部连接口本体设置到加热器体的前部和后部，连接口本体关于加热器体的中心位置对称，下部连接口本体设置到加热器体的左侧和右侧，下部连接口本体中卡有支撑脚本体。本实用新型专利技术在加热器上沿预留了一对支撑脚连接口，且与下沿上的连接口非九十度角，达到了加热器没有上下沿之分，可调换使用的目的，另外，两对连接口设计在同一边缘时，备用连接口易析硅，影响支撑脚的安装，将备用连接口设计在加热格栅上沿，则可完美解决此问题，有效利用资源，降低了辅材成本。降低了辅材成本。降低了辅材成本。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用的加热器


[0001]本技术涉及加热器
，具体为一种单晶炉用的加热器。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶直径在生长过程中可受到温度，提拉速度与转速，坩埚跟踪速度与转速，保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶，而速度将直接影响到晶体的内在质量，而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场，不仅单晶生长顺利，而且品质较高；如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量，情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶，单晶炉中需要用到加热器，加热器由支撑脚与高温加热格栅组成，高温下，热场内部环境中挥发物与加热器不间断反应，使得加热器表面出现吸硅或掉渣。其中支撑脚与格栅连接处在使用多炉次后，会出现贴合不实、挥发物积攒，发生打火。严重时无法维修，生产成本得不到有效的控制。若在加热格栅下沿其它地方留备用连接口，会因表面吸硅而无法与支撑脚紧密贴合。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单晶炉用的加热器以解决上述
技术介绍
中提出的支撑脚与格栅连接口在使用多炉次后，会出现贴合不实、挥发物积攒，发生打火，严重时无法维修，生产成本得不到有效的控制的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉用的加热器，包括加热器体、连接口本体和支撑脚本体，所述加热器体上部和下部的侧面开设有连接口本体，所述连接口本体中开设有螺孔，上部所述连接口本体设置到加热器体的前部和后部，所述连接口本体关于加热器体的中心位置对称，下部所述连接口本体设置到加热器体的左侧和右侧，下部所述连接口本体中卡有支撑脚本体，所述支撑脚本体上旋有第一螺栓，所述第一螺栓穿过支撑脚本体并旋入到螺孔中。
[0005]优选的，所述支撑脚本体底部的内部滑动设置有伸缩脚，所述伸缩脚的一端活动设置有第三螺栓，第三螺栓起到了安装加热器的作用。
[0006]优选的，所述伸缩脚外部的两侧开设有滑槽，所述支撑脚本体上旋有第二螺栓，所述第二螺栓的一端穿过支撑脚本体并插入到滑槽中，第二螺栓对伸缩脚起到了固定的作用。
[0007]优选的，所述加热器体上开设有凹槽，所述凹槽设置到加热器体上并设置到多个。
[0008]优选的，所述支撑脚本体、伸缩脚和第三螺栓在加热器体上设置有两个，且支撑脚本体、伸缩脚和第三螺栓关于加热器体的中心位置对称。
[0009]优选的，所述加热器体的截面呈现圆形，所述凹槽的截面呈现矩形。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该单晶炉用的加热器结构合理，具有
以下优点：
[0011](1)通过设置有连接口本体、螺孔、支撑脚本体和第一螺栓实现了加热器可以方便维修，生产成本易控制，因此在加热器上沿预留了一对支撑脚连接口，且与下沿上的连接口非九十度角，达到了加热器没有上下沿之分，可调换使用的目的，另外，两对连接口设计在同一边缘时，备用连接口易析硅，影响支撑脚的安装，将备用连接口设计在加热格栅上沿，则可完美解决此问题，有效利用资源，降低了辅材成本。
[0012](2)通过设置有支撑脚本体、伸缩脚和第二螺栓实现了装置可以根据需要调节加热器的高度，因此，工作人员可以通过转动第二螺栓，第二螺栓就会从滑槽上脱出，然后通过把伸缩脚从支撑脚本体中抽出，然后通过第二螺栓对支撑脚本体和伸缩脚进行重新固定，从而实现了加热器可以根据需要进行调节高度。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视结构示意图；
