一种安全可靠的磁控溅射仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一顶针，顶针一弹片，继电器包括电磁线圈和常开端，顶针和弹片串接在继电器的电磁线圈上，继电器常开端串接在分子泵电源线的L线上，这种磁控溅射仪在使用过程中，通过水位检测开关检测冷却水是否正常，从而控制分子泵的开关。

A safe and reliable magnetron sputtering instrument

The utility model discloses a magnetron sputtering apparatus is safe and reliable, includes a sputtering chamber, the pretreatment chamber, magnetic transmission rod, a mechanical pump and molecular pump and the cooling water pipe, and the sputtering chamber processing chamber is provided with a valve plate, the pretreatment chamber and the magnetic transmission rod is connected, the pretreatment chamber with the mechanical pump and molecular pump is the molecular pump is connected with a cooling water pipe, a water level detection switch water cooling pipe, the water level detection switch comprises a water level detection module and a relay, the water level detection module includes a casing, the casing is provided with a water pipe, water pipe is provided with a by the water pressure in the up and down motion of the piston, the upper end of the piston is provided with a thimble thimble, a spring plate the relay comprises an electromagnetic coil, and often start, thimble and shrapnel is connected in series with the electromagnetic coil of the relay, the relay series often start in the molecular pump power line L line, the magnetic During the use of the sputtering instrument, the cooling water is detected by the water level detecting switch, so as to control the switch of the molecular pump.

【技术实现步骤摘要】
一种安全可靠的磁控溅射仪
本技术涉及一种镀膜装置，具体涉及一种安全可靠的磁控溅射仪。
技术介绍
溅射镀膜是目前薄膜制备中应用最为广泛的方法之一,这是由于溅射法制膜具有许多优点,如可通过控制反应气体的种类、浓度、溅射功率、衬底温度、溅射压强等条件,较容易地控制膜的组分和结晶状态。同时,溅射制膜易于大规模工业化生产,制备工艺简单,薄膜造价较低等。现有的磁控溅射仪存在明显不足，由于分子泵工作时需要通过水进行冷却，当停水或者低水压时，如果溅射仪还在继续工作，分子泵将会没有得到冷却从而被烧毁。这就使得在任何时刻都必须有工作人员对其进行监控，这将浪费大量人力、物力。这就造成工作效率较为低下。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种在缺水或者停水状态下能够自动停止工作的磁控溅射仪，解决现有磁控溅射仪在缺水或者停水的时候会将分子泵烧毁的问题。本技术所采取的技术方案为：一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，所述水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一具有导电能力的顶针，顶针上方设有一具有导电能力的弹片，继电器包括电磁线圈和常开端，顶针和弹片串接在继电器的电磁线圈上，继电器常开端串接在分子泵电源线的L线上，这种磁控溅射仪在使用过程中，冷却水管内的水正常时，水流通过水位检测开关，活塞受到水的压强作用向上浮起，顶针与弹片连通，继电器电磁线圈通电，常开端闭合，分子泵通电正常工作，当冷却水管内的水不够或者断流的时候，活塞受重力影响而落下，顶针和弹片断开，继电器电磁线圈断电，常开端断开，分子泵断电停止工作，通过弱电来控制强电，水位检测模块上的顶针和弹片没有强电，提高了顶针和弹片的使用寿命。所述壳体和活塞均为绝缘体，防止漏电，增强了设备的安全性。附图说明图1为本技术磁控溅射仪的结构示意图。具体实施方式现在结合说明书附图对本技术进一步详细说明。如图1所示：一种可靠的磁控溅射仪，包括溅射室1、预处理室2、磁力传递杆3、机械泵4、分子泵5和冷却水管6，溅射室1和预处理室2之设有阀板7，预处理室2和磁力传递杆3相连，预处理室2还与机械泵4和分子泵5相连，分子泵5与冷却水管6相连，冷却水管6进水处61设有水位检测开关7，所述水位检测开关7包括水位检测模块8和继电器9，水位检测模块8包括壳体81，壳体81内设有水管82，水管82上设有一受其内水压可上下运动的活塞83，活塞83上端部设有一具有导电能力的顶针84，顶针84上方设有一具有导电能力的弹片85，继电器9包括电磁线圈91和常开端92，顶针84和弹片85串接在继电器9的电磁线圈上91，继电器9的常开端92串接在分子泵5的电源线51的L线上。这种磁控溅射仪在使用过程中，冷却水管内的水正常时，水流通过水位检测开关，活塞受到水的压强作用向上浮起，顶针与弹片连通，继电器电磁线圈通电，常开端闭合，分子泵通电正常工作，当冷却水管内的水不够或者断流的时候，活塞受重力影响而落下，顶针和弹片断开，继电器电磁线圈断电，常开端断开，分子泵断电停止工作，通过弱电来控制强电，水位检测模块上的顶针和弹片没有强电，提高了顶针和弹片的使用寿命。所述壳体81和活塞83均为绝缘体，防止漏电，增强了设备的安全性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，其特征在于：所述水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内设有水管，水管上设有一受其内水压可上下运动的活塞，活塞上端部设有一具有导电能力的顶针，顶针上方设有一具有导电能力的弹片，继电器包括电磁线圈和常开端，顶针和弹片串接在继电器的电磁线圈上，继电器常开端串接在分子泵电源线的L线上。

【技术特征摘要】
1.一种安全可靠的磁控溅射仪，包括溅射室、预处理室、磁力传递杆、机械泵、分子泵和冷却水管，溅射室和处理室之设有阀板，预处理室和磁力传递杆相连，预处理室还与机械泵和分子泵相连，分子泵与冷却水管相连，冷却水管进水处设有水位检测开关，其特征在于：所述水位检测开关包括水位检测模块和继电器，水位检测模块包括壳体，壳体内...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯则良，
申请(专利权)人：福建省诺希科技园发展有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35