[0014]图2为本技术的立体结构示意图；
[0015]图3为本技术的侧视结构示意图；
[0016]图4为本技术的局部俯视结构示意图。
[0017]图中：1、加热器体；2、凹槽；3、连接口本体；4、螺孔；5、支撑脚本体；6、第一螺栓；7、伸缩脚；8、第二螺栓；9、第三螺栓；10、滑槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1
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4，本技术提供的一种实施例：一种单晶炉用的加热器，包括加热器体1、连接口本体3和支撑脚本体5，加热器体1上部和下部的侧面开设有连接口本体3，连接口本体3中开设有螺孔4，上部连接口本体3设置到加热器体1的前部和后部，连接口本体3关于加热器体1的中心位置对称，下部连接口本体3设置到加热器体1的左侧和右侧，下部连接口本体3中卡有支撑脚本体5，支撑脚本体5上旋有第一螺栓6，第一螺栓6把支撑脚本体5与加热器体1相互固定，第一螺栓6穿过支撑脚本体5并旋入到螺孔4中；
[0020]在加热器上沿预留了一对支撑脚连接口，且与下沿上的连接口非九十度角，达到了加热器没有上下沿之分，可调换使用的目的，另外，两对连接口设计在同一边缘时，备用连接口易析硅，影响支撑脚的安装，将备用连接口设计在加热格栅上沿，则可完美解决此问题，有效利用资源，降低了辅材成本；
[0021]支撑脚本体5底部的内部滑动设置有伸缩脚7，伸缩脚7的一端活动设置有第三螺栓9，伸缩脚7可以在支撑脚本体5中进行滑动；
[0022]伸缩脚7外部的两侧开设有滑槽10，支撑脚本体5上旋有第二螺栓8，第二螺栓8的一端穿过支撑脚本体5并插入到滑槽10中，加热器体1上开设有凹槽2，凹槽2设置到加热器体1上并设置到多个，支撑脚本体5、伸缩脚7和第三螺栓9在加热器体1上设置有两个，且支撑脚本体5、伸缩脚7和第三螺栓9关于加热器体1的中心位置对称，加热器体1的截面呈现圆
形，所述凹槽2的截面呈现矩形；
[0023]工作人员可以通过转动第二螺栓8，第二螺栓8就会从滑槽10上脱出，然后通过把伸缩脚7从支撑脚本体5中抽出，然后通过第二螺栓8对支撑脚本体5和伸缩脚7进行重新固定，从而实现了加热器可以根据需要进行调节高度。
[0024]本申请实施例在使用时，通过把装置放到合适的位置，然后通过把伸缩脚7安装到炉中的合适的位置，工作人员可以通过转动第二螺栓8，第二螺栓8就会从滑槽10上脱出，然后通过把伸缩脚7从支撑脚本体5中抽出，然后通过第二螺栓8对支撑脚本体5和伸缩脚7进行重新固定，从而实现了加热器可以根据需要进行调节高度，在加热器上沿预留了一对支撑脚连接口，且与下沿上的连接口非九十度角，达到了加热器没有上下沿之分，可调换使用的目的，另外，两对连接口设计在同一边缘时，备用连接口易析硅，影响支撑脚的安装，将备用连接口设计在加热格栅上沿，则可完美解决此问题，有效利用资源，降低了辅材成本。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用的加热器，其特征在于：包括加热器体(1)、连接口本体(3)和支撑脚本体(5)，所述加热器体(1)上部和下部的侧面开设有连接口本体(3)，所述连接口本体(3)中开设有螺孔(4)，上部所述连接口本体(3)设置到加热器体(1)的前部和后部，所述连接口本体(3)关于加热器体(1)的中心位置对称，下部所述连接口本体(3)设置到加热器体(1)的左侧和右侧，下部所述连接口本体(3)中卡有支撑脚本体(5)，所述支撑脚本体(5)上旋有第一螺栓(6)，所述第一螺栓(6)穿过支撑脚本体(5)并旋入到螺孔(4)中。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用的加热器，其特征在于：所述支撑脚本体(5)底部的内部滑动设置有伸缩脚(7)，所述伸缩脚(7)的一端活动设置有第三螺栓(9)。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨鑫，胡小涛，孙惠纷，
申请(专利权)人：陕西西京电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：